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子孔径拼接干涉检测大口径平面波前
被引量：
12
1
作者
汪利华
吴时彬
+2 位作者
侯溪
匡龙
曹学东
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期126-130,共5页
介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累。用该方法对Zemax仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系统波前和直接用Zemax...
介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累。用该方法对Zemax仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系统波前和直接用Zemax得到的全孔径波前对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.0151λ和0.0016λ。并用口径为100mm的小口径干涉仪对口径为200mm的平面镜进行了拼接实验,将其全孔径波前与直接检测的结果对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.0559λ和0.0004λ。实验结果表明了该算法的有效性,该方法不仅适用于检测光学元件,也适用于对光学系统平面波前检测。
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关键词
子孔径拼接
光学检测
平面波前
光学系统
下载PDF
职称材料
题名
子孔径拼接干涉检测大口径平面波前
被引量：
12
1
作者
汪利华
吴时彬
侯溪
匡龙
曹学东
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期126-130,共5页
文摘
介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累。用该方法对Zemax仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系统波前和直接用Zemax得到的全孔径波前对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.0151λ和0.0016λ。并用口径为100mm的小口径干涉仪对口径为200mm的平面镜进行了拼接实验,将其全孔径波前与直接检测的结果对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.0559λ和0.0004λ。实验结果表明了该算法的有效性,该方法不仅适用于检测光学元件,也适用于对光学系统平面波前检测。
关键词
子孔径拼接
光学检测
平面波前
光学系统
Keywords
sub-aperture
stitching
optical
testing
flat
wavefront
optical
systems
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
子孔径拼接干涉检测大口径平面波前
汪利华
吴时彬
侯溪
匡龙
曹学东
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009
12
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