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光栅色散临边成像光谱仪的研究 被引量:21
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作者 薛庆生 王淑荣 李福田 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1516-1521,共6页
临边成像光谱仪是一种对大气遥感探测有重要研究和应用价值的新型空间光学遥感仪器。从大气临边成像光谱探测的原理出发,设计并研制了光栅色散紫外/可见临边成像光谱仪原理样机。该样机采用宽波段折射式消色差前置望远光学系统与改进的C... 临边成像光谱仪是一种对大气遥感探测有重要研究和应用价值的新型空间光学遥感仪器。从大气临边成像光谱探测的原理出发,设计并研制了光栅色散紫外/可见临边成像光谱仪原理样机。该样机采用宽波段折射式消色差前置望远光学系统与改进的Czerny-Turner光谱成像系统匹配的结构型式,其中,前置望远光学系统为像方远心,光谱成像系统为物方远心。工作波段为540-780 nm(一级衍射光谱)和270-390 nm(二级衍射光谱),通过切换可见、紫外带通滤光片来实现两个波段分别探测,质量为8 kg,体积为450 mm×250 mm×200 mm。实验检测结果表明,该样机的空间分辨率为0.45 mrad,光谱分辨率为1.3 nm,均满足设计指标要求,并且具有体积小、质量小等特点,适合空间遥感应用。 展开更多
关键词 光谱学 光学设计 临边成像光谱仪 原理样机 平面光栅 空间分辨率 光谱分辨率
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光栅光谱仪分辨率及波长范围计算公式的研究 被引量:15
2
作者 王兴权 冯克成 +1 位作者 朱国贤 王晓茜 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1167-1170,共4页
对水平对称式Ebert-Fastie型光谱仪的参量及性能进行了分析研究.基于水平对称式Ebert-Fastie型光谱仪工作时的光路图,用几何方法推导出了入射光线与衍射光线的夹角、入射角、衍射角、可测光谱级次及波长适用范围的计算公式,该公式可通... 对水平对称式Ebert-Fastie型光谱仪的参量及性能进行了分析研究.基于水平对称式Ebert-Fastie型光谱仪工作时的光路图,用几何方法推导出了入射光线与衍射光线的夹角、入射角、衍射角、可测光谱级次及波长适用范围的计算公式,该公式可通过简单编程计算结果.基于理论分辨率计算公式,并考虑到狭缝宽度导致实际分辨率低于理论分辨率,推导出了分辨率与狭缝宽度等结构参量之间关系的计算公式,对该公式求导得出提高分辨率的方法,并举例计算得出考虑狭缝宽度后的实际分辨率为理论分辨率的83%. 展开更多
关键词 光学技术与仪器 光栅光谱仪 推导 波长 分辨率
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光栅扫描光谱仪参数的研究 被引量:14
3
作者 刘汉臣 王秋萍 +2 位作者 张崇辉 王安祥 蒋学芳 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第4期595-598,共4页
光栅扫描光谱仪的入射光线和出射光线的方向是固定的,在光栅转动下进行分光,这与光栅不动而入射光方向改变的分光方法不同。由光栅方程出发,计算出电脑自动控制多光栅转动的光谱仪测试系统的角色散率、线色散率和分辨本领,得出光栅扫描... 光栅扫描光谱仪的入射光线和出射光线的方向是固定的,在光栅转动下进行分光,这与光栅不动而入射光方向改变的分光方法不同。由光栅方程出发,计算出电脑自动控制多光栅转动的光谱仪测试系统的角色散率、线色散率和分辨本领,得出光栅扫描光谱仪的角色散率、线色散率和分辨本领等参数公式。所得结果与光栅不动而入射光方向改变的光谱仪的角色散率、线色散率和分辨本领不同。这为光栅扫描光谱仪的使用和研究提供了理论依据。 展开更多
关键词 光栅光谱仪 角色散率 线色散率 分辨率
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高性能超二代像增强器及发展 被引量:12
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作者 李晓峰 赵恒 +1 位作者 张彦云 张勤东 《红外技术》 CSCD 北大核心 2021年第9期811-816,共6页
