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纺织浆料浆膜制备方法 被引量:35
1
作者 高卫东 范雪荣 +1 位作者 赵凌云 邵菊香 《棉纺织技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期199-202,共4页
对浆料浆膜制备过程中的浆液调制、浆膜浇制、成膜条件和试样规格作了研究分析,提出用刮浆恒温恒湿干燥法制备浆膜,确定了合理的浆膜拉伸试验的试样尺寸。
关键词 浆料 浆膜 试样 制备 上浆性能
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常温条件制备金属薄膜样品 被引量:3
2
作者 李巧玲 叶云 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第5期567-568,共2页
本文在上海交通大学产电解双喷制样仪上,通过电解液高氯酸和冰醋酸,对几种金属材料进行了常温下,透射电镜薄膜样品的制备。
关键词 常温 电解 薄膜样品 透射电镜 金属样品
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基于灰色神经网络的小样本纳米TiO2改性聚酰亚胺薄膜寿命评估 被引量:1
3
作者 刘道生 陈亦杰 张良 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2023年第2期85-90,共6页
在纳米TiO2改性聚酰亚胺(PI)薄膜寿命评估中,针对失效数据少、寿命分布无法唯一确定、成本高和试验时间长等问题,提出一种基于灰色神经网络的小样本绝缘寿命评估方法。采用原位聚合法制备纳米TiO2改性PI薄膜,进行加速电老化试验并获取... 在纳米TiO2改性聚酰亚胺(PI)薄膜寿命评估中,针对失效数据少、寿命分布无法唯一确定、成本高和试验时间长等问题,提出一种基于灰色神经网络的小样本绝缘寿命评估方法。采用原位聚合法制备纳米TiO2改性PI薄膜,进行加速电老化试验并获取失效数据;构建并训练灰色神经网络,得到与原始数据特征、变化规律相似的扩充数据。采用最小二乘法进行参数估计,分析对比不同失效数据样本量、分布模型和经验累计失效函数的寿命评估结果。通过实际算例,分析扩充前后的最优寿命评估不同方案。结果表明:Weibull分布和数学期望公式的组合更适合原始样本容量的寿命评估。利用扩充后的绝缘失效数据进行寿命评估效果更好,选用反幂函数模型、对数正态分布和中值公式的组合,对扩充样本进行寿命评估最合适。 展开更多
关键词 聚酰亚胺薄膜 灰色神经网络 寿命评估 小样本
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同时制备多个透射电镜截面试样的离子减薄方法 被引量:1
4
作者 张革 崔云 +2 位作者 赵娇玲 王涛 赵元安 《理化检验(物理分册)》 CAS 2023年第10期27-29,33,共4页
试样制备是透射电镜表征的关键,而传统的离子减薄方法效率低下,难以满足大批量的测试需求。以单晶硅基底上沉积的极紫外多层膜为例,介绍了一种同时制备多个透射电镜截面试样的离子减薄方法。结果表明:该方法不仅缩短了离子减薄的时间,... 试样制备是透射电镜表征的关键,而传统的离子减薄方法效率低下,难以满足大批量的测试需求。以单晶硅基底上沉积的极紫外多层膜为例,介绍了一种同时制备多个透射电镜截面试样的离子减薄方法。结果表明:该方法不仅缩短了离子减薄的时间,还缩短了透射电镜装取试样与抽真空的时间。 展开更多
关键词 透射电镜 薄膜 离子减薄 试样制备
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水基Fe_3O_4磁流体动态法拉第磁光特性的研究 被引量:2
5
作者 林明晖 杜林 +1 位作者 王士彬 孙才新 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1687-1691,共5页
