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扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法 被引量：2
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作者 朱龙俊 《自动化与仪表》 北大核心 2012年第3期53-56,共4页
扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值。文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简... 扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值。文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1%FS以下。 展开更多
关键词 扩散硅压力传感器 温度 非线性 误差补偿 满量程
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