本文介绍了高性能超二代像增强器的技术特征及性能,并与普通超二代像增强器进行了比较,提出了进一步改进高性能超二代像增强器性能的技术途径。超二代像增强器是在二代像增强器基础上,采用新技术、新工艺和新材料而发展起来的,性能较二... 本文介绍了高性能超二代像增强器的技术特征及性能,并与普通超二代像增强器进行了比较,提出了进一步改进高性能超二代像增强器性能的技术途径。超二代像增强器是在二代像增强器基础上,采用新技术、新工艺和新材料而发展起来的,性能较二代像增强器有大幅提升。近年来,超二代像增强器由于使用了光栅窗,性能又有了进一步的提升。光栅窗的使用,增加了Na2KSb光电阴极膜层的吸收系数,使阴极灵敏度达到1000μA×lm-1以上,10-4 lx照度条件下的分辨力达到17 lp×mm^(-1)以上。可以预计,通过进一步优化和改进Na2KSb光电阴极膜层的制作工艺,同时进一步优化光栅窗的结构,提高光栅窗的增强系数,那么Na2KSb光电阴极的灵敏度将会达到1350~1800μA×lm-1,信噪比达到35~40;通过4μm小丝径MCP以及3μm光纤面板的应用,分辨力将会达到81 lp×mm^(-1)以上。 展开更多
关键词 像增强器 光栅 灵敏度 分辨力 信噪比
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光栅光谱仪入射与出射狭缝宽度对测量谱线线宽影响研究 被引量:10
5
作者 杨晓冬 李正灯 +2 位作者 李惠玲 周杰 钟远聪 《嘉应学院学报》 2008年第6期38-41,共4页
根据光栅光谱仪衍射方程分析研究了光栅光谱仪入射与出射狭缝宽度对测量谱线宽度影响,研究结果表明光栅光谱仪入射与出射狭缝宽度与测量谱线线宽间满足线性关系,并对理论分析结果进行了实验验证,理论与实验基本符合。
关键词 光栅光谱仪 谱线宽度 光谱分辨率
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轻小型中阶梯光栅光谱仪光学设计及性能分析 被引量:11
6
作者 宁春丽 齐向东 +2 位作者 陈少杰 巴音贺希格 崔继承 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期3406-3410,共5页
中阶梯光栅光谱仪采用中阶梯光栅与棱镜交叉色散结构,在像面形成二维光谱。影响中阶梯光栅光谱仪分辨率因素较多。分析了针孔直径、光栅参数、棱镜参数、CCD像素尺寸和像差对系统分辨率的影响,得到针孔、光栅、CCD是影响系统分辨率的主... 中阶梯光栅光谱仪采用中阶梯光栅与棱镜交叉色散结构,在像面形成二维光谱。影响中阶梯光栅光谱仪分辨率因素较多。分析了针孔直径、光栅参数、棱镜参数、CCD像素尺寸和像差对系统分辨率的影响,得到针孔、光栅、CCD是影响系统分辨率的主要因素,并推导三者在确定系统实际分辨率时相互制约的关系,从而设计一种高分辨率轻小型中阶梯光栅光谱仪。结果表明,轻小型中阶梯光栅光谱仪像差得到充分校正,分辨率达到设计要求。通过对拍摄的汞灯谱图进行还原与标定,实际分辨率为0.038nm,达到目标值(0.05@200nm)的要求。而普通的光栅光谱仪要达到这样的分辨率,其焦距是500mm左右,充分体现轻小型的优势。 展开更多
关键词 中阶梯光栅 光学设计 光谱分辨率 CCD 棱镜
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软X射线狭缝透射光栅谱仪的研制 被引量:6
7
作者 陈志伟 王占山 牛惠辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第3期254-257,共4页
介绍了软X射线狭缝透射光栅谱仪的基本原理,得出光谱分辨率的理论计算公式,同时给出狭缝光栅的几何结构和相应的各种参数。在真空系统的实验条件下,对不同物质进行了激光累积打靶实验,得到其相应的软X射线光谱图,由这些光谱图可... 介绍了软X射线狭缝透射光栅谱仪的基本原理,得出光谱分辨率的理论计算公式,同时给出狭缝光栅的几何结构和相应的各种参数。在真空系统的实验条件下,对不同物质进行了激光累积打靶实验,得到其相应的软X射线光谱图,由这些光谱图可以回推光谱线,进行激光等离子体的诊断。从所做的实验结果中选出效果较好的光谱图,用显微密度计对其进行扫描,得到光强随距离的变化关系,可以用于标定实验和元素的定量分析。 展开更多
关键词 软X射线 狭缝光栅 光谱分辨率 研制
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成像式光栅自准直测角方法研究 被引量:8
8
作者 张继友 范天泉 曹学东 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期49-51,共3页
