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斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的理论探讨 被引量:10
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作者 沈自才 邵建达 +1 位作者 王英剑 范正修 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期3069-3074,共6页
从理论上分析了单一膜料倾斜入射沉积时的折射率与填充密度的关系,给出了三种不同的表达式;然后从正变和负变、完整周期和存在半周期以及不同的周期数等几个方面探讨了膜层的填充密度按照线性变化时的渐变折射率薄膜的光学特性,并将折... 从理论上分析了单一膜料倾斜入射沉积时的折射率与填充密度的关系,给出了三种不同的表达式;然后从正变和负变、完整周期和存在半周期以及不同的周期数等几个方面探讨了膜层的填充密度按照线性变化时的渐变折射率薄膜的光学特性,并将折射率的不同理论表达式对光学特性的影响进行了对比,最后讨论了单一膜料倾斜入射沉积渐变折射率薄膜的方法、填充密度线性变化时的渐变折射率薄膜的应用及制备中需要进一步解决和处理的问题. 展开更多
关键词 渐变折射率 薄膜 理论探讨 制备 沉积法 斜角 填充密度 倾斜入射 光学特性 线性变化 理论表达式 周期数 半周期 整周期 膜料
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光子晶体的制备及应用 被引量:2
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作者 向安 陈鸿奎 +1 位作者 高建平 于九皋 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期669-674,共6页
光子晶体 (PC)是具有光子带隙的周期性电介质结构 ,频率落在光子带隙中的光将被禁止传播。本文对光子晶体的能带结构、带隙的产生、制备方法及应用作了简要的介绍 ,重点介绍了光子晶体的制备技术及其在光电领域中的应用前景。
关键词 光子晶体 自发辐射 层层叠加法 掠射角沉积法 集成光路 刻蚀法 波导 光子带隙
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Oblique angle deposition and its applications in plasmonics 被引量:2
3
作者 Yizhuo He Junxue Fu Yiping Zhao 《Frontiers of physics》 SCIE CSCD 2014年第1期47-59,共13页
Plasmonics based on localized surface plasmon resonance (LSPR) has found many exciting appli- cations recently. Those applications usually require a good morphological and structural control of metallic nanostructur... Plasmonics based on localized surface plasmon resonance (LSPR) has found many exciting appli- cations recently. Those applications usually require a good morphological and structural control of metallic nanostructures. Oblique angle deposition (OAD) has been demonstrated as a powerful technique for various plasmonic applications due to its advantages in controlling the size, shape, and composition of metallic nanostructures. In this review, we focus on the fabrication of metallic nanostructures by OAD and their applications in plasmonics. After a brief introduction to OAD technique, recent progress of applying OAD in fabricating noble metallic nanostructures for LSPR sensing, surface-enhanced Raman scattering, surface-enhanced infrared absorption, metal-enhanced fluorescence, and metamaterials, and their corresponding properties are reviewed. The future requirements for OAD plasmonics applications are also discussed. 展开更多
关键词 Oblique angle deposition glancing angle deposition PLASMONICS localized surfaceplasmon resonance surface-enhanced Raman spectroscopy surface-enhanced infrared absorption metal-enhanced fluorescence METAMATERIAL
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倾斜角沉积技术制备ZnS双折射雕塑薄膜 被引量:5
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作者 王素梅 贺洪波 +1 位作者 邵建达 范正修 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1699-1702,共4页
