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MEMS芯片正面结构释放时的保护 被引量：1
1
作者 张筱朵 秦明 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第4期335-338,共4页
提出了一种MEMS后处理中正面结构释放的正面保护方法.尤其是针对在CMOS-MEMS工艺制造单片集成传感器时,MEMS后处理工艺中正面体硅湿法腐蚀时对已制作完成的CMOS电路部分的表面铝引线、铝焊盘和钝化层下多晶层的保护方法.将一种新型的复... 提出了一种MEMS后处理中正面结构释放的正面保护方法.尤其是针对在CMOS-MEMS工艺制造单片集成传感器时,MEMS后处理工艺中正面体硅湿法腐蚀时对已制作完成的CMOS电路部分的表面铝引线、铝焊盘和钝化层下多晶层的保护方法.将一种新型的复合膜结构和优化后的TMAH腐蚀液相结合,可以保证长时间高温腐蚀时腐蚀液不会渗透到钝化层下,同时完成正面MEMS结构释放.具有与CMOS工艺兼容、工艺实现简单等特点. 展开更多
关键词 MEMS后处理 正面腐蚀 正面保护 正面结构释放
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煤矿井下综掘工作面临时支护技术改造及应用 被引量：2
2
作者 李凡 《煤矿机械》 2021年第2期136-138,共3页
针对煤矿井下综掘工作面临时支护防护效果差的问题,对屯宝煤矿WⅡ02040502工作面上顺槽掘进工作面巷道临时支护进行了技术改造,增加了液压前翻板、超前网及护帮前探梁。现场应用结果表明,掘进1100 m未发生任何工作面迎头冒顶、片帮、落... 针对煤矿井下综掘工作面临时支护防护效果差的问题,对屯宝煤矿WⅡ02040502工作面上顺槽掘进工作面巷道临时支护进行了技术改造,增加了液压前翻板、超前网及护帮前探梁。现场应用结果表明,掘进1100 m未发生任何工作面迎头冒顶、片帮、落煤现象及伤人情况。改造后的临时支护能够满足综掘工作面迎头临时支护安全要求。 展开更多
关键词 煤矿井下 综掘工作面 临时支护 液压前翻板 护帮前探梁
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