针对目前光电自准直仪难以做到既有高分辨力同时又有大的测量范围的不足,提出一种成像式光栅自准直测角方法。该方法将成像式光栅方法、自准直测角技术相结合,利用标尺光栅像和指示光栅形成的光栅副反映被测物体的角度变化。试验结果表... 针对目前光电自准直仪难以做到既有高分辨力同时又有大的测量范围的不足,提出一种成像式光栅自准直测角方法。该方法将成像式光栅方法、自准直测角技术相结合,利用标尺光栅像和指示光栅形成的光栅副反映被测物体的角度变化。试验结果表明,该系统接收到的光栅信号稳定,满足光栅计数的要求,成像式光栅自准直测角方法原理可行。该方法避免了光栅副间隙带来的误差,具有大量程及较高的分辨力。 展开更多
关键词 成像光栅 自准直测角 高分辨力 大测量范围 角度测量
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提高光栅测量精度和分辨率的技术研究与实现 被引量:6
9
作者 刘清 《计量学报》 CSCD 北大核心 2003年第4期275-278,共4页
随着人工神经网络和数字处理技术的发展,从另一角度研究了一种不必增加光栅刻线,仅采用普通刻线的光栅(50刻线 mm),即可实现高精度、高分辨率的光栅测量技术,并用该技术设计了一个测量系统。系统以高速数字信号处理器(DSP)为核心硬件,... 随着人工神经网络和数字处理技术的发展,从另一角度研究了一种不必增加光栅刻线,仅采用普通刻线的光栅(50刻线 mm),即可实现高精度、高分辨率的光栅测量技术,并用该技术设计了一个测量系统。系统以高速数字信号处理器(DSP)为核心硬件,用单输入单输出模糊小脑神经网络(SISOFCMAC)拟合出光栅信号,再利用FCMAC的泛化能力,实现对光栅信号的连续数字细分,提高光栅测量精度与分辨率。 展开更多
关键词 计量学 光栅 分辨率 数字信号处理器
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一种Offner型小型短波红外成像光谱仪 被引量:9
10
作者 郑志忠 杨忠 +4 位作者 修连存 董金鑫 陈春霞 高扬 俞正奎 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期2267-2272,共6页
通过对Offner分光光学系统分析,给出了快速计算初始结构参数公式,根据算得的初始结构参数优化出一套适用于短波红外(1 000~2 500nm)的分光光学系统,设计的光学系统相对孔径大(F/#2.2)、光谱分辨率高(优于10nm)和入射狭缝长(12mm),在整... 通过对Offner分光光学系统分析,给出了快速计算初始结构参数公式,根据算得的初始结构参数优化出一套适用于短波红外(1 000~2 500nm)的分光光学系统,设计的光学系统相对孔径大(F/#2.2)、光谱分辨率高(优于10nm)和入射狭缝长(12mm),在整个波长和视场范围内调制传递函数MTF均大于0.5。完成的成像光谱仪整机体积小,重量轻(小于5kg),仪器测试结果表明,全光谱范围内光谱线性好,光谱标定后波长精度优于4nm,通过对不同波段分辨率测试,全波长范围内光谱分辨率与设计相符,动态成像实验表明,光谱图像清晰并且光谱数据质量佳。 展开更多
关键词 成像光谱仪 短波红外 光学设计 凸面光栅 光谱分辨率 波长定标
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光栅多普勒纳米干涉仪 被引量:5
11
作者 林德教 蒋弘 殷纯永 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期1080-1084,共5页
用横向塞曼激光作光源构成的 Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响 ,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移 ,具有 0 .7nm分辨率。分析了光栅退偏效应的影响 ,与差动双频激光干涉仪进行了比对。实验结果表明 ,光栅间距光... 用横向塞曼激光作光源构成的 Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响 ,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移 ,具有 0 .7nm分辨率。分析了光栅退偏效应的影响 ,与差动双频激光干涉仪进行了比对。实验结果表明 ,光栅间距光学 8细分等间隔 ,当光栅栅距为 2 0μm时其测量非线性误差不超过 2 5nm。 展开更多
关键词 光栅多普勒干涉仪 纳米测量 退偏效应
