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提高SiC MESFET栅金属平坦性的方法 被引量:2
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作者 霍玉柱 商庆杰 +1 位作者 杨霏 潘宏菽 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期221-224,共4页
SiC金属-半导体场效应晶体管的工艺研制中,通常需要有源区之间的隔离。现常用刻蚀隔离的方法,但这一方法存在细栅条跨越隔离台阶的问题,若隔离台阶太陡,则栅金属在台阶处连续性较差,易产生电迁徙,器件工作时首先在此处烧毁,使器件失效... SiC金属-半导体场效应晶体管的工艺研制中,通常需要有源区之间的隔离。现常用刻蚀隔离的方法,但这一方法存在细栅条跨越隔离台阶的问题,若隔离台阶太陡,则栅金属在台阶处连续性较差,易产生电迁徙,器件工作时首先在此处烧毁,使器件失效。设计了几种提高栅金属平坦性的方法:通过优化台上掩模层台阶倾斜角以及调整刻蚀ICP,RIE功率可以实现18°左右倾斜台阶;通过"类平坦化"技术可以将绝缘介质淀积到台下区,基本实现无台阶;利用"离子注入隔离"取代"刻蚀隔离"则可以真正实现无台阶。实验验证以上方法可以有效提高栅金属的平坦性。 展开更多
关键词 金属-半导体场效应晶体管 栅金属:平坦性 隔离台阶 电迁徙 离子注入隔离
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长期存放条件下TFT阵列基板栅金属线腐蚀原因分析 被引量:3
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作者 林鸿涛 王鹏 《现代显示》 2006年第7期50-52,16,共4页
在TFT-LCD制造和存放过程中,存在着电化学腐蚀的环境,由于腐蚀速度相对较慢,所以对此现象的认识和研究不足。本文通过实例分析,研究了栅金属电极线在大气环境下的腐蚀现象和机理,并提出了降低腐蚀的措施。
关键词 栅金属线 腐蚀 长期存放 原因分析
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Breakdown voltage enhancement in GaN channel and AlGaN channel HEMTs using large gate metal height
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作者 Zhong-Xu Wang Lin Du +11 位作者 Jun-Wei Liu Ying Wang Yun Jiang Si-Wei Ji Shi-Wei Dong Wei-Wei Chen Xiao-Hong Tan Jin-Long Li Xiao-Jun Li Sheng-Lei Zhao Jin-Cheng Zhang Yue Hao 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第2期420-424,共5页
A large gate metal height technique is proposed to enhance breakdown voltage in GaN channel and AlGaN channel high-electron-mobility-transistors(HEMTs).For GaN channel HEMTs with gate-drain spacing LGD=2.5μm,the brea... A large gate metal height technique is proposed to enhance breakdown voltage in GaN channel and AlGaN channel high-electron-mobility-transistors(HEMTs).For GaN channel HEMTs with gate-drain spacing LGD=2.5μm,the breakdown voltage VBR increases from 518 V to 582 V by increasing gate metal height h from 0.2μm to 0.4μm.For GaN channel HEMTs with LGD=7μm,VBR increases from 953 V to 1310 V by increasing h from 0.8μm to 1.6μm.The breakdown voltage enhancement results from the increase of the gate sidewall capacitance and depletion region extension.For Al0.4Ga0.6N channel HEMT with LGD=7μm,VBR increases from 1535 V to 1763 V by increasing h from 0.8μm to 1.6μm,resulting in a high average breakdown electric field of 2.51 MV/cm.Simulation and analysis indicate that the high gate metal height is an effective method to enhance breakdown voltage in GaN-based HEMTs,and this method can be utilized in all the lateral semiconductor devices. 展开更多
关键词 GAN CHANNEL HEMTS ALGAN CHANNEL HEMTS breakdown voltage gate metal HEIGHT
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一个圆柱形双栅场效应晶体管的物理模型
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作者 刘佳文 姚若河 +1 位作者 刘玉荣 耿魁伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第15期249-256,共8页
圆柱形双栅场效应晶体管(CSDG MOSFET)是在围栅MOSFET器件增加内部控制栅而形成,与双栅、三栅及围栅MOSFET器件相比,圆柱形双栅MOSFET提供了更好的栅控性能和输出特性.本文通过求解圆柱坐标系下的二维泊松方程,得到了圆柱形双栅MOSFET... 圆柱形双栅场效应晶体管(CSDG MOSFET)是在围栅MOSFET器件增加内部控制栅而形成,与双栅、三栅及围栅MOSFET器件相比,圆柱形双栅MOSFET提供了更好的栅控性能和输出特性.本文通过求解圆柱坐标系下的二维泊松方程,得到了圆柱形双栅MOSFET的电势模型;进一步对反型电荷沿沟道积分,建立其漏源电流模型.分析讨论了圆柱形双栅MOSFET器件的电学特性,结果表明:圆柱形双栅MOSFET外栅沿沟道的最小表面势和器件的阈值电压随栅介质层介电常数的增大而减小,其漏源电流和跨导随栅介质层介电常数的增大而增大;随着器件参数的等比例缩小,沟道反型电荷密度减小,其漏源电流和跨导也减小. 展开更多
关键词 圆柱形双栅场效应晶体管 模型 栅介质 电学特性
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横泉水库供水发电洞金属结构设计
