期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到407篇文章
< 1 2 … 21 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
SU-8胶光刻工艺研究 被引量：48
1
作者 张立国 陈迪 +1 位作者 杨帆 李以贵 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第3期266-270,共5页
SU - 8胶是一种基于环氧SU - 8树脂的环氧型的、近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。但是SU - 8胶对工艺参数的改变非常敏感。本文对影响光刻后图形质量的主要工艺参数前烘温度和时间、中烘温度和时间... SU - 8胶是一种基于环氧SU - 8树脂的环氧型的、近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。但是SU - 8胶对工艺参数的改变非常敏感。本文对影响光刻后图形质量的主要工艺参数前烘温度和时间、中烘温度和时间、曝光时间及显影时间进行了研究 ,发现前烘时间和显影时间是影响图形分辨率及高深宽比的最主要的参数。随后给出了 2 0 0 μm厚SU - 8光刻胶的建议工艺条件 :2 0 0 μm/s甩胶 ,1h的 95°C前烘 ,近紫外光 (40 0nm)接触式曝光 ,95°C的中烘 30min ,PGMEA中显影 2 0min。另外对实验中实现的主要问题基片弯曲和光刻胶的难以去除作了一定的探讨 ,给出了合理化建议 :对于基片弯曲可采用以下四种措施来降低 ,降低中烘的温度同时增加中烘的时间、用厚硅片来代替薄硅片、对于薄硅片在前烘后可用金刚刀切成 4～ 8小片、适当的设计掩模板 ;对于光刻胶的去除用热丙酮泡、超声清洗、反应离子刻蚀和高温灰化法相结合 。 展开更多
关键词 SU-8胶 高深宽比 光刻
下载PDF
硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究 被引量：39
2
作者 王阳元 武国英 +5 位作者 郝一龙 张大成 肖志雄 李婷 张国炳 张锦文 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1577-1584,共8页
本文论述了硅基MEMS标准工艺 ,其中包括三套体硅标准工艺和一套表面牺牲层标准工艺 .深入地研究了体硅工艺和表面牺牲层工艺中的关键技术 .体硅工艺主要进行了以下研究 :硅 /硅键合、硅 /镍 /硅键合、硅 /玻璃键合工艺及其优化 ;研究了... 本文论述了硅基MEMS标准工艺 ,其中包括三套体硅标准工艺和一套表面牺牲层标准工艺 .深入地研究了体硅工艺和表面牺牲层工艺中的关键技术 .体硅工艺主要进行了以下研究 :硅 /硅键合、硅 /镍 /硅键合、硅 /玻璃键合工艺及其优化 ;研究了高深宽比刻蚀工艺、优化了工艺条件 ;解决了高深宽比刻蚀中的Lag效应 ;开发了复合掩膜高深宽比多层硅台阶刻蚀和单一材料掩膜高深宽比多层硅台阶刻蚀工艺研究 .表面牺牲层工艺主要进行了下列研究 :多晶硅薄膜应力控制工艺 ; 展开更多
关键词 硅基 MEMS标准工艺 高深宽比刻蚀 键合 多晶硅 应力 防粘附 微机电系统 半导体
下载PDF
变高宽比高性能混凝土剪力墙抗震性能的试验研究 被引量：30
3
作者 张展 周克荣 《结构工程师》 2004年第2期62-68,共7页
本文通过 3榀高宽比分别为 1 .0 ,1 .5和 2 .0的高性能混凝土剪力墙的水平低周反复荷载试验 ,着重考察了高宽比变化对高性能混凝土剪力墙开裂方式、强度、滞回和耗能特征以及刚度退化等抗震性能的影响。分析表明 ,即使高宽比为 1 .0的... 本文通过 3榀高宽比分别为 1 .0 ,1 .5和 2 .0的高性能混凝土剪力墙的水平低周反复荷载试验 ,着重考察了高宽比变化对高性能混凝土剪力墙开裂方式、强度、滞回和耗能特征以及刚度退化等抗震性能的影响。分析表明 ,即使高宽比为 1 .0的低剪力墙 ,同样可具有良好的延性性能。文章最后采用修正压力场理论对其抗剪承载力进行了计算 ,结果符合很好。 展开更多
关键词 高性能混凝土 剪力墙 高宽比 抗震性能 荷载 修正压力场理论
下载PDF
高轴压比钢-混凝土组合剪力墙压弯性能试验研究 被引量：34
4