为研究在交变磁场作用下铁磁流体动态法拉第磁光特性,设计了一套用于研究铁磁流体磁光效应的实验平台,分析研究了交变磁场作用下所含Fe3O4颗粒的质量分数分别为2%、5%、10%、15%、20%、31.2%等质量分数的水基Fe3O4磁流体动态法拉第磁光... 为研究在交变磁场作用下铁磁流体动态法拉第磁光特性,设计了一套用于研究铁磁流体磁光效应的实验平台,分析研究了交变磁场作用下所含Fe3O4颗粒的质量分数分别为2%、5%、10%、15%、20%、31.2%等质量分数的水基Fe3O4磁流体动态法拉第磁光特性。实验结果表明:铁磁流体对工频交变磁场的响应线性度达到0.9946;与块状玻璃磁光介质相比,铁磁流体所展示的法拉第磁光特性有很大差异;质量分数对铁磁流体法拉第磁光特性的影响明显,其趋势是先随着铁磁流体质量分数的降低,其对磁场的响应程度反而缓慢增强,到质量分数为10%时达到最大值,其后随着质量分数的降低而急剧减弱。分析表明:铁磁流体的这种磁光特性与其在磁场作用下形成平行于磁场方向的线状链有密切关系;质量分数对铁磁流体法拉第磁光特性的影响主要是因其黏度变化导致。 展开更多
关键词 铁磁流体 法拉第效应 薄膜样品 交变磁场 动态特性 浓度
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复合样品厚度参数同步辐射测量方法 被引量:1
6
作者 易荣清 崔延莉 +3 位作者 王哲斌 赵屹东 郑雷 马陈燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期974-976,共3页
薄膜样品在实验研究领域要求样品的厚度测量精度非常高,但由于样品质量小,采用称重的方法,测量精度较差。在北京同步辐射装置的中能(4B7A)和低能(4B7B)束线上(光源能区为0.1~6.0 keV,能量分辨大于1 000),采用材料对单能光子的透... 薄膜样品在实验研究领域要求样品的厚度测量精度非常高,但由于样品质量小,采用称重的方法,测量精度较差。在北京同步辐射装置的中能(4B7A)和低能(4B7B)束线上(光源能区为0.1~6.0 keV,能量分辨大于1 000),采用材料对单能光子的透过率来确定样品的质量厚度,通过不同能点的测量值进行不确定度分析,提高测量精度,降低不确定度。利用该方法开展了复合样品厚度的测量方法研究,给出了有CH衬底的薄膜样品的厚度,通过不确定度分析得出,薄膜样品厚度的测量不确定度小于1%。 展开更多
关键词 薄膜样品 同步辐射 厚度测量 测量不确定度
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道路交通反光膜试验制备存在问题及解决方法
7
作者 王恒 《城市道桥与防洪》 2022年第11期263-265,I0024,共4页
基于实验室道路反光膜产品检测的研究背景,针对产品检测每个性能参数,对反光膜检测前的试验样品制备进行研究分析,根据过往的检测经验和相关资料,在每个环节提出建议,使试验人员样品的制备水平能够提高,确保反光膜产品测试结果的可靠性。
关键词 道路交通 反光膜 样品制备 存在问题 解决办法
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VO_2薄膜制备工艺及电阻开关特性研究 被引量:3
8
作者 许旻 邱家稳 +3 位作者 赵印中 王洁冰 何延春 李强勇 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2001年第6期62-67,共6页
用溶胶 -凝胶法在非晶玻璃上制备 VO2 薄膜 ,经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变 2~ 3个量级的 VO2 薄膜。对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研究。通过 XRD ( X-ray diffracti... 用溶胶 -凝胶法在非晶玻璃上制备 VO2 薄膜 ,经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变 2~ 3个量级的 VO2 薄膜。对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研究。通过 XRD ( X-ray diffraction)和 XPS ( X- ray photoelectron spectroscopy)对薄膜的结构和价态进行分析 ,表明用溶胶 -凝胶法制备 VO2 膜工艺简单 ,重复性好。 展开更多
