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预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响 被引量：5
1
作者 李疆 董景新 +1 位作者 刘云峰 吴天准 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第8期35-37,40,共4页
在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同。为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式。对参数的分析显示:预载电压直接影响了加速度计的灵敏... 在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同。为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式。对参数的分析显示:预载电压直接影响了加速度计的灵敏度、量程和分辨力,但不影响非线性。在综合各种影响的基础上,提出了根据不同应用的要求选取预载电压的方法,并进行了实验验证。 展开更多
关键词 微机械 力平衡式加速度计 预载电压 静电力发生器
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