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MO-PECVD SnO_2气敏薄膜的制备及表征 被引量：2
1
作者 阎军锋 何崇斌 +1 位作者 王雪文 张志勇 《西北大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期279-282,共4页
目的　探索制备SnO2薄膜的最佳工艺,研究氧分压与其薄膜元件气敏性能间的关系。方法以金属有机化合物(MO)四甲基锡[Sn(CH3)4]为源物质,采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)。利用X射线衍射仪和扫描电镜(SEM)对薄膜的晶体结构、SnO... 目的　探索制备SnO2薄膜的最佳工艺,研究氧分压与其薄膜元件气敏性能间的关系。方法以金属有机化合物(MO)四甲基锡[Sn(CH3)4]为源物质,采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)。利用X射线衍射仪和扫描电镜(SEM)对薄膜的晶体结构、SnO2晶体的颗粒度进行了表征,对不同样品的气敏性能做了测试分析。结果　优化出制备SnO2薄膜的最佳工艺。结论　氧分压是影响SnO2颗粒尺寸大小及薄膜元件气敏性能的重要因素。 展开更多
关键词 MO—PECVD方法 SNO2薄膜 气敏
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二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能 被引量：7
2
作者 林殷茵 汤庭鳌 +2 位作者 黄维宁 姜国宝 姚熹 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期1067-1072,共6页
以无机盐为原料，采用新颖的溶胶－凝胶工艺制备了具有优良电阻－气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度 ２００℃对 ６００ｐｐｍ ＣＯ的灵敏度可达 ５００，响应时间和恢复时间分别为１３ｓ和 ２０ｓ．进一步研究了薄膜的... 以无机盐为原料，采用新颖的溶胶－凝胶工艺制备了具有优良电阻－气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度 ２００℃对 ６００ｐｐｍ ＣＯ的灵敏度可达 ５００，响应时间和恢复时间分别为１３ｓ和 ２０ｓ．进一步研究了薄膜的光透射率－气敏性能，发现当通 ＣＯ时，透射率下降，最佳工作温度与电阻－气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻－气敏和光透射率－气敏的灵敏度均下降．分析了产生这些现象的原因． 展开更多
关键词 薄膜 二氧化锡 气敏 透射率 溶胶-凝胶
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基于复合金属氧化物的三乙胺气体传感器研究进展 被引量：4
3
作者 蒋楚宁 杨若琳 +3 位作者 吴忠元 阮宸 郑晓虹 张骋 《功能材料与器件学报》 CAS 2022年第6期475-491,共17页
随着市场对有机挥发性气体检测需求的提高,半导体气体传感器因其工作温度低、循环稳定性良好、响应恢复时间短等特性受到了广泛关注。三乙胺是一种重要的化工原料,然而,其挥发性特性及刺激性气味和低毒性对人类的生命安全造成了威胁。... 随着市场对有机挥发性气体检测需求的提高,半导体气体传感器因其工作温度低、循环稳定性良好、响应恢复时间短等特性受到了广泛关注。三乙胺是一种重要的化工原料,然而,其挥发性特性及刺激性气味和低毒性对人类的生命安全造成了威胁。近年来国内外有不少三乙胺气体检测的研究论文和产品介绍,但全面性的综述文章极少。本文以前期学者对三乙胺气体检测的工作为抓手,首先讲述了三乙胺传感器的响应机理和提高气敏响应的内在因素,总结了以不同金属氧化物为基质的复合型半导体传感器对三乙胺气体的检测情况,并详细介绍了不同材料形貌与气敏性能之间的关系。另外,对部分材料的气敏增强机理作了简要概述。最终,对三乙胺气体传感领域做出展望,并为后续开展相关领域工作提供了理论基础。 展开更多
关键词 复合材料 气体传感器 三乙胺 环境监测 气敏性能
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CoTiO_(3)/g-C_(3)N_(4)复合材料的醇敏醛敏双功能特性研究 被引量：1
