期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）
被引量：
1
1
作者
熊壮
屈明山
+1 位作者
张照云
杨荷
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第5期351-358,共8页
基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效...
基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。
展开更多
关键词
微电子机械系统(MEMS)
谐振器
力灵敏度
原子力显微镜(
afm
)探针
品质因数
谐振频率
下载PDF
职称材料
题名
环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）
被引量：
1
1
作者
熊壮
屈明山
张照云
杨荷
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第5期351-358,共8页
基金
Chinese National Natural Science Foundation(61404121)
文摘
基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。
关键词
微电子机械系统(MEMS)
谐振器
力灵敏度
原子力显微镜(
afm
)探针
品质因数
谐振频率
Keywords
micro-electromechanical
system
（MEMS）
resonator
force
sensitivityl
atomic
force
microscope
（
afm
）
probe
quality
factors
resonance
frequency
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）
熊壮
屈明山
张照云
杨荷
《微纳电子技术》
北大核心
2018
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