关键词 二氧化钒 VO2薄膜材料 制备工艺 电阻开关特性 影响因素 溶胶-凝胶法
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聚合物水泥防水涂料试样涂膜研究 被引量:6
9
作者 史红光 《中国建筑防水》 2004年第7期41-43,共3页
由于标准条款的不确定性,聚合物水泥防水涂料在进行产品质量检测时,试样涂膜的制备可采取不同的涂覆次数。试验发现,不同涂覆次数的涂膜性能测试的数据存在差异。指出标准的科学性是产品检测公正性和准确性的前提。
关键词 聚合物水泥 防水涂料 涂膜 拉伸强度 断裂伸长率
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全反射X荧光分析技术研究 被引量:6
10
作者 田宇纮 谭继廉 +3 位作者 郑素华 王瑞光 刘恺 潘晓文 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期265-269,共5页
建立了全反射 X 荧光分析技术,采用了特殊的全反射系统。充分有效地利用初始射线。使在小柬流条件下。达到较高的探测灵敏度。对二次全反射系统的结构进行了研究。选取了合适的结构。对钼激发和铜激发全反射形成的条件和高能切割现象进... 建立了全反射 X 荧光分析技术,采用了特殊的全反射系统。充分有效地利用初始射线。使在小柬流条件下。达到较高的探测灵敏度。对二次全反射系统的结构进行了研究。选取了合适的结构。对钼激发和铜激发全反射形成的条件和高能切割现象进行了研究。研究了不同石英材料做的样品托(二级反射器)的杂质含量和对测量的影响进行了测试分析。以钴和钇元素为样品分别对铜激发和钼激发条件下的最小探测限进行了测量。分别达到0.6×10^(-9)和2.2×10^(-9)(6和2pg)。在此基础上分析了水质样品、油类样品、矿样等不同性质样品,研究了不同样品的制备方法,本文给出了全反射条件的建立。样品的制备、测试、灵敏度测试等结果并对其进行了讨论。 展开更多
关键词 全反射 高能切割 薄样技术 灵敏度 多元素分析
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以薄膜太阳能电池供电的发热碳纤维机织物的发热工艺 被引量:6
11
作者 严涛海 王建刚 陈东生 《闽江学院学报》 2016年第2期108-114,共7页
利用薄膜太阳能电池制作发热织物是以轻便可弯曲的薄膜太阳能电池作为供电装置,以碳纤维发热线制成的织机布样作为发热体.通过薄膜太阳能电池电压、加热时间和碳纤维发热线排列方式3个因素的单因素实验,分析3个因素对发热效果的影响、... 利用薄膜太阳能电池制作发热织物是以轻便可弯曲的薄膜太阳能电池作为供电装置,以碳纤维发热线制成的织机布样作为发热体.通过薄膜太阳能电池电压、加热时间和碳纤维发热线排列方式3个因素的单因素实验,分析3个因素对发热效果的影响、正交实验分析及方差检验的结果显示了3个因素的影响规律及最佳升温的工艺方法,并且显著. 展开更多
关键词 薄膜太阳能电池 机织小样 发热碳纤维线 织物密度
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样品厚度对薄膜法X射线荧光光谱测量的影响研究 被引量:5
12
作者 甘婷婷 张玉钧 +5 位作者 赵南京 殷高方 肖雪 章炜 刘建国 刘文清 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期4039-4044,共6页