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交叉非对称型Czerny-Turner光谱仪光学系统设计 被引量:9
12
作者 夏果 吴骕 +2 位作者 黄禅 胡明勇 金施群 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期15-22,共8页
根据Czerny-Turner结构光谱仪工作原理,以便携式微型光学系统为设计目标,设计了一种光谱范围为200900nm的交叉非对称型Czerny-Turner光谱仪光学系统.通过分辨率、光谱范围等设计要求确定光谱仪大致结构后,引入初级像差对初始结构进行进... 根据Czerny-Turner结构光谱仪工作原理,以便携式微型光学系统为设计目标,设计了一种光谱范围为200900nm的交叉非对称型Czerny-Turner光谱仪光学系统.通过分辨率、光谱范围等设计要求确定光谱仪大致结构后,引入初级像差对初始结构进行进一步优化.首次提出将球差约束条件与光阑面选取相结合,设计流程确定准直镜通光口径、光栅初始尺寸及聚焦镜中心波长对应口径,继而结合彗差约束条件,确定球面镜离轴角,并基于几何光学确定聚焦镜初始通光口径的方法.利用ZEMAX软件对初始参量进行模拟优化,并采用自主研制的样机进行光谱测量,分析结果表明,该光学系统能够在狭缝宽度为25μm,光栅常数为1.667μm/line条件下,实现中心波长分辨率优于1nm,边缘波长分辨率优于1.5nm. 展开更多
关键词 几何光学 像差理论 光学设计 Czerny-Turner结构 微型光谱仪 光栅 分辨率
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Design of a Surface Plasmon Resonance Sensor Based on Grating Connection 被引量:5
13
作者 Jun ZHU Liuli QIN +2 位作者 Shuxiang SONG Junwen ZHONG Siyuan LIN 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期159-165,共7页
Nowdays, the study of measurement of the biological field focuses on the research of improving surface plasmon resonance (SPR) in the fields of integration and detection sensitivity. We designed a kind of grating co... Nowdays, the study of measurement of the biological field focuses on the research of improving surface plasmon resonance (SPR) in the fields of integration and detection sensitivity. We designed a kind of grating connected surface plasmon resonance sensor. Theoretically, we analyzed the wave vector and the. effective refractive index relations with the diffraction grating structure. Then we obtained the nanoparticles enhancement SPR structure with a resolution 10times higher than that of traditional SPR sensors. Also, we used the finite-difference time-domain (FDTD) analysis and simulation which showed that it was obvious with coupling effect by the nanoparticles enhancement SPR structure that the reflectance spectral bandwidth results validated the structure significantly which improved the sensitivity. Experimental results showed that the dynamic response of the designed sensor reached 10^-6 RIU (refractive index unit). This study has the certain significance to long-distance and special sensing applications. 展开更多
