膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响 被引量：5

1

作者 朱美萍 易葵 +2 位作者 郭世海 范正修 邵建达 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1107-1111,共5页

借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均匀性都对监控曲线有影响;随着膜层层数的增加,监控片不均匀性逐渐增大。实验制备了多层规整薄膜并对其监... 借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均匀性都对监控曲线有影响;随着膜层层数的增加,监控片不均匀性逐渐增大。实验制备了多层规整薄膜并对其监控曲线进行了分析,分析表明考虑到膜厚监控误差和监控片不均匀性后计算的光学监控曲线和镀膜过程实测光学监控曲线吻合较好。这说明膜厚监控误差和监控片不均匀性是引起监控曲线与理论值偏离的重要因素。介绍了如何计算考虑膜厚监控误差和监控片不均匀性后的理论监控曲线。这将对膜厚自动监控,尤其是对非规整膜系的自动监控具有重要的指导意义。 展开更多

关键词 薄膜光学 膜厚监控 误差分析 不均匀性 规整膜系 非规整膜系

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光学干涉滤光片的石英晶体膜厚自动监控技术 被引量：1

2

作者 马志亮 王夏 闫宏 《光学仪器》 2005年第6期89-93,共5页

介绍了用石英晶体膜厚控制仪全自动生产光学干涉滤光片的系统结构、镀膜参数和主要结果。讨论了通过改进离子辅助镀膜工艺提高T iO2薄膜折射率稳定性对于应用石英晶体膜厚监控技术的重要性。

关键词 石英晶体 膜厚监控 光学薄膜

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膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响 被引量：8

3

作者 顾培夫 陆巍 +5 位作者 陈海星 杨毓铭 李海峰 章岳光 刘旭 唐晋发 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期251-254,共4页

讨论了膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片特性的影响 ,分析了监控过程中所出现的信号异常现象 ,其主要原因是控制光光谱宽度以及控制波长与滤光片中心波长不一致 ,所以控制光光谱分辨率必须小于单个法布里珀罗滤光片最后 2层... 讨论了膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片特性的影响 ,分析了监控过程中所出现的信号异常现象 ,其主要原因是控制光光谱宽度以及控制波长与滤光片中心波长不一致 ,所以控制光光谱分辨率必须小于单个法布里珀罗滤光片最后 2层膜折转点波长宽度的一半 ,即对 10 0GHz的滤光片 ,监控系统的光谱宽度必须小于 0 2nm。一旦产生中心波长偏离 ,就必定产生厚度控制误差。讨论了高折射率膜和低折射率膜的信号变化规律 ,发现当中心波长比监控波长长时 ,虽然信号变化规律正确 ,但判读到极值时的膜厚变薄。中心波长偏离越长 ,厚度将越薄。而当中心波长比监控波长短时 ,信号将出现反转。中心波长越短 ,反转量越大。最后指出了监控误差对滤光片Tmax和半峰全宽的影响。 展开更多

关键词 薄膜光学 膜厚监控系统 光谱宽度 窄带滤光片 光谱分辨率 法布里-珀罗滤光片 中心波长 监控误差

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光学膜厚的监控方法 被引量：4

4

作者 庄秋慧 王三强 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第10期413-416,共4页

提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度,避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差;通过算法的处理,将监控信号和光学厚度间的非线性关系转变成了线性关系,并推算出最佳起判时间,避免了监控薄膜沉... 提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度,避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差;通过算法的处理,将监控信号和光学厚度间的非线性关系转变成了线性关系,并推算出最佳起判时间,避免了监控薄膜沉积时非线性误差对极值点判别的影响。 展开更多

关键词 薄膜 膜厚监控 判读精度 光学薄膜 光电极值法 精度

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复合光路光学镀膜宽光谱膜厚监控系统 被引量：3

5

作者 任豪 王巧彬 +1 位作者 罗宇强 李康业 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第5期135-138,F0003,共5页

介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发,对系统结构组成和工作原理进行说明。通过增加中间通光孔式的分光镜的复合光路,基于LabVIEW平台开发宽光谱膜厚监控软件,实现了基于宽光谱扫描法的宽光谱膜厚监控和基于极值法的光学... 介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发,对系统结构组成和工作原理进行说明。通过增加中间通光孔式的分光镜的复合光路,基于LabVIEW平台开发宽光谱膜厚监控软件,实现了基于宽光谱扫描法的宽光谱膜厚监控和基于极值法的光学膜厚监控的兼容并用,提高了光学镀膜膜厚监控的精确性和自动化,为传统光学镀膜设备的升级改造提出了一种可行性技术。 展开更多

