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基于Parylene的柔性神经微电极的研制和表征
被引量:
3
1
作者
李博
惠春
+2 位作者
徐爱兰
邢玉梅
任秋实
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第10期101-102,113,共3页
衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件,起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯(Parylene)上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺,并利用光学显微镜...
衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件,起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯(Parylene)上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺,并利用光学显微镜和电化学表征技术对微电极的表面形貌和电学性能进行了研究。结果表明:在工作频率范围内(10^4-10^5Hz),柔性神经微电极的阻抗值低(400-1000Ω),相位延迟小(-20°),适于用作视网膜修复。
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关键词
柔性基底
神经微电极阵列
聚对二甲苯
微细加工
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职称材料
硬脑膜上微电极植入并记录家猫视皮层电活动
被引量:
1
2
作者
刘娜
石卫卫
+2 位作者
陈丽峰
侯文生
阴正勤
《第三军医大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期1103-1105,共3页
目的建立初级视皮层区硬脑膜上柔性微电极阵列记录视皮层电活动的方法,比较黑白棋盘格图形和黑白闪烁刺激在诱发视觉诱发电位(visual evoked potential,VEP)方面的差异。方法成年健康家猫5只,静脉持续麻醉,肌松、呼吸机人工通气,采用自...
目的建立初级视皮层区硬脑膜上柔性微电极阵列记录视皮层电活动的方法,比较黑白棋盘格图形和黑白闪烁刺激在诱发视觉诱发电位(visual evoked potential,VEP)方面的差异。方法成年健康家猫5只,静脉持续麻醉,肌松、呼吸机人工通气,采用自行设计的柔性微电极阵列,微创植入并固定于视皮层定位区的硬脑膜上。比较无视觉刺激和有视觉刺激的视皮层电活动,验证是否能记录到VEP;给予闪光和图形视觉刺激,记录和比较视觉诱发电位的峰值和潜伏期。结果通过微创手术将微电极阵列植入并固定在视皮层定位区的硬脑膜外;在硬脑膜外微电极阵列可记录到有效VEP;黑白棋盘格图形刺激与黑白闪烁刺激相比,前者诱发的VEP谷峰值显著高于后者(P<0.01),而诱发的VEP波谷潜伏期较后者长(P<0.05),且波峰潜伏期则显著长于后者(P<0.01)。结论在视皮层定位区硬脑膜外首创的微创植入并固定柔性微电极阵列的方法适用性、重复性好,黑白棋盘格图形刺激优于黑白闪烁刺激,经硬脑膜外利用微电极阵列记录诱发电位是可行的。
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关键词
硬脑膜外
微创手术
柔性微电极阵列
视皮层假体
视觉诱发电位
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职称材料
用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征
3
作者
吴义伯
徐爱兰
+2 位作者
惠春
任秋实
李刚
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2527-2531,共5页
用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯(Parylene)为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能...
用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯(Parylene)为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能进行了表征。结果表明,基于Parylene柔性微电极阵列的阻抗值在中频段呈现高通特性,其阻抗值及相位角分别为2 000--100Ω和-20°,有利于实现植入式视觉假体系统对视神经进行功能性电刺激。
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关键词
柔性微电极阵列
聚对二甲苯
视觉修复
微加工工艺
电化学方法
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职称材料
神经刺激/记录f MEA的高性能3D结构铂纳米镀层的研究
4
作者
黄兆岭
曾齐
+3 位作者
李婉莹
黄金奖
秦水介
吴天准
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第10期3536-3543,共8页
为确保柔性神经电极长期植入的安全和有效刺激/记录,针对柔性微电极阵列(fMEA)特定的植入环境,其设计和制造工艺应满足生物相容性、高分辨率、柔性和低阻抗等要求。本研究使用柔性聚酰亚胺(PI)基体提出了一种f MEA加工方法,并探索了多...
