期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
无限变焦3D形貌仪测量条件及不确定度分析 被引量：4
1
作者 郭继平 于冀平 +3 位作者 方南家 王强兵 陈照聚 伍沛刚 《中国测试》 CAS 北大核心 2014年第3期28-31,共4页
为确定影响光学3D形貌测量结果的条件及因素,该文通过分组测量实验对无限变焦3D形貌测量仪在不同测量条件下的测量结果进行定量分析,根据实验结果总结出应用该仪器进行各类测量时选择测量条件的一般性原则。同时,分别对该仪器在不同测... 为确定影响光学3D形貌测量结果的条件及因素,该文通过分组测量实验对无限变焦3D形貌测量仪在不同测量条件下的测量结果进行定量分析,根据实验结果总结出应用该仪器进行各类测量时选择测量条件的一般性原则。同时,分别对该仪器在不同测量应用中测量结果的不确定度进行了分析。结果表明:照明条件、视场选择、扫描分辨率等条件因素对测量结果会产生较大影响,因此在实际测量时应注意选择合适的条件以减小测量误差。 展开更多
关键词 几何量计量 微观形貌测量 光学3D测量 变焦技术 不确定度分析
下载PDF
变焦显微三维测量系统的研究进展 被引量：3
2
作者 尚明皓 余飞鸿 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第16期28-40,共13页
精密制造领域的发展对复杂微观结构的三维形貌测量提出了更高的要求。非接触测量方法虽然具有可观的纵向分辨率,但难以测量倾角较大的倾斜表面。近年来提出的基于超短景深成像的变焦测量方法对斜面表面的测量具有较好的效果,能够真正实... 精密制造领域的发展对复杂微观结构的三维形貌测量提出了更高的要求。非接触测量方法虽然具有可观的纵向分辨率,但难以测量倾角较大的倾斜表面。近年来提出的基于超短景深成像的变焦测量方法对斜面表面的测量具有较好的效果,能够真正实现微观复杂结构表面的三维测量。总结了利用变焦法进行显微三维测量的原理,介绍了变焦显微三维测量系统理论与技术的最新进展,最后对变焦显微三维测量系统的未来发展方向进行了讨论和展望。 展开更多
关键词 成像系统 显微三维测量 变焦 聚焦评价 极值搜索 图像融合
原文传递
融合共焦与变焦测量技术的复杂表面测量方法
3
作者 刘晓军 黄进康 柴常春 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期1-5,共5页
对于复杂多样性的表面,共焦测量法和变焦测量法均只能测量特定的区域信息,不能提供全局的最优测量.针对此问题,基于结构照明显微成像技术,提出了一种融合共焦测量技术与变焦测量技术的复杂表面测量方法.该方法通过建立坐标统一的双模式... 对于复杂多样性的表面,共焦测量法和变焦测量法均只能测量特定的区域信息,不能提供全局的最优测量.针对此问题,基于结构照明显微成像技术,提出了一种融合共焦测量技术与变焦测量技术的复杂表面测量方法.该方法通过建立坐标统一的双模式一体测量显微镜,充分利用了两种测量方法的优点来估算每个测量点处的表面重建置信度值,进而有效地实现了不同表面形貌数据的融合.为了验证该方法的性能,对陡峭台阶表面和复杂纹理的磨削表面进行了一系列试验测试.结果表明:该方法在兼顾共焦测量精度的同时,有效抑制了复杂表面测量结果中存在的噪点和异常点,较好地实现了对陡峭台阶表面和复杂纹理的磨削表面的有效测量. 展开更多
关键词 表面形貌测量 共焦测量 变焦测量 数据融合 表面置信度评价
原文传递
变焦显微成像三维测量算法性能分析 被引量：3
4
作者 史艳琼 尹秋霞 卢荣胜 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第7期177-189,共13页
系统地总结了基于超短景深显微成像技术的超大景深立体显微与三维测量方法,研究了变焦显微三维测量方法中的典型聚焦评价函数、焦点搜索方法、图像序列融合与三维重构方法的性能,并进行了实验验证。研究结果对实施变焦三维成像与测量技... 系统地总结了基于超短景深显微成像技术的超大景深立体显微与三维测量方法,研究了变焦显微三维测量方法中的典型聚焦评价函数、焦点搜索方法、图像序列融合与三维重构方法的性能,并进行了实验验证。研究结果对实施变焦三维成像与测量技术具有参考价值。 展开更多