4
作者 卢靖 张颖 +1 位作者 王亚军 付子晋 《陕西科技大学学报》 北大核心 2023年第2期120-125,共6页
在临床医学诊断领域,基于半导体敏感的呼出气体检测具有灵敏度高、无创伤、可重复且快速等优势,其技术关键是半导体敏感材料对病程发展直接相关的典型标记物高度敏感.选用三聚氰胺、六水合硝酸钴为前驱体,利用溶胶-凝胶法以及热聚合法... 在临床医学诊断领域,基于半导体敏感的呼出气体检测具有灵敏度高、无创伤、可重复且快速等优势,其技术关键是半导体敏感材料对病程发展直接相关的典型标记物高度敏感.选用三聚氰胺、六水合硝酸钴为前驱体,利用溶胶-凝胶法以及热聚合法制得不同g-C_(3)N_(4)含量的CoTiO_(3)/g-C_(3)N_(4)气敏复合材料,采用XRD、SEM、XPS等对所得气体敏感材料进行表征和分析.结果表明,CoTiO_(3)/g-C_(3)N_(4)复合材料中,g-C_(3)N_(4)质量百分比为12%时,材料呈多孔球形结构,在不同工作温度下分别对乙醇和丙烯醛敏感,并可实现温控敏感性的转换.材料对50 ppm乙醇和丙烯醛的响应值分别可以达到32和23,展示了CoTiO_(3)/g-C_(3)N_(4)复合材料在临床呼出气检测当中潜在的应用前景. 展开更多
关键词 钛酸钴 石墨相氮化碳 气体敏感 乙醇 丙烯醛
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阵列和模式识别与气敏传感器 被引量：1
5
作者 林海安 吴冲若 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1995年第1期38-40,56,共4页
本文介绍几种模式识别方法，指出集成阵列和计算机模式识别是气敏传感器取得突破性进展的关键，有机材料是最有吸引力的敏感材料之一．
关键词 模式识别 阵列 气敏传感器 传感器
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氧化锌气敏材料研究进展 被引量：3
6
作者 张西平 贺辛亥 +4 位作者 张雄斌 令璐 刘松涛 渠志刚 杨阿敏 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1986-1990,共5页
总结了近年来国内外研究者制备纳米ZnO工艺的优缺点,同时对目前纳米氧化锌的气敏性能研究工作进行了归纳及整理,然后简述了表面改性方法,最后对其中存在的问题进行了分析总结,对该领域今后的研究提出了一些建议,对ZnO纳米材料的发展前... 总结了近年来国内外研究者制备纳米ZnO工艺的优缺点,同时对目前纳米氧化锌的气敏性能研究工作进行了归纳及整理,然后简述了表面改性方法,最后对其中存在的问题进行了分析总结,对该领域今后的研究提出了一些建议,对ZnO纳米材料的发展前景做了展望。 展开更多
关键词 制备工艺 气敏性 表面改性 发展前景
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双层结构TiO2-WO3气敏薄膜特性的研究 被引量：3
7
作者 尹英哲 胡明 +2 位作者 冯有才 陈鹏 刘志刚 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第5期588-590,593,共4页
用直流反应磁控溅射法制备了TiO2—WO3双层结构的气敏薄膜，进行了薄膜微结构和化学成分分析，研究了TiO2表面层对WO3气敏特性的影响。实验证明：当TiO2膜厚为30nm时，WO3薄膜对NO2敏感特性得到改善，TiO2—WO3结构的薄膜对空气中较低... 用直流反应磁控溅射法制备了TiO2—WO3双层结构的气敏薄膜，进行了薄膜微结构和化学成分分析，研究了TiO2表面层对WO3气敏特性的影响。实验证明：当TiO2膜厚为30nm时，WO3薄膜对NO2敏感特性得到改善，TiO2—WO3结构的薄膜对空气中较低浓度的NO2（体积分数为（1～3）×10。）具有优异的敏感特性和响应特性。最适宜的工作温度为120℃，在一些气体（如CO、H2S、C2H5OH、H2）中对NO2的选择性也大大提高。 展开更多
关键词 直流反应磁控溅射 双层结构 反应速率 气敏
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二硫化钼纳米片的制备及其光敏和气敏特性研究 被引量：2
8
作者 马浩 杨瑞霞 +1 位作者 李春静 韩应宽 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期860-864,共5页