分别以富集有Cr,Pb和Cd三种元素的尼龙薄膜样品及玻璃纤维滤膜为研究对象,采用滤膜叠加的方式,通过XRF光谱仪测量不同样品厚度下薄膜样品的XRF光谱,根据测得的尼龙薄膜样品中Cr,Pb,Cd元素及玻璃纤维滤膜中Ca,As和Sr元素特征XRF性质的变... 分别以富集有Cr,Pb和Cd三种元素的尼龙薄膜样品及玻璃纤维滤膜为研究对象,采用滤膜叠加的方式,通过XRF光谱仪测量不同样品厚度下薄膜样品的XRF光谱,根据测得的尼龙薄膜样品中Cr,Pb,Cd元素及玻璃纤维滤膜中Ca,As和Sr元素特征XRF性质的变化,研究样品厚度对薄膜法XRF光谱测量的影响。结果表明:薄膜样品厚度对不同能量区间上元素特征谱线荧光性质的影响并不相同。元素特征谱线能量越大,元素特征X射线荧光穿透滤膜到达探测器的过程中损失越少;但由薄膜样品厚度增加引起的基体效应却越强,相应特征谱线位置处的背景荧光强度就越大,因此样品厚度增加所引起的基体效应对薄膜法XRF光谱测量的灵敏度影响就越大。对于特征谱线能量较低(能量小于7keV)的元素,以增加薄膜样品厚度的方式来增加待测组分的质量厚度浓度,并不能有效地提高薄膜法XRF光谱测量的灵敏度;对于特征谱线能量较高的元素(能量〉7keV),可以通过适当增加样品厚度以增加被测组分的质量厚度浓度的方式来提高XRF光谱测量的灵敏度,薄膜样品厚度在0.96~2.24mm内,更有利于XRF光谱的测量与分析。该研究为大气及水体重金属薄膜法XRF光谱分析中薄样制备及富集技术提供了重要的理论依据。 展开更多
关键词 光谱学 X射线荧光 薄膜法 重金属 样品厚度
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二氧化硅膜厚标准样片的研制与评价 被引量:5
13
作者 赵琳 梁法国 +2 位作者 韩志国 李锁印 付少辉 《计算机与数字工程》 2019年第1期5-8,56,共5页
介绍了二氧化硅膜厚标准样片的用途及国内研制样片的情况,设计了二氧化硅膜厚样片的制作版图,分别采用热氧化和等离子化学气相淀积(PECVD)工艺制备了厚度为10nm~1000nm的硅上二氧化硅膜厚样片。以10nm、1000nm为例对样片的薄膜厚度、... 介绍了二氧化硅膜厚标准样片的用途及国内研制样片的情况,设计了二氧化硅膜厚样片的制作版图,分别采用热氧化和等离子化学气相淀积(PECVD)工艺制备了厚度为10nm~1000nm的硅上二氧化硅膜厚样片。以10nm、1000nm为例对样片的薄膜厚度、均匀性、稳定性进行了考核。结果表明,热氧化工艺制备的膜厚样片质量优于PECVD工艺制备的膜厚样片,研制的膜厚样片的膜厚量值与设计值基本一致,稳定性好,与美国VLSI公司的相同膜厚的膜厚标准样片相比,采用热氧化工艺制作的二氧化硅膜厚样片的均匀性与VLSI样块评价测量结果一致。 展开更多
关键词 膜厚标准样片 热氧化 等离子化学气相淀积 均匀性 稳定性
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高压覆膜制样X射线荧光光谱法测定土壤和水系沉积物中的氯研究 被引量:5
14
作者 薄玮 李小莉 +3 位作者 杜雪苗 刘彬 张勤 白金峰 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1828-1833,共6页
氯是化探样品分析中的重要元素,而X射线荧光光谱法是测定卤族元素的重要技术手段。已有研究表明,X射线荧光光谱法在测定氯时,同一样片中氯的测定值随重复测定次数的增加而逐渐增大或减小。采用高压覆膜制样技术制片,测定土壤和水系沉积... 氯是化探样品分析中的重要元素,而X射线荧光光谱法是测定卤族元素的重要技术手段。已有研究表明,X射线荧光光谱法在测定氯时,同一样片中氯的测定值随重复测定次数的增加而逐渐增大或减小。采用高压覆膜制样技术制片,测定土壤和水系沉积物中的氯,氯(24~40000μg·g^(-1))校准曲线的相关系数明显改善,RMS(均方根)由未贴膜的0.00963,改善为贴膜后的RMS 0.00198。氯的检出限由未贴膜的30μg·g^(-1),改善为贴膜后的21μg·g^(-1)。且高压覆膜制样,同一样片连续测定10次,还是10 d内隔天测定1次,氯的测定值都保持不变或略有下降。从抽真空时间,X光管应用功率,烘样和不烘样,氯元素存在形式等角度解释了氯的测定值随重复测定次数的增加而逐渐增大或略减小的原因。高压覆膜制样,样品表面的聚酯膜,可以阻止在抽真空过程中氯随水分向样片表面迁移扩散或分解损失。高压未覆膜的样片在测定过程中,因样片表面吸附了水及空气分子,因而随抽真空时间的增加及解吸附作用,真空度下降明显,氯的强度变化明显。而高压覆膜样片在测定过程中,真空度下降不明显,氯的测定值基本不变或略有下降。高压制样(1600 kN)可以将不同类型的地质样品压制成型,高压覆膜制样技术,完全消除了粉尘效应,对下照射的X射线荧光光谱仪具有重要意义。测过的样片可以重复测定氯,标准样片可长期保存,避免了标准样品的浪费。用该方法可以准确测定土壤和水系沉积物中32个组分。该样品制备方法也适用于测定其他难以成型的样品及其荧光强度由于真空和长时间辐射而强度变化的元素分析。 展开更多