关键词 测量 超景深 变焦成像 三维测量 聚焦评价函数
原文传递
基于变焦显微测量技术的键合金丝参数测量
5
作者 马美铭 禹胜林 +2 位作者 周为荣 张杰 王雨壮 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期26-31,共6页
欧美国家在半导体行业一直以来对我国实行技术封锁政策,我国许多关键技术和设备只能依靠进口,其中就包括键合金丝参数测量设备。键合金丝参数测量设备主要用于自动检测键合金丝的拱高和跨度等参数。由于键合金丝的回波损耗、驻波等微波... 欧美国家在半导体行业一直以来对我国实行技术封锁政策,我国许多关键技术和设备只能依靠进口,其中就包括键合金丝参数测量设备。键合金丝参数测量设备主要用于自动检测键合金丝的拱高和跨度等参数。由于键合金丝的回波损耗、驻波等微波传输特性与键合金丝的拱高、跨度等参数呈对应关系,因此可以通过测量相关参数的方法来检测键合金丝的微波传输特性是否合格。通过这一方法可以解决人工测量导致的速率低下的问题,提高键合质量检测效率,降低检测成本。本文基于变焦显微测量技术实现了键合金丝参数的测量。该方法通过自主设计的图像采集平台,获取到键合金丝的一组图像,然后进行聚焦区域提取,从而实现键合金丝的三维重建及参数测量。该方法对键合金丝拱高的测量精度<0.01 mm,相对误差<1.5%,对键合金丝跨度的测量精度<0.005 mm,相对误差<0.7%,可以满足自动检测键合金丝参数的设计需求。 展开更多
关键词 键合金丝 变焦显微测量 聚焦区域提取 三维重建 参数测量
下载PDF
X波段T/R组件键合金丝的自动检测技术
6
作者 马美铭 禹胜林 +2 位作者 张杰 王雨壮 周为荣 《电子测量技术》 北大核心 2021年第17期118-122,共5页
X波段T/R组件中,键合金丝的数量、长度、拱高、跨距、焊点位置等参数会对微波传输特性产生严重的影响。通过自动检测技术实现上述参数的自动检测,可以推断出X波段T/R组件键合质量是否合格。基于变焦显微测量技术,通过自主设计的图像采... X波段T/R组件中,键合金丝的数量、长度、拱高、跨距、焊点位置等参数会对微波传输特性产生严重的影响。通过自动检测技术实现上述参数的自动检测,可以推断出X波段T/R组件键合质量是否合格。基于变焦显微测量技术,通过自主设计的图像采集平台,获取到键合金丝的一组图像,然后通过多聚焦图像融合、聚焦评价等图像处理技术,实现了键合金丝的拱高和跨度的微米级测量,测量结果相对误差小于0.7%。该方法该技术有利于提高金丝键合成品质量的检测效率,提高X波段T/R组件的生产效率。 展开更多
关键词 T/R组件 键合金丝 变焦显微测量 模板匹配 多聚焦图像融合 聚焦评价
下载PDF
三维变焦测量序列图像配准研究
7
作者 黎磊 《新技术新工艺》 2019年第9期67-71,共5页
在三维变焦测量技术中,驱动单元控制被测物移动同时相机采集序列图像,此过程中由于环境不稳定如载物台振动、光照条件的变化等可能导致图像失配,因此有必要对序列图像配准使得其在几何位置意义上对齐。提出利用结构相似性测量(SSIM)定... 在三维变焦测量技术中,驱动单元控制被测物移动同时相机采集序列图像,此过程中由于环境不稳定如载物台振动、光照条件的变化等可能导致图像失配,因此有必要对序列图像配准使得其在几何位置意义上对齐。提出利用结构相似性测量(SSIM)定量评价配准质量,同时通过将配准后图像与参考图像对比差异化显示,更加全面地衡量配准效果。首先根据单反相机拍摄的标定板图像对比分析了基于灰度信息和不同特征的配准方法,考虑到序列图像配准对速度和准确度的要求,确定了基于SURF特征的配准方法。然后对三维变焦序列图像进行配准,效果良好且根据配准得到的变换矩阵可以看出图像间仅存在几个像素内的平移。 展开更多
关键词 三维变焦测量 图像配准 特征提取 特征匹配 几何变换 结构相似性测量
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部