为确保柔性神经电极长期植入的安全和有效刺激/记录,针对柔性微电极阵列(fMEA)特定的植入环境,其设计和制造工艺应满足生物相容性、高分辨率、柔性和低阻抗等要求。本研究使用柔性聚酰亚胺(PI)基体提出了一种f MEA加工方法,并探索了多种三维(3D)结构铂金属涂层的体外性能表现。与未修饰的裸铂金属电极表面相比,3D微结构涂层在1 kHz频率下的阻抗最大下降了94.77%,达到了0.824 kΩ,突破了1 kΩ的极限。而新颖的垒晶状结构涂层电极相比于其他结构电极的阴极电荷存储容量(CSCc)最大可提高6.67倍,达到13.47 mC·cm^-2。安全电荷注入能力(CIC)与Pt gray修饰电极相比提高19.6倍,达到了2.53 mC·cm^-2。因此,这种fMEA的微纳加工方法将极大地提高神经刺激/记录的分辨率和精准度,为生物医学植入器件的应用提供广阔的应用前景。
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关键词
柔性微电极阵列
3D纳米涂层
神经刺激/记录
阻抗特性
垒晶状形貌
原文传递
柔性印刷电路板技术在生物医学工程领域的应用
被引量:
2
5
作者
蒋丽华
曹毅
郑小林
《生物医学工程学杂志》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期670-674,共5页
柔性印刷电路板(FPC)技术具有成本低廉、加工精度高、柔韧性好和体积小等优点,被广泛应用于各种高精度电路加工。近年来,FPC技术的微结构加工能力使其在生物医学工程领域得到广泛应用,特别是随着微流控芯片技术和微电极阵列技术的发展,...
柔性印刷电路板(FPC)技术具有成本低廉、加工精度高、柔韧性好和体积小等优点,被广泛应用于各种高精度电路加工。近年来,FPC技术的微结构加工能力使其在生物医学工程领域得到广泛应用,特别是随着微流控芯片技术和微电极阵列技术的发展,基于FPC技术的高精度电路加工能力可用于加工构建微电极阵列结构,良好的柔韧性赋予了微流控芯片与其他功能模块的封装适应性,也降低了微电极阵列对正常组织的损伤。本文简要介绍了FPC技术在生物医学工程领域的应用,探讨了FPC技术在生物医学工程领域进一步推广的关键技术和应用前景。
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关键词
柔性印刷电路板
微流控
微电极阵列
原文传递
题名
基于Parylene的柔性神经微电极的研制和表征
被引量:
3
1
作者
李博
惠春
徐爱兰
邢玉梅
任秋实
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
上海交通大学生命科学技术学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第10期101-102,113,共3页
基金
国家"973"计划资助项目(2005CB7243002)
文摘
衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件,起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯(Parylene)上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺,并利用光学显微镜和电化学表征技术对微电极的表面形貌和电学性能进行了研究。结果表明:在工作频率范围内(10^4-10^5Hz),柔性神经微电极的阻抗值低(400-1000Ω),相位延迟小(-20°),适于用作视网膜修复。
关键词
柔性基底
神经微电极阵列
聚对二甲苯
微细加工
Keywords
flexible
substrate
neural
microelectrode array
Parylene
microfabrication
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
硬脑膜上微电极植入并记录家猫视皮层电活动
被引量:
1
2
作者
刘娜
石卫卫
陈丽峰
侯文生
阴正勤
机构
第三军医大学西南医院全军眼科中心
重庆大学生物工程学院生物流变科学与技术教育部重点实验室
出处
《第三军医大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期1103-1105,共3页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划
2007AA04Z324)~~
文摘
目的建立初级视皮层区硬脑膜上柔性微电极阵列记录视皮层电活动的方法,比较黑白棋盘格图形和黑白闪烁刺激在诱发视觉诱发电位(visual evoked potential,VEP)方面的差异。方法成年健康家猫5只,静脉持续麻醉,肌松、呼吸机人工通气,采用自行设计的柔性微电极阵列,微创植入并固定于视皮层定位区的硬脑膜上。比较无视觉刺激和有视觉刺激的视皮层电活动,验证是否能记录到VEP;给予闪光和图形视觉刺激,记录和比较视觉诱发电位的峰值和潜伏期。结果通过微创手术将微电极阵列植入并固定在视皮层定位区的硬脑膜外;在硬脑膜外微电极阵列可记录到有效VEP;黑白棋盘格图形刺激与黑白闪烁刺激相比,前者诱发的VEP谷峰值显著高于后者(P<0.01),而诱发的VEP波谷潜伏期较后者长(P<0.05),且波峰潜伏期则显著长于后者(P<0.01)。结论在视皮层定位区硬脑膜外首创的微创植入并固定柔性微电极阵列的方法适用性、重复性好,黑白棋盘格图形刺激优于黑白闪烁刺激,经硬脑膜外利用微电极阵列记录诱发电位是可行的。
关键词
硬脑膜外
微创手术
柔性微电极阵列
视皮层假体
视觉诱发电位
Keywords
epidural
area
microinvasive
surgery
flexible
microelectrode array
visual
cortex
prosthesis
visual
evoked
potential
分类号
R338.25 [医药卫生—人体生理学]
R338.8 [医药卫生—基础医学]
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职称材料
题名