关键词 高压覆膜制样 X射线荧光光谱 土壤和水系沉积物
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铋膜电极阳极溶出伏安法测定血样中的锌 被引量:3
15
作者 张雁宏 郭子英 樊月琴 《化学分析计量》 CAS 2007年第4期44-46,共3页
采用阳极溶出伏安法用玻碳电极同位镀铋膜测定血样中的锌。实验结果表明,在0.20mol/L的支持电解质KSCN(pH=2.80)中于-1.00V下搅拌富集2min后,进行阳极极化扫描,可获一灵敏的阳极溶出峰,利用该方法测定锌的检出限为1.0×10-11mol/L,... 采用阳极溶出伏安法用玻碳电极同位镀铋膜测定血样中的锌。实验结果表明,在0.20mol/L的支持电解质KSCN(pH=2.80)中于-1.00V下搅拌富集2min后,进行阳极极化扫描,可获一灵敏的阳极溶出峰,利用该方法测定锌的检出限为1.0×10-11mol/L,线性范围为5~25μmol/L。锌标准溶液测定结果的相对标准偏差为3.14%(n=11),加标回收率为95.6%~104.8%。 展开更多
关键词 铋膜电极 阳极溶出伏安法 血样
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ITO薄膜方块电阻测试方法的探讨 被引量:4
16
作者 关自强 《真空》 CAS 2014年第3期44-48,共5页
针对ITO薄膜方块电阻测试方法,文章探讨了常规的四探针法与双电测四探针法在实际生产中的适应性、准确性。根据玻璃基板上的ITO薄膜和聚脂薄膜上的ITO薄膜的结构、物理特性不同特点,测试方块电阻时应注意的细节作出了必要的阐述。并对... 针对ITO薄膜方块电阻测试方法,文章探讨了常规的四探针法与双电测四探针法在实际生产中的适应性、准确性。根据玻璃基板上的ITO薄膜和聚脂薄膜上的ITO薄膜的结构、物理特性不同特点,测试方块电阻时应注意的细节作出了必要的阐述。并对生产中有关方块电阻测试的注意事项作出详细说明。 展开更多
关键词 ITO薄膜 方块电阻 双电测四探针法 标准样片
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一种光谱型椭偏仪的校准方法 被引量:4
17
作者 韩志国 李锁印 +2 位作者 赵琳 冯亚南 梁法国 《中国测试》 北大核心 2017年第12期1-6,共6页
针对光谱型椭偏仪校准结果受测量模型影响大的问题进行研究,提出一种不受测量模型影响的校准方法,即通过校准椭偏角实现光谱型椭偏仪的校准。依据椭偏仪测量原理,通过仿真分析确定实现较大范围内椭偏角校准所需标准样片的薄膜厚度量值,... 针对光谱型椭偏仪校准结果受测量模型影响大的问题进行研究,提出一种不受测量模型影响的校准方法,即通过校准椭偏角实现光谱型椭偏仪的校准。依据椭偏仪测量原理,通过仿真分析确定实现较大范围内椭偏角校准所需标准样片的薄膜厚度量值,并采用半导体热氧化工艺制备出性能稳定的膜厚标准样片。使用标准样片对型号为M-2000XF的光谱型椭偏仪的椭偏角进行校准,样片厚度为2,50,500 nm对应的椭偏角偏差分别在±0.6°,±1.5°,±2°以内,该偏差对薄膜厚度的影响不超过±0.5 nm。经实验表明:该方法不受椭偏仪测量模型的影响,可有效解决光谱型椭偏仪的校准问题。 展开更多
关键词 光谱型椭偏仪 椭偏角校准 膜厚标准样片 仿真
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阵列式薄膜固相微萃取结合高效液相色谱-串联质谱法测定农产品中13种农药残留 被引量:4
18
作者 张帆 王静 +5 位作者 颜朦朦 朱超 冯军军 谭天宇 刘佳惠 李腾飞 《食品安全质量检测学报》 CAS 北大核心 2022年第16期5401-5409,共9页