作者 陈涛 肖从真 +1 位作者 田春雨 徐培福 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第6期1-7,共7页
通过对13片不同形式的高轴压比、大剪跨比剪力墙进行往复水平力加载试验,研究墙体两端暗柱设置型钢、墙身增设内藏钢板等形式组合剪力墙的压弯承载力、延性性能及破坏机理。试验结果表明:基本试件、两端暗柱设置型钢试件、内藏钢板试件... 通过对13片不同形式的高轴压比、大剪跨比剪力墙进行往复水平力加载试验,研究墙体两端暗柱设置型钢、墙身增设内藏钢板等形式组合剪力墙的压弯承载力、延性性能及破坏机理。试验结果表明:基本试件、两端暗柱设置型钢试件、内藏钢板试件的破坏过程相近,两端暗柱设置型钢试件和内藏钢板试件裂缝条数较多、宽度较小,内藏钢板试件的破坏情况相对较轻;两端暗柱设置型钢、增设内藏钢板,对压弯承载力、变形能力提高显著;组合剪力墙轴压比计算可以计入两端型钢和内藏钢板的作用。根据试验结果,提出钢板组合剪力墙压弯承载力计算的建议公式。 展开更多
关键词 组合剪力墙 高轴压比 大剪跨比 抗震性能 压弯性能
下载PDF
大展弦比复合材料机翼结构设计研究 被引量：24
5
作者 张纪奎 郦正能 寇长河 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期450-453,共4页
针对大展弦比机翼结构的特点,选定蜂窝夹层、多墙式和一种新型混合式结构进行分析比较。进行了缝纫层合板和无缝纫层合板的冲击后压缩强度试验以及3种形式的复合材料蜂窝夹层板冲击后压缩稳定性试验。实验结果表明,缝纫可提高复合材料... 针对大展弦比机翼结构的特点,选定蜂窝夹层、多墙式和一种新型混合式结构进行分析比较。进行了缝纫层合板和无缝纫层合板的冲击后压缩强度试验以及3种形式的复合材料蜂窝夹层板冲击后压缩稳定性试验。实验结果表明,缝纫可提高复合材料层合板冲击后压缩强度和屈曲临界载荷。对3种形式机翼结构进行有限元分析,计算结果表明,新型混合式结构具有明显的减重效果,并可实现一定比例的弯曲和扭转刚度设计。 展开更多
关键词 大展弦比 复合材料 缝纫层合板 蜂窝夹层 扭转刚度
下载PDF
超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究 被引量：12
6
作者 张金娅 陈迪 +3 位作者 朱军 李建华 方华斌 杨斌 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期251-254,共4页
采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27:1的微结构。
关键词 UV-LIGA技术 SU-8胶 高深宽比微结构
原文传递
SU-8 5光刻胶的应用工艺研究 被引量：7
7
作者 朱军 赵小林 倪智萍 《微细加工技术》 2001年第2期57-60,共4页
SU 8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶 ,它具有良好的光敏性和高深宽比 ,适合于微机电系统 ,UV LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2 ] 。介绍了利用SU 85光刻胶 ,采用UV曝光制备LIGA掩模板所涉及的SU 85工艺研究结果。
关键词 微机电系统 SU-8系列 光刻胶 曝光
下载PDF
大展弦比飞翼构型的横航向操纵特性 被引量：17
8
作者 李林 马超 王立新 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1186-1190,共5页
大展弦比飞翼构型取消了垂尾和方向舵,通常采用开裂式方向舵和多组升降副翼组合来实现滚转和偏航操纵.通过与常规的侧力类方向舵对比,揭示了阻力类开裂式方向舵的操纵机理,包括偏航和滚转力矩产生原理以及操纵效能等.对大展弦比飞翼构... 大展弦比飞翼构型取消了垂尾和方向舵,通常采用开裂式方向舵和多组升降副翼组合来实现滚转和偏航操纵.通过与常规的侧力类方向舵对比,揭示了阻力类开裂式方向舵的操纵机理,包括偏航和滚转力矩产生原理以及操纵效能等.对大展弦比飞翼构型的横航向配平能力和协调机动能力进行了分析,并与常规飞机进行了对比,研究结果表明单发失效对偏航操纵效能要求最高,需要适当地增加开裂式方向舵的舵容量或对现有布局进行改进设计. 展开更多