用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征
3
作者
吴义伯
徐爱兰
惠春
任秋实
李刚
机构
上海交通大学生命科学技术学院
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室
中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2527-2531,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划973项目(2005CB724305)资助
文摘
用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯(Parylene)为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能进行了表征。结果表明,基于Parylene柔性微电极阵列的阻抗值在中频段呈现高通特性,其阻抗值及相位角分别为2 000--100Ω和-20°,有利于实现植入式视觉假体系统对视神经进行功能性电刺激。
关键词
柔性微电极阵列
聚对二甲苯
视觉修复
微加工工艺
电化学方法
Keywords
flexible
microelectrode array
parylene
retinal
prosthesis
MEMS
electrochemistry
method
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
神经刺激/记录f MEA的高性能3D结构铂纳米镀层的研究
4
作者
黄兆岭
曾齐
李婉莹
黄金奖
秦水介
吴天准
机构
贵州大学机械工程学院
中国科学院深圳先进技术研究院
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第10期3536-3543,共8页
基金
国家重点研究开发项目(2016YFC010324)
国家自然科学基金(61741505)
深圳科技研究计划(JCYJ201708)。
文摘
为确保柔性神经电极长期植入的安全和有效刺激/记录,针对柔性微电极阵列(fMEA)特定的植入环境,其设计和制造工艺应满足生物相容性、高分辨率、柔性和低阻抗等要求。本研究使用柔性聚酰亚胺(PI)基体提出了一种f MEA加工方法,并探索了多种三维(3D)结构铂金属涂层的体外性能表现。与未修饰的裸铂金属电极表面相比,3D微结构涂层在1 kHz频率下的阻抗最大下降了94.77%,达到了0.824 kΩ,突破了1 kΩ的极限。而新颖的垒晶状结构涂层电极相比于其他结构电极的阴极电荷存储容量(CSCc)最大可提高6.67倍,达到13.47 mC·cm^-2。安全电荷注入能力(CIC)与Pt gray修饰电极相比提高19.6倍,达到了2.53 mC·cm^-2。因此,这种fMEA的微纳加工方法将极大地提高神经刺激/记录的分辨率和精准度,为生物医学植入器件的应用提供广阔的应用前景。
关键词
柔性微电极阵列
3D纳米涂层
神经刺激/记录
阻抗特性
垒晶状形貌
Keywords
flexible
microelectrode array
3D
coating
neural
stimulation
and
recording
impedance
barrier
crystal
morphology
分类号
TM53 [电气工程—电器]
原文传递
题名
柔性印刷电路板技术在生物医学工程领域的应用
被引量:
2
5
作者
蒋丽华
曹毅
郑小林
机构
重庆城市管理职业学院
重庆大学生物工程学院
出处
《生物医学工程学杂志》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期670-674,共5页
文摘
柔性印刷电路板(FPC)技术具有成本低廉、加工精度高、柔韧性好和体积小等优点,被广泛应用于各种高精度电路加工。近年来,FPC技术的微结构加工能力使其在生物医学工程领域得到广泛应用,特别是随着微流控芯片技术和微电极阵列技术的发展,基于FPC技术的高精度电路加工能力可用于加工构建微电极阵列结构,良好的柔韧性赋予了微流控芯片与其他功能模块的封装适应性,也降低了微电极阵列对正常组织的损伤。本文简要介绍了FPC技术在生物医学工程领域的应用,探讨了FPC技术在生物医学工程领域进一步推广的关键技术和应用前景。
关键词
柔性印刷电路板
微流控
微电极阵列
Keywords
flexible
print
circuit
(FPC)
Microfluidic
microelectrode array
分类号
R318.0 [医药卫生—生物医学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Parylene的柔性神经微电极的研制和表征
李博
惠春
徐爱兰
邢玉梅
任秋实
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007
3
下载PDF
职称材料
2
硬脑膜上微电极植入并记录家猫视皮层电活动
刘娜
石卫卫
陈丽峰
侯文生
阴正勤
《第三军医大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
下载PDF
职称材料
3
用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征
吴义伯
徐爱兰
惠春
任秋实
李刚
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
下载PDF
职称材料
4
神经刺激/记录f MEA的高性能3D结构铂纳米镀层的研究
黄兆岭
曾齐
李婉莹
黄金奖
秦水介
吴天准
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
0
原文传递
5
柔性印刷电路板技术在生物医学工程领域的应用
蒋丽华
曹毅
郑小林
《生物医学工程学杂志》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
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