关键词 Surface plasmon resonance waveguide grating mode coupling sensitivity resolution
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基于旋转光栅的超高分辨光谱仪集成设计
14
作者 傅伟 杨照清 +1 位作者 薛萌 郭汉明 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期309-314,共6页
由于探测器具有像元数目的限制,宽波段和高分辨率难以同时满足。文章针对532nm激发波长,设计了一款同时具有宽波段、超高分辨的拉曼光谱仪。将整个光谱范围按照低波段最低分辨要求分成四个波段,并通过旋转光栅和旋转聚焦镜的方式,完成... 由于探测器具有像元数目的限制,宽波段和高分辨率难以同时满足。文章针对532nm激发波长,设计了一款同时具有宽波段、超高分辨的拉曼光谱仪。将整个光谱范围按照低波段最低分辨要求分成四个波段,并通过旋转光栅和旋转聚焦镜的方式,完成了不同波段相互切换的集成化设计,实现了80~4000cm^(-1)宽波段范围,全波段1.2cm^(-1)超高分辨率的光学指标。考虑到探测器的较大体积尺寸,为避免元件发生干涉,该系统中元件之间具有足够的距离。相比于国内市场的同类产品,该光谱仪具有宽波段和超高分辨率的同时无需更换结构内部其他元件,在一定程度上节省了成本。 展开更多
关键词 拉曼光谱仪 旋转光栅 波段切换 高分辨率
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基于电介质波导耦合的超分辨干涉光刻研究
15
作者 李小甜 张文鹏 +3 位作者 周毅 温中泉 陈刚 梁高峰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期409-414,共6页
基于电介质波导耦合理论,本课题组提出了一种超分辨干涉光刻方法。该方法通过构建非对称波导实现了倏逝波的增强传输和干涉调控。同时,通过优化设计电介质光栅,利用波导耦合效应,形成了单一衍射级次的选频传输,获得了光场强度大、均匀... 基于电介质波导耦合理论,本课题组提出了一种超分辨干涉光刻方法。该方法通过构建非对称波导实现了倏逝波的增强传输和干涉调控。同时,通过优化设计电介质光栅,利用波导耦合效应,形成了单一衍射级次的选频传输,获得了光场强度大、均匀性好、特征尺寸约为48.75 nm(约为0.12λ)的干涉图形。基于此方法设计的超分辨光刻器件膜层结构简单,降低了近场光刻器件的结构复杂度,提高了光利用效率。该方法为倏逝波调控提供了新思路,也拓展了超分辨光刻器件的设计原理。 展开更多
关键词 波导 电介质光栅 超分辨 干涉光刻
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用神经网络技术实现的高精度光栅测量装置 被引量:2
16
作者 朱庆保 《计量学报》 CSCD 北大核心 2002年第4期266-270,共5页
描述了一种用神经网络技术实现的高精度光栅测量装置。该装置采用BP神经网络对光栅信号进行细分 ,在仅用 7个训练样本的情况下 ,细分精度可达 0 .18μm ,使装置的分辨率得到很大提高 ,同时 ,简化了硬件设计 。
关键词 神经网络 测量装置 光栅 分辨率 BP网络 信号细分 光栅信号
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Offner型成像光谱仪波长使用范围和光谱分辨率研究 被引量:4
17
作者 裴梓任 黄元申 +3 位作者 张大伟 韩姗 洪瑞金 倪争技 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期172-177,共6页
研究了Offner型成像光谱仪消像差结构的参量和性能.用几何法推导出Offner型成像光谱仪的波长使用范围、系统线色散以及光谱分辨率的计算公式;在理想像差条件下,分析了Offner型成像光谱仪光谱分辨率与入射狭缝的宽度、凸面光栅分辨率和... 研究了Offner型成像光谱仪消像差结构的参量和性能.用几何法推导出Offner型成像光谱仪的波长使用范围、系统线色散以及光谱分辨率的计算公式;在理想像差条件下,分析了Offner型成像光谱仪光谱分辨率与入射狭缝的宽度、凸面光栅分辨率和探测器像元尺寸各个因素之间的关系;探讨了提高光谱分辨率采用的方法和技术,解决了光谱仪的各个参量和光谱分辨率之间的矛盾.研究表明:当系统像差很小可忽略时,通过减小狭缝宽度,有利于提高光谱分辨率;Offner型成像光谱仪的分辨率由入射狭缝宽度、光栅和CCD像元尺寸三者中分辨本领最低的参量确定. 展开更多
