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磁控溅射纳米SnO_2薄膜的气敏特性 被引量:11
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作者 林伟 黄世震 +1 位作者 黄兆新 陈伟 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期61-64,共4页
采用磁控溅射制备SnO2薄膜气敏元件,测试了气敏元件的性能,研究了SnO2薄膜气敏元件薄膜厚度、元件加热功率和环境温度和湿度对元件的影响,气敏元件具有很好的灵敏度和选择性特性,对其敏感机理进行了探讨。
关键词 磁控溅射 气敏特性 二氧化锡薄膜 气敏元件 SNO2 敏感机理
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Sb∶SnO_2/SiO_2纳米复合薄膜的光学及气敏特性 被引量:2
2
作者 顾铮■ 梁培辉 张伟清 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期959-962,共4页
采用溶胶 凝胶 (sol gel)工艺制备了Sb∶SnO2 /SiO2 复合膜。通过原子力显微镜 (AFM )观察了薄膜样品的表面形貌 ,利用紫外 可见光谱 ,p 偏振光反射比角谱研究了复合薄膜的光学特性。结果表明 ,薄膜中的晶粒具有纳米尺寸 (~ 35nm)的... 采用溶胶 凝胶 (sol gel)工艺制备了Sb∶SnO2 /SiO2 复合膜。通过原子力显微镜 (AFM )观察了薄膜样品的表面形貌 ,利用紫外 可见光谱 ,p 偏振光反射比角谱研究了复合薄膜的光学特性。结果表明 ,薄膜中的晶粒具有纳米尺寸 (~ 35nm)的大小 ,比表面积大 ,孔隙率高 ;薄膜的透光率高 ,可见光波段近 95 % ;其光学禁带宽度约 3 6 7eV。因此Sb∶SnO2 /SiO2 纳米复合膜可作为气敏薄膜的理想选择。通过对三种不同的气体C3 H8,C2 H5OH及NH3气敏特性的测试表明 ,Sb掺杂大大提高了SnO2 薄膜对C2 H5OH的灵敏度 ,纳米Sb∶SnO2 /SiO2 复合膜的气敏灵敏度高于纯SnO2 薄膜及Sb掺杂的SnO2 展开更多
关键词 薄膜 纳米薄膜 p-偏振光反射比 光学参数 吸收边 气敏特性
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射频反应溅射纳米SnO_2薄膜气敏特性研究 被引量:1
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作者 宋建将 黄世震 +3 位作者 林伟 陈伟 黄兆新 陈知前 《漳州师范学院学报(自然科学版)》 2004年第1期37-42,共6页
采用射频反应溅射在瓷管上制备了SnO2气敏薄膜元件,以及用传统方法制备了SnO2厚膜元件.两种元件经测试表现出对乙醇较高的灵敏度,对两种元件进行了性能对比测试.测试表明,无论在灵敏度、响应恢复时间,还是在检测浓度范围上,SnO2气敏薄... 采用射频反应溅射在瓷管上制备了SnO2气敏薄膜元件,以及用传统方法制备了SnO2厚膜元件.两种元件经测试表现出对乙醇较高的灵敏度,对两种元件进行了性能对比测试.测试表明,无论在灵敏度、响应恢复时间,还是在检测浓度范围上,SnO2气敏薄膜元件都比传统的厚膜元件性能优越.SnO2气敏薄膜元件经过表面修饰,在200×10-6体积浓度下接近30.对薄膜元件加热温度及选择性进行了研究,初步探讨了元件稳定性及其敏感机理. 展开更多
关键词 射频反应溅射 二氧化锡薄膜 厚膜元件 气敏特性 纳米材料
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Fe_2O_3:SnO_2薄膜的气敏透射光学特性 被引量:1
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作者 梁振斌 郑顺镟 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期23-26,36,共5页
用溶胶——凝胶法制备Fe2O3:SnO2薄膜,研究了它的气敏透射光学特性,分析了实验结果。
关键词 薄膜 气敏 透射光学特性 光纤传感器
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SnO_2:ZnO薄膜的气敏透射光谱研究 被引量:9
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作者 郭斯淦 郑顺旋 谢格 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第6期19-23,共5页
本文作者研究了SnO_2:ZnO薄膜在甲醇、丙酮、氨蒸气中的气敏透射光谱特性。发现在可见光区透射率随气体浓度增大而增大,而在近红外区气敏特性并不明显。与纯SnO_2薄膜比较,其气敏特性有较大的改善。
关键词 薄膜 气敏透射光谱 氧化锡 氧化锌
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SnO_2∶ZnO薄膜光透射的气敏特性 被引量:3
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作者 郭斯淦 郑顺旋 余永安 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第12期905-908,共4页
作者研制成一种二氧化锡掺氧化锌的光学薄膜,该膜具有气敏特性。测量了它在甲醇蒸气、乙醇蒸气、氨气中光透射率与气体浓度的关系,并解释了它的机理。
关键词 Sno:Zno 薄膜 气敏 有害气体 检测
原文传递
SnO_2簿膜(掺Sb)光学气敏选择性的实验研究
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作者 郭斯淦 郑顺旋 余永安 《应用科学学报》 CAS CSCD 1993年第1期91-94,共4页
郑顺旋等人观察到常用的气敏-电阻型材料氧化锡薄膜的光学性质和气敏特性有关.这一发现突破了近半个世纪以来氧化物的气敏特性仅与电阻有关的模式.使得可以用光学量去探索至今还未清楚的氧化物气敏机理.也为新型气敏传感技术提供了有效... 郑顺旋等人观察到常用的气敏-电阻型材料氧化锡薄膜的光学性质和气敏特性有关.这一发现突破了近半个世纪以来氧化物的气敏特性仅与电阻有关的模式.使得可以用光学量去探索至今还未清楚的氧化物气敏机理.也为新型气敏传感技术提供了有效的敏感材料.然而与气敏-电阻效应一样,纯SnO_2器件的气敏-光学效应对各种还原性气体的灵敏度几乎相同,因此制造出气体选择性良好的元件很不容易.为了提高SnO_2薄膜气敏光学效应的气体选择性,在纯SnO_2薄膜中掺杂了0.1wt%的Sb. 展开更多
关键词 气敏光学特性 选择性 氧化锡 薄膜
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