目的 建立阵列式薄膜固相微萃取(array-thinfilmmicro-extraction,a TFME)结合高效液相色谱-串联三重四极杆质谱法检测农产品中13种农药残留的分析方法。方法 将样品粉碎匀浆,以聚丙烯腈-亲疏水平衡材料(polyacrylonitrile-hydrophile l... 目的 建立阵列式薄膜固相微萃取(array-thinfilmmicro-extraction,a TFME)结合高效液相色谱-串联三重四极杆质谱法检测农产品中13种农药残留的分析方法。方法 将样品粉碎匀浆,以聚丙烯腈-亲疏水平衡材料(polyacrylonitrile-hydrophile lipophile balance,PAN-HLB)作为a TFME薄膜材料振荡吸附30 min后,加入洗脱液(乙腈:甲醇:水=17:2:1,V:V:V)振荡洗脱30 min,采用Agilent Poroshell 120 EC-C18色谱柱(150 mm×3.0 mm,2.7μm)分离,以甲醇和0.1%甲酸溶液体系为流动相进行梯度洗脱,电喷雾离子源正离子扫描,多反应监测模式检测,基质匹配标准曲线法定量。结果 13种农药化合物在一定浓度范围内线性关系良好(r~2>0.99);在梨、大白菜、茶样品中检出限和定量限范围分别为0.08~1.20μg/kg和0.20~4.00μg/kg;选择空白样品在低、中、高3个水平进行添加回收实验,3种样品回收率分别为70%~114%、72%~121%、70%~121%。结论 本研究应用的a TFME前处理技术具有操作简便、效率高、有机试剂消耗低、可重复利用、灵敏度高的优势,可为农产品中农药的检测提供技术支持。 展开更多
关键词 阵列式薄膜固相微萃取 样品前处理 高效液相色谱-串联质谱法 农药残留
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X-射线荧光分析中薄膜试样的面积和厚度对分析结果的影响 被引量:3
19
作者 贺春福 任红星 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第4期458-460,共3页
本文就薄膜法制样、用X-射线荧光谱法分析稀土样品时,试样面积和厚度对分析结果产生的影响作了定量研究,提出的有关分析条件和参数用于实际样品分析中,获得了满意的分析结果。
关键词 薄膜法 X-射线 荧光分析 制样
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基于穆勒椭偏的纳米薄膜厚度测量与溯源 被引量:3
20
作者 杜黎明 管钰晴 +4 位作者 孔明 平少栋 谢张宁 雷李华 傅云霞 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第12期1121-1127,共7页
基于双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统的薄膜厚度测量方法,通过膜厚比对分析对椭偏仪进行能力认证,实现纳米薄膜的高精度测量研究。设计了一套复合型膜厚标准样片,采用多种仪器测量其膜厚并对测量结果进行有效比对,给出相应的不确定度评... 基于双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统的薄膜厚度测量方法,通过膜厚比对分析对椭偏仪进行能力认证,实现纳米薄膜的高精度测量研究。设计了一套复合型膜厚标准样片,采用多种仪器测量其膜厚并对测量结果进行有效比对,给出相应的不确定度评定方法,研究了纳米薄膜厚度的量值溯源传递方式。首先用穆勒矩阵椭偏系统测量标定值为(100.4±0.4)nm的SiO_(2)/Si纳米薄膜标准样片,得到了膜厚测量结果为100.85 nm,相对误差仅为0.45%,说明了系统具有高精度的薄膜厚度测量能力;然后利用该系统测量标称值为50 nm的SiO_(2)/Si复合型膜厚标准样片,得到6次连续重复性测量的膜厚平均值为55.80 nm,标准偏差为0.005 nm,扩展不确定度为0.84 nm,包含因子为2,验证了复合型膜厚样片的准确性。最后,进行计量型原子力显微镜和椭偏仪膜厚测量对比实验,得到复合型膜厚样片的测量结果具有良好的一致性,开辟了一种以复合型膜厚标准样片为标准物质的纳米膜厚量值溯源传递新途径。 展开更多
关键词 纳米计量 双旋转补偿器穆勒椭偏仪 复合型膜厚标准样片 纳米薄膜 量值溯源
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