关键词 光栅光谱仪 波长范围 光谱分辨率 凸面光栅 Offner结构
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利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领 被引量:4
18
作者 于海利 齐向东 +1 位作者 巴音贺希格 唐玉国 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期264-267,共4页
光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米,采用直接测量法难度大、成本高,利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一。在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上,建立了利用泽尼克多项式拟合系数求解衍射光栅分... 光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米,采用直接测量法难度大、成本高,利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一。在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上,建立了利用泽尼克多项式拟合系数求解衍射光栅分辨本领的归一化模型,揭示了光栅衍射波前与分辨本领的求取关系,提出了依据泽尼克多项式拟合系数求取衍射光栅分辨本领的新方法。根据该方法实测了一块衍射光栅的分辨本领,并与直接测量法进行对比测试。结果表明该方法误差小于4.42%,降低了分辨本领的测试难度,是衍射光栅分辨本领求取的有效手段,应用于ZYGO干涉仪等仪器中,通过简单的波前测试即可得到定量的衍射光栅分辨本领指标。 展开更多
关键词 衍射光栅 分辨本领 衍射波前 泽尼克多项式
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多缝衍射光谱技术 被引量:4
19
作者 赵葆常 李春芳 赵忠伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 1992年第4期300-309,共10页
本文从重叠干涉强度分布和重叠光谱强度分布的概念出发,论证和推导了多缝衍射光谱技术中复原光谱的极限理论分辨率的公式。讨论了稳定求解的条件。并对多缝衍射光谱技术和经典的衍射光谱技术两者的光谱分辨本领作了比较,同时给出了几个... 本文从重叠干涉强度分布和重叠光谱强度分布的概念出发,论证和推导了多缝衍射光谱技术中复原光谱的极限理论分辨率的公式。讨论了稳定求解的条件。并对多缝衍射光谱技术和经典的衍射光谱技术两者的光谱分辨本领作了比较,同时给出了几个计算机实验的结果。 展开更多
关键词 衍射光栅 衍射光谱 光谱 色散
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Offner双镜三反射成像光谱仪分辨率的研究 被引量:4
20
作者 裴梓任 黄元申 倪争技 《光学仪器》 2014年第2期147-151,共5页
针对Offner双镜三反射成像光谱仪的消像差结构,采用几何方法推导出光谱分辨率的计算公式,分析了入射狭缝的宽度、凸面光栅分辨率、系统像差和探测器像元尺寸各个参数对光谱分辨率的影响,提出了分光系统像差的计算方法和优化设计方法,并... 针对Offner双镜三反射成像光谱仪的消像差结构,采用几何方法推导出光谱分辨率的计算公式,分析了入射狭缝的宽度、凸面光栅分辨率、系统像差和探测器像元尺寸各个参数对光谱分辨率的影响,提出了分光系统像差的计算方法和优化设计方法,并探讨了提高光谱分辨率的方法和技术,即在优化系统像差的同时,适当减小狭缝宽度和探测器像元尺寸,有利于提高系统的光谱分辨率。该系统利用消像差优化设计同时考虑光谱分辨率的设计方法,具有十分重要的实用价值,为成像光谱仪的研制提供经验和借鉴。 展开更多
关键词 光栅光谱仪 光谱分辨率 Offner结构 同心光学系统
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