关键词 膜厚监控 光学镀膜 复合光路 宽光谱

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光谱测量在宽带膜厚监控系统中的应用 被引量：2

6

作者 尚小燕 韩军 孔英秀 《西安工业学院学报》 2006年第1期25-28,共4页

在宽带膜厚监控系统中,对光谱光强的实时准确测量是系统控制成败的关键.根据系统结构,分析了影响系统光谱分辨率的因素,选取合适的光栅、CCD.实验表明:增加狭缝宽度虽然提高了信号强度,但降低了系统分辨率.根据控制要求,确定狭缝宽度为1... 在宽带膜厚监控系统中,对光谱光强的实时准确测量是系统控制成败的关键.根据系统结构,分析了影响系统光谱分辨率的因素,选取合适的光栅、CCD.实验表明:增加狭缝宽度虽然提高了信号强度,但降低了系统分辨率.根据控制要求,确定狭缝宽度为1.4mm.采用汞灯的特征谱线对CCD像元与光谱波长的对应关系进行标定,实验结果表明满足对膜系光谱特性的要求. 展开更多

关键词 膜厚控制 光谱光强 光谱分辨率 标定

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基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制 被引量：3

7

作者 王巧彬 任豪 罗宇强 《光学仪器》 2006年第5期66-70,共5页

介绍了一种基于LabV IEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言(LabV IEW)在此系统中的应用;监控系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜的光谱特性检测。

关键词 光学薄膜 宽光谱 膜厚监控 光谱特性 LABVIEW

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基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统 被引量：2

8

作者 罗宇强 任豪 +2 位作者 王巧彬 李康业 范力维 《真空》 CAS 北大核心 2008年第6期57-59,共3页

本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,并进行了一系列镀膜... 本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,并进行了一系列镀膜实验。实验结果表明该系统能够实现光学镀膜在线实时监控,且非常适合国产镀膜设备的升级改造。 展开更多

关键词 光纤光谱仪 光学薄膜 宽光谱 膜厚监控 综合监控 LabVIEW

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一种监控非规整膜系的新方法 被引量：2

9

作者 陈德军 杨亚培 方曼 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期37-40,共4页

由透过率和波长的函数关系可知,膜系中每一层都可能存在若干波长的光信号会出现极值偏转。利用这些波长作为每层膜的监控波长,满足光电极值法的监控条件,由此提出了一种监控非规整膜系的新方法。这些波长可以通过波长搜索的方法而得出... 由透过率和波长的函数关系可知,膜系中每一层都可能存在若干波长的光信号会出现极值偏转。利用这些波长作为每层膜的监控波长,满足光电极值法的监控条件,由此提出了一种监控非规整膜系的新方法。这些波长可以通过波长搜索的方法而得出。从监控模拟和随机误差曲线可知,该方法继承了光电极值法简单易行以及自动补偿等优点,其反射率在 0.1%范围内变化,与理论曲线基本吻合。 展开更多

关键词 膜厚监控 光学薄膜 真空镀膜 计算机模拟

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宽带膜厚实时监控过程中膜层折射率的确定方法 被引量：1

10

作者 孔英秀 韩军 尚小燕 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第4期336-339,共4页

为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率,介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法：一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层的折射率;另一种是用最小二乘法的优化算法实时拟合折射率。试验结果表明：在线反算适合单点监控,所得... 为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率,介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法：一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层的折射率;另一种是用最小二乘法的优化算法实时拟合折射率。试验结果表明：在线反算适合单点监控,所得折射率误差小于2%。然而在实际镀膜过程中,由于宽带内膜层参数误差较大,一般大于25%。为此,采用最小二乘法拟合,即在整个宽光谱范围内采集每个波长点的信息,所得结果误差很小,一般都在2%～5%之间,有时可达到10%,在很大程度上提高了实际镀膜时膜厚监控的精度。 展开更多

关键词 膜层折射率 膜厚监控 最小二乘法 薄膜镀制

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光学薄膜膜厚监控中极值法的应用 被引量：1

11

作者 杨亚生 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期74-78,共5页

极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。

关键词 光学薄膜 膜厚监控 极值法

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基于宽光谱的嵌入式膜厚监控系统

12

作者 张沛强 罗宇强 王巧彬 《机电工程技术》 2012年第5期22-25,共4页

为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统。本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽... 为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统。本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽光谱特性,对镀膜过程进行自动控制。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,实验结果表明,系统具有较高的监控能力,性能稳定。 展开更多

关键词 宽光谱 嵌入式 膜厚监控

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嵌入式宽光谱在线膜厚监控系统设计

13

作者 李春喜 邓华秋 任豪 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2011年第12期132-136,共5页

