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椭偏测厚仪确定薄膜真实厚度的分析 被引量：5
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作者 张俊莲 黄佐华 朱映彬 《大学物理》 北大核心 2008年第1期56-58,共3页
用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的... 用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的关系及它们与入射角的关系. 展开更多
关键词 椭偏测厚仪 真实厚度 最大可测周期数 图形表示
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