利用高温硫化法制备了高纯度MoS_2纳米片。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman spectrometer)、扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)对MoS_2纳米片的物相、结晶质量以及形貌进行了表征,分析了反应温度对MoS_2纳米片的影响,并对MoS_2纳米片... 利用高温硫化法制备了高纯度MoS_2纳米片。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman spectrometer)、扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)对MoS_2纳米片的物相、结晶质量以及形貌进行了表征,分析了反应温度对MoS_2纳米片的影响,并对MoS_2纳米片的光敏性和气敏特性进行了研究。结果表明,MoS_2纳米片对绿光响应度更高,红光次之,对甲醇和乙醇两种气体均有较高的灵敏度和响应/恢复速率,并对其气敏机理进行了讨论。 展开更多
关键词 MOS2 纳米片 光敏特性 气敏特性
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NiWO_(4)纳米材料的湿法合成及新型气敏传感器性能研究 被引量：1
9
作者 杨敏 朱瑞林 +3 位作者 黄秋萍 张坪 姜涛 邓国伟 《合成化学》 CAS 2021年第10期844-849,共6页
采用湿法合成了低温(60℃)生长的三维花状NiWO_(4)材料,并制备了NiWO_(4)氨气传感器。采用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、红外光谱(IR)和拉曼光谱(Raman)等对NiWO_(4)纳米材料的物相结构、微观形貌和比表面积进行了分析;研究... 采用湿法合成了低温(60℃)生长的三维花状NiWO_(4)材料,并制备了NiWO_(4)氨气传感器。采用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、红外光谱(IR)和拉曼光谱(Raman)等对NiWO_(4)纳米材料的物相结构、微观形貌和比表面积进行了分析;研究了传感器对氨气、二氧化氮、二氧化碳、二氧化硫、一氧化碳和甲烷等气体的传感性能。结果表明:NiWO_(4)对氨气显示了最佳气敏响应。在50 ppm氨气下,NiWO_(4)氨气传感器显示出快速响应(47 s)和快速恢复(143 s)。此外,还测试了材料在22.5%~97.3%的相对湿度(RH)内的响应恢复效应。结果表明:NiWO_(4)材料对于湿度的响应较为迅速(37 s),具备制备高性能湿敏传感器的潜力。 展开更多
关键词 钨酸镍 湿法合成 气敏 氨气检测 纳米材料 响应恢复 湿敏
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SnO_2光透射率气敏薄膜的制备 被引量：1
10
作者 郭竹远 边志华 《电子工艺技术》 2005年第1期32-34,共3页
采用溶胶-凝胶技术,利用旋转涂膜法制备非晶态二氧化锡薄膜,常温下在含有CO的气氛中光通过薄膜的透射率变大,对CO有较高的灵敏度。对制备过程中出现的实验现象、制备机理及薄膜的结构和特性进行了研究。
关键词 二氧化锡 气敏 薄膜 光透射率 溶胶-凝胶法
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掺Ce^(4+)的WO_3纳米材料的制备与气敏性能 被引量：2
11
作者 刘元隆 董永全 胡斌 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期12-16,共5页
用微乳液法制备了6种掺Ce4+的WO3气敏材料,用XRD分析了它们的结构和晶粒度,用自组装仪器测定了它们的气敏性能。结果表明,实验所制WO3及其掺Ce4+样品均为单斜晶系,Ce4+的掺入没有改变样品的晶系结构,样品晶粒度为309 nm～436nm;烧结温度... 用微乳液法制备了6种掺Ce4+的WO3气敏材料,用XRD分析了它们的结构和晶粒度,用自组装仪器测定了它们的气敏性能。结果表明,实验所制WO3及其掺Ce4+样品均为单斜晶系,Ce4+的掺入没有改变样品的晶系结构,样品晶粒度为309 nm～436nm;烧结温度500℃、掺Ce4+量为2%(质量分数)的样品对丙酮有较好的灵敏度、选择性和响应恢复特性。 展开更多