通过对宽光谱膜厚监控原理分析,设计出一套便携的嵌入式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440,采用Linux操作系统,使用跨平台Qt2开发可实时监控界面。系统通过USB光纤光谱仪采集光谱数据,S3C2440微控制器对采集... 通过对宽光谱膜厚监控原理分析,设计出一套便携的嵌入式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440,采用Linux操作系统,使用跨平台Qt2开发可实时监控界面。系统通过USB光纤光谱仪采集光谱数据,S3C2440微控制器对采集的光谱数据通过宽光谱扫描、评价函数、单波长极值等多种方法进行综合处理,最终达到监控镀膜过程中的光学膜厚的目的。系统测试表明,该系统测量精度高、测量速度快且便于携带。 展开更多

关键词 薄膜 光学镀膜 嵌入式QT 宽光谱 膜厚监控

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宽光谱膜厚监控系统的评价函数修正技术

14

作者 尚小燕 韩军 姜旭 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第2期157-162,共6页

基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光谱曲线,对于已镀层,利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数,据此修正目标透射率曲线,并补偿吸收的影响... 基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光谱曲线,对于已镀层,利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数,据此修正目标透射率曲线,并补偿吸收的影响,重新设计膜层数及预镀层厚度,获得新的评价函数,如此对评价函数进行逐层修正。实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-2以下,精度完全可以满足实际要求。 展开更多

关键词 薄膜 膜厚监控 评价函数修正 模拟退火算法 逐层吸收补偿

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一种提高极值法监控精度的方法 被引量：8

15

作者 张晓晖 陈清明 +2 位作者 朱伟民 汤炜 杨光 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期386-390,共5页

提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度 ,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。

关键词 薄膜淀积 极值监控法 膜厚监控精度 过正控制量

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薄膜厚度宽带监控中评价函数的修正 被引量：2

16

作者 韩军 尚小燕 曹春 《西安工业学院学报》 2004年第4期316-318,352,共4页

　在镀膜过程中,采用宽光谱实时监控薄膜厚度的方法,评价函数的准确计算关系到薄膜厚度的最终监控结果.而薄膜材料的吸收会引起评价函数的失真.本文采用软件的方法,在镀下一层之前,对其评价函数中的理论透射比作以修正,消除已镀层吸收... 　在镀膜过程中,采用宽光谱实时监控薄膜厚度的方法,评价函数的准确计算关系到薄膜厚度的最终监控结果.而薄膜材料的吸收会引起评价函数的失真.本文采用软件的方法,在镀下一层之前,对其评价函数中的理论透射比作以修正,消除已镀层吸收对其的影响,由此逐层进行直至结束.实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-3以下,效果良好,完全可以满足实际需要. 展开更多

关键词 宽光谱 薄膜厚度监控 评价函数 吸收 修正

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用复合监控法镀制的TEA CO_2激光器增透膜

17

作者 杨春华 夏文建 +2 位作者 李蓬 余文峰 程祖海 《光学与光电技术》 2007年第1期75-78,共4页

比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点,提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法,利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5%,且具有良好的稳定性和重复性。

关键词 光学薄膜 膜厚监控 复合监控 TEA CO2激光器

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双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用 被引量：1

18

作者 曹一鸣 王小辉 卫红 《光学仪器》 2007年第3期86-89,共4页

为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段... 为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积,提高了膜厚监控的精度。 展开更多

关键词 双重监控 光学镀膜 膜厚监控

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膜厚仪在纳米表面处理织物结构色生产中的应用

19

作者 关德辉 邓天泽 +1 位作者 王忠雨 熊少妹 《染整技术》 CAS 2021年第8期55-57,共3页

为了找到一种能够指导织物结构色生产的新方式,采用纳米表面处理技术中的磁控溅射法在涤纶织物春亚纺上制备结构色。在溅射电流改变或更换靶材后,通过膜厚仪的监控及相关数据换算来控制相应的膜厚。结果表明,此方法能够很好地指导卷绕... 为了找到一种能够指导织物结构色生产的新方式,采用纳米表面处理技术中的磁控溅射法在涤纶织物春亚纺上制备结构色。在溅射电流改变或更换靶材后,通过膜厚仪的监控及相关数据换算来控制相应的膜厚。结果表明,此方法能够很好地指导卷绕磁控溅射法制备织物基底结构色的生产再现。 展开更多

关键词 纳米表面处理 磁控溅射 织物 膜厚仪 结构色

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基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值

20

作者 马孜 赵汝进 +4 位作者 姚远程 肖琦 姚德武 何长涛 袁胜 《微计算机信息》 北大核心 2007年第26期190-192,共3页

针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定... 针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定方法。最后通过DSP开发平台实现上述算法。实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.07%。 展开更多

关键词 薄膜 自适应卡尔曼滤波 光学膜厚监控

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