关键词 大展弦比 飞翼构型 开裂式方向舵 操纵特性
下载PDF
用SU-8胶制高深宽比微结构的试验研究 被引量：8
9
作者 刘景全 朱军 +2 位作者 丁桂甫 赵小林 蔡炳初 《微细加工技术》 2002年第1期27-29,44,共4页
SU 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶 ,它适于超厚、高深宽比的MEMS微结构制造。但SU 8胶对工艺参数很敏感。采用正交试验设计方法对其工艺进行分析。采用三个因素进行试验 ,对试验进行了分析。以 2 0 0 μm厚的SU 8为例进行... SU 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶 ,它适于超厚、高深宽比的MEMS微结构制造。但SU 8胶对工艺参数很敏感。采用正交试验设计方法对其工艺进行分析。采用三个因素进行试验 ,对试验进行了分析。以 2 0 0 μm厚的SU 8为例进行试验研究 ,得到的光刻胶图形侧壁陡直 ,分辨率高 ,与基底附着性强 ,深宽比大于 2 0。 展开更多
关键词 微结构 试验研究 SU-8胶 高深宽比 微机电系统 光刻
下载PDF
SU-8胶与基底结合特性的实验研究 被引量：5
10
作者 刘景全 朱军 +4 位作者 蔡炳初 陈迪 丁桂甫 赵小林 杨春生 《微细加工技术》 2002年第2期28-32,共5页
SU - 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构。为电铸出金属微结构 ,通常需要采用金属基底。但SU - 8胶对金属基底的结合力通常不好 ,因而限制了其深宽比的提高。从SU - 8胶与基底的浸润性... SU - 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构。为电铸出金属微结构 ,通常需要采用金属基底。但SU - 8胶对金属基底的结合力通常不好 ,因而限制了其深宽比的提高。从SU - 8胶与基底的浸润性、基底表面粗糙度以及基底对近紫外光的折射特性入手 ,对SU - 8胶与基底的结合力进行分析 ,首次指出 :在近紫外光的折射率高的基底与SU - 8胶有很好的结合性。经实验得出经过氧化处理的Ti片与SU - 8胶结合性强。这有利于为MEMS提供低成本、高深宽比的金属微结构。 展开更多
关键词 SU-8胶 基底结合特性 高深宽比 UV-LIGA 结合性 微机电系统
下载PDF
大展弦比飞翼结构拓扑、形状与尺寸综合优化设计 被引量：15
11
作者 王伟 杨伟 赵美英 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期596-600,共5页
为解决机翼结构布局优化设计问题,提出一种两级三层优化设计方法。第一级采用拓扑优化手段得到翼梁的大致位置与数目,将基于RAMP插值模型的变密度法与NASTRAN的有限元分析功能相结合,对机翼结构进行拓扑优化设计;第二级在第一级优化的... 为解决机翼结构布局优化设计问题,提出一种两级三层优化设计方法。第一级采用拓扑优化手段得到翼梁的大致位置与数目,将基于RAMP插值模型的变密度法与NASTRAN的有限元分析功能相结合,对机翼结构进行拓扑优化设计;第二级在第一级优化的基础上进行形状优化和尺寸优化的综合优化设计,将复合形法与NASTRAN改进的可行方向法相结合,分别优化翼梁的位置和机翼各元件尺寸,最终完成机翼结构的布局优化设计。通过对大展弦比飞翼结构优化说明,文中所提的两级三层优化方法是可行和有效的,有着很好的推广应用价值。 展开更多
关键词 大展弦比 拓扑优化 形状优化 尺寸优化
下载PDF
SU-8胶光刻工艺参数优化研究 被引量：7
12
作者 张晔 陈迪 +3 位作者 张金娅 倪智萍 朱军 刘景全 《微细加工技术》 EI 2005年第3期36-41,80,共7页
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及... 对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及显影时间三个主要工艺参数,可以获得侧壁角度为90.64°正角的300μm厚光刻胶微结构和侧壁角度为89.98°近似垂直的500μm厚光刻胶微结构。 展开更多
关键词 UV-LIGA技术 SU-8胶 高深宽比 微结构
下载PDF