使用倾斜角沉积(GLAD)的电子束蒸发技术,制备了倾斜角度在60°~85°之间的ZnS双折射雕塑薄膜(STF).使用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)检测了ZnS薄膜的结晶状态和断面形貌,使用Lamda-900分光光度计测量了薄膜在不同的偏振光入... 使用倾斜角沉积(GLAD)的电子束蒸发技术,制备了倾斜角度在60°~85°之间的ZnS双折射雕塑薄膜(STF).使用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)检测了ZnS薄膜的结晶状态和断面形貌,使用Lamda-900分光光度计测量了薄膜在不同的偏振光入射时的透过率.研究发现,室温下倾斜沉积ZnS薄膜断面为倾斜柱状结构,且薄膜的结晶程度不高.在相同的监控厚度时,随倾斜角度增大,沉积到基片上的薄膜厚度逐渐变小,但仍然大于余弦曲线显示的理论厚度.根据偏振光垂直入射时薄膜的透过光谱计算了不同角度沉积的薄膜的折射率和双折射.结果显示当倾斜角度为75°时,薄膜的双折射效应最显著,此时Δn=0.044. 展开更多
关键词 薄膜 雕塑薄膜 倾斜角沉积 双折射
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磁控溅射制备多孔柱状晶ZrO_2薄膜 被引量:5
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作者 宁珍珍 余传杰 +1 位作者 李明 谢斌 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期143-150,共8页
采用反应磁控溅射倾斜沉积(GLAD)的方法制备了多孔柱状晶的ZrO2薄膜,研究了不同沉积角和靶基距对薄膜结构和光学性质的影响.结果表明,倾斜沉积的ZrO2薄膜具有倾斜的柱状结构,柱状晶之间存在空隙(宽度小于100nm),平均晶粒大小约为10nm.... 采用反应磁控溅射倾斜沉积(GLAD)的方法制备了多孔柱状晶的ZrO2薄膜,研究了不同沉积角和靶基距对薄膜结构和光学性质的影响.结果表明,倾斜沉积的ZrO2薄膜具有倾斜的柱状结构,柱状晶之间存在空隙(宽度小于100nm),平均晶粒大小约为10nm.沉积角大小的改变在一定程度上可以改变ZrO2薄膜中某些晶粒的取向.增大沉积角和增加靶基距均可使薄膜的折射率减小、孔隙率增大、沉积速率减小,不同的是增大沉积角会增大柱状倾斜角,而增加靶基距会减小柱状倾斜角.沉积角为75°时可制备出折射率为1.56、孔隙率为41.7%的ZrO2薄膜. 展开更多
关键词 多孔柱状晶 ZRO2薄膜 倾斜沉积 磁控溅射
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双折射消偏振膜的设计和制备 被引量:4
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作者 王晴云 齐红基 +2 位作者 贺洪波 邵建达 范正修 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期2154-2158,共5页
基于倾斜沉积薄膜材料的双折射特性,采用单一TiO2设计和制备了中心波长为632 nm的双折射消偏振膜。首先以60°和70°的沉积角度镀制了TiO2单层膜,通过单层膜的透射光谱分别拟合出两种沉积角度下薄膜对s和p偏振光的等效折射率nPH... 基于倾斜沉积薄膜材料的双折射特性,采用单一TiO2设计和制备了中心波长为632 nm的双折射消偏振膜。首先以60°和70°的沉积角度镀制了TiO2单层膜,通过单层膜的透射光谱分别拟合出两种沉积角度下薄膜对s和p偏振光的等效折射率nPH,nSH和nPL,nSL。通过对折射率的组合,实现正入射时s偏振光透射率大于p偏振光,而入射角度增大会使两者透射率差值减小,基于这一思想设计并制备了消偏振膜。分别测量了消偏振薄膜在400~800 nm波段范围内正入射及倾斜入射条件下s和p偏振光的透射光谱。入射角为60°时,s偏振光反射带宽基本与p偏振光反射带宽重合,在波长632 nm左右基本实现消偏振。结果表明,利用材料的双折射特性,可以设计和制备出倾斜入射条件下消偏振薄膜。 展开更多
关键词 薄膜光学 消偏振 倾斜沉积 双折射
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斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析 被引量:3
7
作者 沈自才 孔伟金 +3 位作者 刘世杰 沈建 邵建达 范正修 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期5157-5160,共4页
斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法,它可以用来制备渐变折射率薄膜.本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α,薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数;之后利用drude理论,分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄... 斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法,它可以用来制备渐变折射率薄膜.本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α,薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数;之后利用drude理论,分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系. 展开更多
关键词 斜角入射沉积 渐变折射率 填充系数
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方形螺旋光子晶体的能带结构研究 被引量:3
