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SnO_2∶Sb∶Ni低温气敏薄膜的制备及性能研究
1
作者 曹妩媚 刘祖黎 姚凯伦 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期99-102,共4页
以无机盐SnCl4 ·5H2 O ,SbCl5,NiCl2 ·6H2 O为原料 ,采用溶胶 凝胶工艺制备了Sb2 O3 和NiO掺杂的SnO2 薄膜 .研究了SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜的电学和气敏性能 .实验研究表明 ,由于锑的掺杂 ,所制得的SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜电阻较低 ,室... 以无机盐SnCl4 ·5H2 O ,SbCl5,NiCl2 ·6H2 O为原料 ,采用溶胶 凝胶工艺制备了Sb2 O3 和NiO掺杂的SnO2 薄膜 .研究了SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜的电学和气敏性能 .实验研究表明 ,由于锑的掺杂 ,所制得的SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜电阻较低 ,室温下其电阻只有 1 2 0kΩ/□ .而NiO作为催化剂 ,使其对NOx 气体具有较高的灵敏度和良好的选择性 .与SnO2 ∶Sb薄膜相比 ,其工作温度大大降低 ,在常温下对NOx 气体 (主要成分是NO)也具有一定的灵敏度 ;并且水汽不影响其对NOx 气体的灵敏度 .SnO2 ∶Sb∶Ni薄膜工作温度的降低主要是薄膜表面缺陷和颈连粒子的存在所致 . 展开更多
关键词 sol-gel工艺 气敏薄膜 电学性能 SnO2:Sb:Ni薄膜 二氧化锡薄膜 掺杂 锑 镍 气敏性能
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ITO气敏薄膜的研制及应用 被引量：1
2
作者 刘隆鉴 《四川工业学院学报》 1995年第4期40-45,共6页
本文阐述了ＩＴＯ气敏薄膜的制作过程、工作原理与气敏特性的测试方法和它的应用前景。
关键词 气敏薄膜 半导体薄膜 灵敏度 ITO薄膜
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金属催化剂对CO气敏薄膜特性影响的密度泛函法分析
3
作者 薛严冰 唐祯安 魏广芬 《测试技术学报》 2006年第1期15-20,共6页
根据密度泛函理论,采用总体能量平面波赝势方法,计算了CO气体敏感薄膜中几种常用金属催化剂(P T,PD,CU,A G)的能量最低晶面,并对CO在这些晶面上的吸附特性进行了研究.从结合能、C O键长、轨道布居、态密度等方面比较了C与金属成键强度... 根据密度泛函理论,采用总体能量平面波赝势方法,计算了CO气体敏感薄膜中几种常用金属催化剂(P T,PD,CU,A G)的能量最低晶面,并对CO在这些晶面上的吸附特性进行了研究.从结合能、C O键长、轨道布居、态密度等方面比较了C与金属成键强度及CO分子被活化程度.计算结果发现,CO在金属表面的吸附强度及金属对CO催化效果强弱的顺序是:P T>PD>CU>A G.得出结论:对于CO气体传感器,P T是通过金属催化剂添加提高灵敏度的最佳选择. 展开更多
关键词 密度泛函 CO气体敏感薄膜 金属催化剂 吸附 催化效果 薄膜传感器
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