关键词 微乳液法 WO3粉体 气敏性能 Ce4+
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磁控射频溅射三SnO_2薄膜的气敏光学特性研究 被引量：1
12
作者 冯金垣 张华锋 汪秀华 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期160-161,163,共3页
采用磁控射频溅射在玻璃基片上制备SnO2薄膜,对采用不同工艺制备的薄膜进行了XRD和常温下的膜片在CO2、乙醇中的气敏光学特性与透射光谱测试。结果表明,该薄膜在常温下对测试气体有敏感效应,会引起透射光谱的变化,并且光谱透射率的变化... 采用磁控射频溅射在玻璃基片上制备SnO2薄膜,对采用不同工艺制备的薄膜进行了XRD和常温下的膜片在CO2、乙醇中的气敏光学特性与透射光谱测试。结果表明,该薄膜在常温下对测试气体有敏感效应,会引起透射光谱的变化,并且光谱透射率的变化与波长相关。 展开更多
关键词 薄膜 SNO2 气敏 透射率 磁控溅射
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氧化石墨烯掺杂对氧化锌气敏性能的影响 被引量：1
13
作者 李客 李林萍 +1 位作者 曹治中 刘延辉 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期215-219,共5页
通过水热法和Hummers法分别制备纳米氧化锌和氧化石墨烯(GO),采用物理球磨法进行掺杂实现对纳米氧化锌改性,并对掺杂氧化锌的气敏性能进行测试。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对样品进行结构和形貌表征,考察GO质量分数对氧... 通过水热法和Hummers法分别制备纳米氧化锌和氧化石墨烯(GO),采用物理球磨法进行掺杂实现对纳米氧化锌改性,并对掺杂氧化锌的气敏性能进行测试。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对样品进行结构和形貌表征,考察GO质量分数对氧化锌形貌和气敏性能的影响。结果表明,掺杂质量分数为3%GO的氧化锌对体积分数为100μL/L乙醇的响应值(S=R_(a)/R_(g))达到153.504,是掺杂前的4倍。GO掺杂纳米ZnO可作为检测乙醇气体的新型传感材料。 展开更多
关键词 氧化锌 氧化石墨烯 掺杂 气敏
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电容式气体传感器
14
作者 陈贻炽 《贵州化工》 1995年第4期20-25,共6页
分别叙述用于湿度和ＣＯ２检测的各种电容式传感器，并分析其感应材料及感应机理。
关键词 气体传感器 电容式传感器 感应 备种 湿度 CO2
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类钙钛矿La_(2-x)Sr_xCuO_4(x=0.2～1)的制备和气敏性研究 被引量：1
15
作者 赵伟杰 张晶 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期79-83,共5页
采用固相法制备了类钙钛矿La2-xSrxCuO4(x=0.2～1)复合氧化物,并制成厚膜型气敏元件。利用XRD对样品进行结构表征,用SEM对样品形貌进行分析,并对厚膜型La1.2Sr0.8CuO4进行了气敏性能测试,对气敏机理进行了初步研究,结果表明,当x=0时,La2... 采用固相法制备了类钙钛矿La2-xSrxCuO4(x=0.2～1)复合氧化物,并制成厚膜型气敏元件。利用XRD对样品进行结构表征,用SEM对样品形貌进行分析,并对厚膜型La1.2Sr0.8CuO4进行了气敏性能测试,对气敏机理进行了初步研究,结果表明,当x=0时,La2CuO4为正交结构;当0.2≤x≤0.4时,B位Cu2+的氧配位数为6,呈现T型四方结构;当0.6≤x≤1时,会出现T'相,T'相中的Cu2+的氧配位数为5,仍然属于四方结构;类钙钛矿La1.2Sr0.8CuO4在700℃工作时对O2有最好的灵敏度为2.53,响应时间仅为1.5 s,恢复时间为3.35 min。 展开更多
关键词 类钙钛矿 La2-xSrxCuO4 气敏性
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CuO@CuS元件的制备及其对H2S的气敏机理研究 被引量：1