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作者 陈书汉 曾梦琳 +1 位作者 林恩宇 江绍基 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期795-798,共4页
介电常数在三维空间成周期性分布的三维光子晶体因具有全光子带隙而具有重要的应用价值。一种由方形螺旋周期性排列而成光子晶体不仅具有稳定的宽光子带隙,并且可以通过一种基于物理气相沉积的倾斜角沉积法经一步制备完成而具有自组装... 介电常数在三维空间成周期性分布的三维光子晶体因具有全光子带隙而具有重要的应用价值。一种由方形螺旋周期性排列而成光子晶体不仅具有稳定的宽光子带隙,并且可以通过一种基于物理气相沉积的倾斜角沉积法经一步制备完成而具有自组装制备的优势。本文通过数值计算对方形螺旋光子晶体进行能带计算与优化,得到了一种宽带隙方形螺旋结构,并且研究了占空比与带隙宽度的统计分布,讨论了螺旋结构方位角对带隙宽度的影响。 展开更多
关键词 方形螺旋光子晶体 能带结构 倾斜角沉积 理论计算
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倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展 被引量:2
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作者 肖秀娣 董国平 +3 位作者 余华 范正修 贺洪波 邵建达 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1317-1322,共6页
倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜。雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。... 倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜。雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的结构特征及影响因素,并阐述了其在光学领域的广泛应用前景。 展开更多
关键词 倾斜沉积 雕塑薄膜 各向异性
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倾斜式生长ZnS纳米柱状薄膜及其透射性能的研究 被引量:2
10
作者 卢丽芳 徐征 +5 位作者 张福俊 赵谡玲 宋丹丹 厉军明 王永生 徐叙瑢 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期504-507,共4页
采用倾斜式生长的方法,在本底真空为3×10-4Pa,生长率为0.2 nm.s-1的条件下,通过改变衬底的法线方向与入射粒子流的夹角α,在ITO导电玻璃衬底上制备了ZnS纳米薄膜。在α=80°和85°时,样品的X射线衍射谱证实了不同倾斜角时... 采用倾斜式生长的方法,在本底真空为3×10-4Pa,生长率为0.2 nm.s-1的条件下,通过改变衬底的法线方向与入射粒子流的夹角α,在ITO导电玻璃衬底上制备了ZnS纳米薄膜。在α=80°和85°时,样品的X射线衍射谱证实了不同倾斜角时所制备薄膜中均有纳米ZnS晶体形成,扫描电子显微镜(SEM)图像显示,所形成的薄膜均呈现出了柱状结构,并且倾斜角为85°时所得到的纳米柱直径大于80°时所得结果;在α=0°时,相应测量结果表明,虽然在不同衬底上也形成了纳米ZnS晶体薄膜,但并未见柱状结构,而是形成了一层均匀且致密的薄膜。对两种薄膜结构的生长动力学过程作了分析。ITO衬底上薄膜的透射光谱表明ZnS柱状薄膜能够提高可见光的透过率,因此对柱状ZnS纳米薄膜的研究将有利于提高电致发光器件的发光效率。 展开更多
关键词 倾斜式生长 柱状ZnS纳米薄膜 透射光谱
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Review: Nanostructured TiO_2 for Enhanced Photocatalytic Property by Glancing Angle Deposition Method
11
作者 Shuang Shuang Zheng Xie Zhengjun Zhang 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2017年第5期1-11,共11页
The glancing angle deposition( GLAD) method is a kind of physical vapor deposition and many kinds of self-standing nanostructured materials can be prepared. Here we report GLAD method to form selfstanding TiO_2 nanost... The glancing angle deposition( GLAD) method is a kind of physical vapor deposition and many kinds of self-standing nanostructured materials can be prepared. Here we report GLAD method to form selfstanding TiO_2 nanostructures on specific substrates,which makes photocatalysts easier to recycle. And smart designs of doping,decorating band gap matched materials can also make traditional photocatalysts take use of more visible light. In this review,we present some previous work fabricating nanostructured TiO_2 composites for enhanced photocatalytic performance by these methods. 展开更多
