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压电陶瓷装置微位移的光学测量与控制技术
被引量：
4
1
作者
高志山
王若言
成晓强
《电光与控制》
北大核心
2016年第8期1-5,共5页
微位移装置是指在外力或者电场、磁场等作用下,直接或间接由微结构杠杆放大产生精密微量移动,实现精密定位的装置,例如采用压电陶瓷的逆压电效应、由电压控制产生微位移蠕动。以干涉仪中移相器为典型微位移装置代表,总结多年来科研工作...
微位移装置是指在外力或者电场、磁场等作用下,直接或间接由微结构杠杆放大产生精密微量移动,实现精密定位的装置,例如采用压电陶瓷的逆压电效应、由电压控制产生微位移蠕动。以干涉仪中移相器为典型微位移装置代表,总结多年来科研工作中对微位移装置伸长量的测量与在线标定方法,实现了干涉仪中步长为λ/8(λ=632.8 nm)的准确移相;通过研究基于电容器件的位移反馈,实现了分辨率优于10 nm的精密定位。
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关键词
微位移
精密光学测量
压电陶瓷
反馈控制
移相器
干涉
下载PDF
职称材料
题名
压电陶瓷装置微位移的光学测量与控制技术
被引量：
4
1
作者
高志山
王若言
成晓强
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
出处
《电光与控制》
北大核心
2016年第8期1-5,共5页
基金
国家自然科学基金(61377015)
国家重大仪器专项基金(2013YQ150829)
文摘
微位移装置是指在外力或者电场、磁场等作用下,直接或间接由微结构杠杆放大产生精密微量移动,实现精密定位的装置,例如采用压电陶瓷的逆压电效应、由电压控制产生微位移蠕动。以干涉仪中移相器为典型微位移装置代表,总结多年来科研工作中对微位移装置伸长量的测量与在线标定方法,实现了干涉仪中步长为λ/8(λ=632.8 nm)的准确移相;通过研究基于电容器件的位移反馈,实现了分辨率优于10 nm的精密定位。
关键词
微位移
精密光学测量
压电陶瓷
反馈控制
移相器
干涉
Keywords
micro
displacement
precise
optical
measurement
piezoelectric
transducer
feedback
eonlrol
phase
shifter
interfrence
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电陶瓷装置微位移的光学测量与控制技术
高志山
王若言
成晓强
《电光与控制》
北大核心
2016
4
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