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作者 张医娟 《山西水利科技》 2007年第3期49-50,共2页
横泉水库是一座多年调节水库,以城市生活及工业供水、农业灌溉为主,兼顾防洪、发电等综合利用,为中型水利枢纽工程。文中着重介绍了供水发电洞的金属结构布置及功能。
关键词 供水发电洞 闸门 金属结构
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环栅肖特基势垒金属氧化物半导体场效应管漏致势垒降低效应研究 被引量:4
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作者 许立军 张鹤鸣 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期434-439,共6页
结合环栅肖特基势垒金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)结构,通过求解圆柱坐标系下的二维泊松方程得到了表面势分布,并据此建立了适用于低漏电压下的环栅肖特基势垒NMOSFET阈值电压模型.根据计算结果,分析了漏电压、沟道半径和沟道长度... 结合环栅肖特基势垒金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)结构,通过求解圆柱坐标系下的二维泊松方程得到了表面势分布,并据此建立了适用于低漏电压下的环栅肖特基势垒NMOSFET阈值电压模型.根据计算结果,分析了漏电压、沟道半径和沟道长度对阈值电压和漏致势垒降低的影响,对环栅肖特基势垒MOSFET器件以及电路设计具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 环栅肖特基势垒金属氧化物半导体场效应管 二维泊松方程 阈值电压模型 漏致势垒降低
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Negative Resistance Region 10 nm Gate Length on FINFET
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作者 Maryam Nezafat Omid Zeynali Daruosh Masti 《Journal of Modern Physics》 2014年第12期1117-1123,共7页
In this paper the physical characteristics of FINFET (fin-field effect transistor) transistor behavior are investigated. For the analysis, semi-classical electron transfer method was used based on drift diffusion appr... In this paper the physical characteristics of FINFET (fin-field effect transistor) transistor behavior are investigated. For the analysis, semi-classical electron transfer method was used based on drift diffusion approximation by TCAD (Tiber CAD) software. Simulations show that the output resistance of FINFET along very small gate (gate length and fin height of 50 nm) is negative. The negative resistance is used in oscillators. 展开更多
关键词 Multi-gate MOSFET (metal-Oxide-Semiconductor FIELD-EFFECT Transistor) FINFET Silicon on INSULATOR NEGATIVE Resistance
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部分耗尽异质环栅场效应晶体管阈值电压模型 被引量:1
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作者 李尊朝 罗诚 +2 位作者 王闯 苗治聪 张莉丽 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期50-54,109,共6页
为抑制短沟道效应和解决载流子传输效率低的问题,提出了部分耗尽异质环栅金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)结构(DMSG),并建立了器件的表面电势和阈值电压解析模型。异质环栅由两种具有不同功函数的材料无缝拼接形成,能在沟道中产... 为抑制短沟道效应和解决载流子传输效率低的问题,提出了部分耗尽异质环栅金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)结构(DMSG),并建立了器件的表面电势和阈值电压解析模型。异质环栅由两种具有不同功函数的材料无缝拼接形成,能在沟道中产生电场峰值,降低漏端电场,并屏蔽漏压对最小表面势的影响。通过为沟道耗尽层各区建立柱坐标下电势泊松方程和相应的边界条件方程,采用径向抛物线近似对偏微分方程进行降维和解析求解技术,获得了DMSG结构的解析模型。仿真结果表明,与传统的部分耗尽环栅器件相比,DMSG结构载流子传输效率高,短沟道效应、漏致势垒降低效应和热载流子效应抑制能力强;所建解析模型与数值仿真软件的相对误差小于5%。 展开更多
关键词 部分耗尽 异质环栅 金属氧化物半导体场效应晶体管 阈值电压
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基于PD SOI的GCNMOS电源箝位保护电路
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作者 王忠芳 谢成民 +2 位作者 赵德益 吴龙胜 刘佑宝 《武汉大学学报(工学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期245-248,共4页
随着绝缘体上硅(SOI)技术的快速进展,SOI集成电路的静电放电(ESD)保护已成为一个主要的可靠性问题.研究了基于PD SOI工艺的栅耦合N型金属氧化物半导体管(GCNMOS)电源箝位保护电路,以形成全芯片ESD保护网络.利用HSPICE仿真的方法,可以准... 随着绝缘体上硅(SOI)技术的快速进展,SOI集成电路的静电放电(ESD)保护已成为一个主要的可靠性问题.研究了基于PD SOI工艺的栅耦合N型金属氧化物半导体管(GCNMOS)电源箝位保护电路,以形成全芯片ESD保护网络.利用HSPICE仿真的方法,可以准确地确定R值和C值,以确定合理的触发电压.根据PD SOI工艺特点设计了基于不同体偏置类型、不同源漏注入类型和不同栅宽的NMOS管的各种GCNMOS电源箝位保护电路,并进行了MPW流片及TLP测试分析,得到源漏深注、体悬浮的H型栅NMOS组成的GCN MOS电源箝位保护电路的抗ESD能力最好,单位宽度(1μm)抗HBM ESD能力可达9.25 V. 展开更多
关键词 静电放电(ESD) 部分绝缘体上硅(PD SOI) 栅耦合NMOS 电源箝位 保护电路
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