高厚径比微型钻头开发 被引量：12
13
作者 付连宇 厉学广 郭强 《印制电路信息》 2010年第S1期440-445,共6页
随着印制板技术的发展,高厚径比孔的需求越来越大,常规槽长的微钻无法用于该类印制板的钻孔,亟需开发高性能的特殊槽长微钻,为高厚径比孔的加工提供解决方案。论文首先给出了高厚径比微钻的开发背景以及高厚径比微钻开发的关键问题。然... 随着印制板技术的发展,高厚径比孔的需求越来越大,常规槽长的微钻无法用于该类印制板的钻孔,亟需开发高性能的特殊槽长微钻,为高厚径比孔的加工提供解决方案。论文首先给出了高厚径比微钻的开发背景以及高厚径比微钻开发的关键问题。然后阐述了高厚径比条件下如何优化微钻设计来保障包括微钻的抗断钻、孔位精度和孔壁粗糙度在内的综合性能。最后给出了直径0.3mm、槽长直径比为24的微型钻头开发实例,并且通过试验进行了验证,结合钻孔试验介绍了高厚径比孔钻削的关键技术。 展开更多
关键词 印制板 微型钻头 高厚径比
下载PDF
侧向随动力作用下大展弦比柔性机翼的稳定性 被引量：13
14
作者 张健 向锦武 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2115-2123,共9页
随动力能够诱发弹性结构发生颤振失稳。以侧向随动力和集中质量分别模拟发动机推力和外挂质量,考虑机翼垂直弯曲-扭转刚度比、集中质量大小、侧向随动力和集中质量的位置以及机翼后掠角和上反角的影响,研究了受侧向随动力作用的大展弦... 随动力能够诱发弹性结构发生颤振失稳。以侧向随动力和集中质量分别模拟发动机推力和外挂质量,考虑机翼垂直弯曲-扭转刚度比、集中质量大小、侧向随动力和集中质量的位置以及机翼后掠角和上反角的影响,研究了受侧向随动力作用的大展弦比柔性机翼的气动弹性稳定性。数值模拟所采用的大展弦比柔性机翼非线性气动弹性模型耦合了几何精确完全本征运动梁模型和ONERA动失速非定常气动力模型,该模型考虑了几何非线性、动失速和材料各向异性。模拟结果表明,侧向随动力对机翼颤振可以具有稳定作用,其具体表现依赖于若干变参数的影响,如:减小机翼垂直弯曲-扭转刚度比;发动机吊舱靠近翼根布置;使发动机推力作用点在法向上与机翼弹性轴靠近;单纯的集中质量避免布置在柔性机翼中部,且布置在机翼弹性轴之前或下方,这些设计或布置均有利于提高带发动机吊舱/有效载荷外挂的柔性机翼的气动弹性稳定性。 展开更多
关键词 气动弹性 稳定性 随动力 大展弦比 柔性机翼 完全本征方程 几何非线性 动失速
原文传递
MEMS器件制造工艺中的高深宽比硅干法刻蚀技术 被引量：11
15
作者 温梁 汪家友 +1 位作者 刘道广 杨银堂 《微纳电子技术》 CAS 2004年第6期30-34,共5页
硅的高深宽比刻蚀技术是MEMS领域中的一项关键工艺。在硅片上形成高深宽比沟槽并拥有垂直侧壁结构是现在先进MEMS器件的一个决定性要求。本文分别介绍了国际上近年来使用F基和Cl2等离子体获得高深宽比的刻蚀方法并进行了比较,总结了各... 硅的高深宽比刻蚀技术是MEMS领域中的一项关键工艺。在硅片上形成高深宽比沟槽并拥有垂直侧壁结构是现在先进MEMS器件的一个决定性要求。本文分别介绍了国际上近年来使用F基和Cl2等离子体获得高深宽比的刻蚀方法并进行了比较,总结了各自的优缺点及适用范围。 展开更多
关键词 MEMS 高深宽比 沟槽 刻蚀 等离子体
下载PDF
PDMS微小流路微加工技术的研究 被引量：4
16
作者 金鹏 谭久彬 刘岩 《微细加工技术》 2001年第3期31-34,共4页
PDMS(Polydimethylsiloxane ,聚二甲基硅氧烷 )微小流路的微加工技术 ,由于具有加工周期短 ,加工成本低 ,可进行批量生产 ,易获得高深宽比的微小结构等特点 ,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点。对PDMS微小流路的特性进行了分析 ... PDMS(Polydimethylsiloxane ,聚二甲基硅氧烷 )微小流路的微加工技术 ,由于具有加工周期短 ,加工成本低 ,可进行批量生产 ,易获得高深宽比的微小结构等特点 ,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点。对PDMS微小流路的特性进行了分析 ,实验结果表明 ,该方法完全适用于 μTAS系统及其他生物化学分析仪器中微小流路的加工。 展开更多