关键词 glancing angle deposition TiO2 PHOTOCATALYTIC NANOSTRUCTURE
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Graded index broadband antireflection coating prepared by glancing angle deposition for a high-power laser system
12
作者 孔伟金 沈自才 +3 位作者 王淑华 邵建达 范正修 卢朝靖 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期304-308,共5页
This paper reports that SiO2 is selected to fabricate broadband antireflection (AR) coatings on fused silica substrate by using glancing angle deposition and physical vapour deposition. Through accurate control of t... This paper reports that SiO2 is selected to fabricate broadband antireflection (AR) coatings on fused silica substrate by using glancing angle deposition and physical vapour deposition. Through accurate control of the graded index of the SiO2 layer, transmittance of thc graded broadband AR coating can achieve an average value of 98% across a spectral range of 300-1850 nm. Moreover, a laser-induced damage threshold measurement of the fabricated AR coating is performed by using a one-on-one protocol according to ISOl1254-1, resulting in an average damage threshold of 17.2 J/cm2. 展开更多
关键词 broadband antireflection coating graded index glancing angle deposition
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纳米结构的倾斜角度沉积及性能优化
13
作者 马菱薇 周钦 张政军 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期1-8,共8页
纳米材料发展的关键是纳米结构的制备、形貌调控和性能优化.倾斜角度沉积是以较大的角度(大于75°)倾斜入射沉积薄膜,通过控制沉积参数,得到具有特殊形貌纳米结构的方法,具有适用范围广,操作便捷,制备的薄膜面积大、纯度高、结构规... 纳米材料发展的关键是纳米结构的制备、形貌调控和性能优化.倾斜角度沉积是以较大的角度(大于75°)倾斜入射沉积薄膜,通过控制沉积参数,得到具有特殊形貌纳米结构的方法,具有适用范围广,操作便捷,制备的薄膜面积大、纯度高、结构规整等特点,是一种理想的制备纳米材料的方法.本文介绍了采用倾斜角度沉积技术制备氧化铪抗反射薄膜和银基表面增强拉曼基底,详细分析了该方法的参数调控对纳米结构的形貌和性能的影响,并指出将倾斜角度沉积与其他先进技术相结合(以原子层沉积为例),可进一步优化纳米结构的性能,提高倾斜角度沉积的使用范围. 展开更多
关键词 倾斜角度沉积 纳米结构 抗反射膜 表面增强拉曼 原子层沉积
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可见光区大角度减反射光学薄膜制备工艺研究
14
作者 曹一鸣 卫红 +1 位作者 王小辉 唐振方 《光学与光电技术》 2012年第2期97-100,共4页
为获得可见光波长范围的大角度减反射光学薄膜,采用电子束蒸发斜角蒸镀工艺,按照设计好的膜系,通过蒸镀一系列低折射率膜层,最终得到在380~780nm波长间,入射角0~70°,平均反射率低于1%的光学薄膜。实验结果表明利用斜角蒸镀工艺... 为获得可见光波长范围的大角度减反射光学薄膜,采用电子束蒸发斜角蒸镀工艺,按照设计好的膜系,通过蒸镀一系列低折射率膜层,最终得到在380~780nm波长间,入射角0~70°,平均反射率低于1%的光学薄膜。实验结果表明利用斜角蒸镀工艺镀制出折射率从基底到空气的渐变多层膜结构以取得优良的减反射效果是可行的。 展开更多
关键词 可见光区 大入射角度 减反射薄膜 斜角蒸镀
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双折射雕塑薄膜的研究进展
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作者 王素梅 王建国 +3 位作者 付小勇 范正修 贺洪波 邵建达 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期306-312,共7页
倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料。根据基片旋转方式的不同,可得到螺旋状、S形状、C形状、弯曲柱状等不同结构的薄膜,并且出现了晶体中的双折射现象。雕塑薄膜可以实现各向同性薄膜无法实现的光学... 倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料。根据基片旋转方式的不同,可得到螺旋状、S形状、C形状、弯曲柱状等不同结构的薄膜,并且出现了晶体中的双折射现象。雕塑薄膜可以实现各向同性薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的微结构与双折射特性,并阐述了其在光学领域内的应用潜力。 展开更多