16
作者 刘向薇 田野 +2 位作者 杜明俊 许传欣 杨全毅 《化学与粘合》 CAS 2020年第3期200-201,209,共3页
采用简单的一步溶液法制备出了形貌较好的氧化铜纳米片,并通过对氧化铜进行硫化氢钝化的方式,制备出了室温工作温度下能重复检测硫化氢的气敏元件。研究结果显示,制备的CuO@CuS元件在室温工作温度下对硫化氢表现出较好的选择性、响应灵... 采用简单的一步溶液法制备出了形貌较好的氧化铜纳米片,并通过对氧化铜进行硫化氢钝化的方式,制备出了室温工作温度下能重复检测硫化氢的气敏元件。研究结果显示,制备的CuO@CuS元件在室温工作温度下对硫化氢表现出较好的选择性、响应灵敏度高且响应时间短。室温工作温度下对1ppm、5ppm、10ppm、15ppm浓度硫化氢的响应灵敏度为3.0、4.9、6.2、8.0,对应的响应时间为30s、10s、7s、5s。 展开更多
关键词 氧化铜纳米结构 室温 硫化氢 气敏
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研究氧化锌纳米材料的研究进展 被引量：1
17
作者 王长远 《中国西部科技》 2013年第9期56-58,共3页
很多人近年来对ZnO纳米材料进行了广泛的研究。本文主要从光学、气敏以及材料的形貌三个方面综述了ZnO纳米材料的进展。通过大量的掺杂不同的元素和改变制备条件的实验,观察ZnO纳米材料的发光、气敏和形貌改变,进而推测出ZnO纳米材料的... 很多人近年来对ZnO纳米材料进行了广泛的研究。本文主要从光学、气敏以及材料的形貌三个方面综述了ZnO纳米材料的进展。通过大量的掺杂不同的元素和改变制备条件的实验,观察ZnO纳米材料的发光、气敏和形貌改变,进而推测出ZnO纳米材料的发光、气敏和形貌改变的机理。 展开更多
关键词 氧化锌 光学 气敏 形貌
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SnO_2光透射率气敏薄膜的制备和研究 被引量：1
18
作者 边志华 郭竹远 +1 位作者 刘瑞丽 吴东 《太原理工大学学报》 CAS 2004年第6期684-686,共3页
采用溶胶 凝胶技术,利用旋转涂膜法制备二氧化锡薄膜。结果发现,常温下在含有CO的气氛中光通过薄膜的透射率变大,对CO有较高的灵敏度。并对制备过程中出现的实验现象、制备机理及薄膜的结构和特性进行了分析和研究。
关键词 二氧化锡 气敏 薄膜 光透射率 溶胶-凝胶法
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7,7,8,8-四氰基对苯醌二甲烷的光伏-气敏特性
19
作者 江雷 王德军 +2 位作者 刘旺 柴向东 李铁津 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1990年第12期1419-1422,共4页
用表面光电压谱技术研究了7,7,8,8-四氰基对苯醌二甲烷多晶的光伏-气敏特性。结果表明,在较高真空度条件下,该化合物有两类不同的表面光电压响应峰,分别位于390 nm(P_1)和480 nm(P_2)。探针气体吸附证明,P_1表现出较强的受体性,而P_2则... 用表面光电压谱技术研究了7,7,8,8-四氰基对苯醌二甲烷多晶的光伏-气敏特性。结果表明,在较高真空度条件下,该化合物有两类不同的表面光电压响应峰,分别位于390 nm(P_1)和480 nm(P_2)。探针气体吸附证明,P_1表现出较强的受体性,而P_2则显示出给体性质。给体性分子与该化合物的∏键轨道作用,而受体分子与其C≡N端基作用。 展开更多
关键词 表面光电压 TCNQ晶体 气敏 吸附
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C_(27)H_(28)O_5Br_2S薄膜在氨蒸汽中的气敏透过光谱特性的研究
20
作者 冯金垣 陈先红 +1 位作者 杨日福 柳林 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第5期467-468,473,共3页
分析了溴百里酚蓝的气敏作用机理 ,介绍用涂膜法和喷膜法制备溴百里酚蓝气敏薄膜 ,并用单色仪测量溴百里酚蓝薄膜在氨蒸汽中气敏前后的光谱透过特性。
关键词 C27H28O5Br2S薄膜 气敏 光谱透过率 氨蒸汽
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