关键词 微小流路 集成电路 微加工技术 聚二甲基硅氧烷
下载PDF
高厚径比PCB深镀能力影响因素的研究 被引量：13
17
作者 陈于春 安茂忠 +2 位作者 王成勇 钱文鲲 刘德波 《电镀与环保》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期15-18,共4页
高厚径比PCB的电镀加工中,深镀能力越来越成为一个重要的评价指标。对比了PCB电镀过程的几种循环方式以及增加振荡对孔内溶液交换的影响,并进行理论分析及实验验证。结果表明:采取底喷以及增加夹具振荡措施可以有效提升高厚径比PCB小孔... 高厚径比PCB的电镀加工中,深镀能力越来越成为一个重要的评价指标。对比了PCB电镀过程的几种循环方式以及增加振荡对孔内溶液交换的影响,并进行理论分析及实验验证。结果表明:采取底喷以及增加夹具振荡措施可以有效提升高厚径比PCB小孔镀铜的深镀能力。 展开更多
关键词 高厚径比 深镀能力 溶液交换
下载PDF
微小型结构件的微细切削技术 被引量：12
18
作者 刘志兵 王西彬 +1 位作者 解丽静 蒋放 《工具技术》 北大核心 2008年第3期19-23,共5页
高深宽比微小型结构件是微小型系统的重要组成部分。微细切削技术是面向金属与合金等非硅材料微小型结构件精密加工需求的关键技术。本文结合微小型结构件的特点和加工需求,分析了微细切削的主要形式、适用范围和技术体系。在此基础上... 高深宽比微小型结构件是微小型系统的重要组成部分。微细切削技术是面向金属与合金等非硅材料微小型结构件精密加工需求的关键技术。本文结合微小型结构件的特点和加工需求,分析了微细切削的主要形式、适用范围和技术体系。在此基础上讨论了微细切削在加工材料、三维加工能力等方面的技术优势,以及在加工精度和批量生产能力等方面的局限性。认为微机电引信和微惯性器件将是微细切削的主要应用方向。 展开更多
关键词 微细切削 高深宽比 微小型结构件 非硅材料
下载PDF
大深径比微孔加工技术及其发展 被引量：11
19
作者 焦悦 贺斌 +1 位作者 李朋 田东坡 《航空科学技术》 2018年第3期1-7,共7页
大深径比微孔加工在航空和汽车领域有广泛需求,如航空发动机涡轮叶片气膜孔、火焰筒气膜孔、航空喷油嘴微孔以及汽车喷油嘴微孔均需要大深径比微孔加工。目前,大深径比微孔加工方法主要有电火花、电液束、水导激光和飞秒激光4种加工技... 大深径比微孔加工在航空和汽车领域有广泛需求,如航空发动机涡轮叶片气膜孔、火焰筒气膜孔、航空喷油嘴微孔以及汽车喷油嘴微孔均需要大深径比微孔加工。目前,大深径比微孔加工方法主要有电火花、电液束、水导激光和飞秒激光4种加工技术。介绍了4种加工技术原理和研究现状,对比分析了各自的特点及其应用,最后对大深径比微孔加工技术的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微孔 大深径比 电火花 电液束 水导激光 飞秒激光
下载PDF
基于遗传算法的大展弦比复合材料机翼结构优化设计 被引量：10
20
作者 史旭东 陈亮 +2 位作者 张碧辉 金延伟 欧忠明 《航空工程进展》 CSCD 2015年第1期110-115,共6页
结构减重是飞机设计的一个重要目标,采用复合材料代替金属材料以及对结构进行优化设计可以达到减重的效果。针对一个大展弦比复合材料机翼,采用遗传算法,通过Matlab调用Patran进行建模分析,以结构强度、刚度为约束条件,同时对翼梁位置... 结构减重是飞机设计的一个重要目标,采用复合材料代替金属材料以及对结构进行优化设计可以达到减重的效果。针对一个大展弦比复合材料机翼,采用遗传算法,通过Matlab调用Patran进行建模分析,以结构强度、刚度为约束条件,同时对翼梁位置和复合材料铺层进行优化设计;根据实际工艺要求建立复合材料铺层库,以解决复合材料铺层变量过多的问题。结果表明:本文提出的优化方法有效,对工程设计有较大的指导意义;复合材料铺层库在其他涉及复合材料铺层优化的问题中也具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 遗传算法 复合材料 大展弦比 尺寸优化 铺层优化
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 21 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部