关键词 雕塑薄膜 双折射技术 各向异性 薄膜材料 微观结构 光学性质 电子束蒸发技术
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阴影效应对柱状薄膜生长影响的动力学蒙特卡罗模拟
16
作者 陈书汉 《嘉应学院学报》 2011年第11期32-35,共4页
建立了弹道入射的薄膜三维蒙特卡罗形貌仿真模型,模拟了倾斜沉积情况下柱状薄膜的生长形貌,研究了沉积角度对柱状薄膜形貌的影响.通过动力系蒙特卡罗模拟,分析了雕塑薄膜生长过程中的阴影效应,并且验证了在倾斜沉积实验条件下,斜柱状薄... 建立了弹道入射的薄膜三维蒙特卡罗形貌仿真模型,模拟了倾斜沉积情况下柱状薄膜的生长形貌,研究了沉积角度对柱状薄膜形貌的影响.通过动力系蒙特卡罗模拟,分析了雕塑薄膜生长过程中的阴影效应,并且验证了在倾斜沉积实验条件下,斜柱状薄膜生长模式的稳定性,这为后续准确控制雕塑薄膜结构并实现量化控制提供重要的理论依据. 展开更多
关键词 柱状薄膜 动力学蒙特卡罗 倾斜沉积法
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Catalytic nanomotors: fabrication, mechanism, and applications 被引量:1
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作者 John GIBBS Yiping ZHAO 《Frontiers of Materials Science》 SCIE CSCD 2011年第1期25-39,共15页
Catalytic nanomotors are nano-to-micrometer-sized actuators that carry an on-board catalyst and convert local chemical fuel in solution into mechanical work. The location of this catalyst as well as the geometry of th... Catalytic nanomotors are nano-to-micrometer-sized actuators that carry an on-board catalyst and convert local chemical fuel in solution into mechanical work. The location of this catalyst as well as the geometry of the structure dictate the swimming behaviors exhibited. The nanomotors can occur naturally in organic molecules, combine natural and artificial parts to form hybrid nanomotors or be purely artificial. Fabrication techniques consist of template directed electroplating, lithography, physical vapor deposition, and other advanced growth methods. Various physical and chemical propulsion mechanisms have been proposed to explain the motion behaviors including diffusiophoresis, bubble propulsion, interracial tension gradients, and self-electrophoresis. The control and manipulation based upon external fields, catalytic alloys, and motion control through thermal modulation are discussed as well. Catalytic nanomotors represent an exciting technological challenge with the end goal being practical functional nanomachines that can perform a variety of tasks at the nanoscale. 展开更多
关键词 NANOMOTORS CATALYSIS glancing angle deposition (GLAD) bubble propulsion self-electrophoresis
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SiO_2薄膜斜角蒸镀工艺研究
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作者 曹一鸣 卫红 +1 位作者 王小辉 唐振方 《光学仪器》 2012年第5期89-94,共6页
利用斜角蒸镀工艺镀制SiO2薄膜是获得低折射率薄膜的一个有效方法。通过电子束蒸发镀膜方式,利用自制的斜角蒸镀装置,研究了SiO2材料在斜角蒸镀工艺中薄膜倾斜角度与沉积角度的关系,薄膜沉积厚度与设定厚度的关系,薄膜折射率与沉积角度... 利用斜角蒸镀工艺镀制SiO2薄膜是获得低折射率薄膜的一个有效方法。通过电子束蒸发镀膜方式,利用自制的斜角蒸镀装置,研究了SiO2材料在斜角蒸镀工艺中薄膜倾斜角度与沉积角度的关系,薄膜沉积厚度与设定厚度的关系,薄膜折射率与沉积角度的关系。实验表明利用斜角蒸镀工艺镀制低折射率薄膜是可行的。实验得到了折射率为1.10的SiO2薄膜,并得到了重要的SiO2的折射率与沉积角度关系曲线。 展开更多
关键词 低折射率 SIO2薄膜 斜角蒸镀工艺
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