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微纳结构几何特征检测技术的研究现状与发展趋势 被引量:3
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作者 周晓勤 侯强 +1 位作者 刘强 许蓬子 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期327-339,共13页
微纳结构的几何特征对微纳结构功能器件的性能有着至关重要的影响,研究如何对微纳结构的几何特征进行高效超精密检测是发展微纳结构功能器件的必然要求.评述了现有的检测技术原理及应用,主要涉及:X射线显微成像术、扫描透射电子断层扫... 微纳结构的几何特征对微纳结构功能器件的性能有着至关重要的影响,研究如何对微纳结构的几何特征进行高效超精密检测是发展微纳结构功能器件的必然要求.评述了现有的检测技术原理及应用,主要涉及:X射线显微成像术、扫描透射电子断层扫描成像技术、电子显微镜、扫描探针显微镜和激光共聚焦断层扫描显微镜等,分析比较了各种技术的优缺点与应用状况.得出了用X射线显微成像技术和扫描透射电子断层扫描成像技术是目前检测微纳结构表面形貌及内部结构的最理想手段,前者更适合于对较厚微纳结构进行三维成像,后者的成像精度较高,并阐述了微纳结构几何特征检测技术的改进方向与发展趋势. 展开更多
关键词 仪器仪表技术 显微成像 体微纳结构 超材料 几何形状检测
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飞机整机装配质量数字化测量技术 被引量:15
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作者 隋少春 朱绪胜 《中国科学:技术科学》 EI CSCD 北大核心 2020年第11期1449-1460,共12页
飞机几何外形即整机装配质量,直接影响整体装备的气动性能、隐身性能以及结构性能.为更加准确、高效、全面地评价飞机整机装配质量,本文提出了基于固定式测量站的飞机整机装配质量评价方法.首先介绍了整机固定式测量站的架构,对其包含... 飞机几何外形即整机装配质量,直接影响整体装备的气动性能、隐身性能以及结构性能.为更加准确、高效、全面地评价飞机整机装配质量,本文提出了基于固定式测量站的飞机整机装配质量评价方法.首先介绍了整机固定式测量站的架构,对其包含的基站、激光扫描系统、自动化设备和系统软件进行了简要的介绍,并对各系统之间的关系进行了阐述.然后,对测量设备的测量原理、系统标定方法和坐标系配准方法进行了分析,通过基于一维靶的虚拟点集控制场外参数标定方法,提高标定效率,降低劳动强度,满足现场标定的需求.同时,在数据融合方面,对传统的奇异值分解方法进行了优化,通过利用随机抽样一致性算法结合奇异值分解方法,提出了RANSAC-SVD坐标系优化配准算法,可以剔除由于误差较大而不适合用于坐标系配准的参考点,仅采用波动较小的内点进行坐标系配准,可以有效地提高坐标系配准的精度.在此基础上,简述了该系统的工作原理,详述了飞机整机测量准备阶段、数据采集阶段和数据处理阶段所包含的主要任务和流程.最后,对相机的外参数进行了标定并对测量场内的精度进行了分析与测试,结果表明,重复测量精度可达到0.024 mm, 3D点坐标测量误差小于0.2 mm,且有60%的测量数据误差小于0.1 mm. 展开更多
关键词 飞机几何外形 飞机整机装配质量 数字化测量 固定式测量站 数据配准
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