非本征型法布里珀罗干涉仪光纤布拉格光栅应变温度传感器及其应用 被引量：28

1

作者 饶云江 曾祥楷 +5 位作者 朱永 王义平 朱涛 冉曾令 袁慎芳 梁大开 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期85-88,共4页

介绍了光纤布拉格光栅非本征型法布里珀罗干涉仪集成复用传感器的结构、应变和温度同时监测的原理 ;观察到光纤布拉格光栅反射谱和非本征型法布里珀罗干涉仪干涉谱间的串扰 ,用 3dB带宽平均波长法减小了该串扰 ,提高了测量精度 ;将该传... 介绍了光纤布拉格光栅非本征型法布里珀罗干涉仪集成复用传感器的结构、应变和温度同时监测的原理 ;观察到光纤布拉格光栅反射谱和非本征型法布里珀罗干涉仪干涉谱间的串扰 ,用 3dB带宽平均波长法减小了该串扰 ,提高了测量精度 ;将该传感器应用于三维编织复合材料的应变及温度同时监测。实验结果表明温度精度为± 1℃ ,应变精度为± 2 0 μ 。 展开更多

关键词 传感器 布拉格光纤光栅 非本征型法布里-珀罗干涉仪 应变 温度 测量

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提高光纤F-P应变传感器输出信号质量的方法研究 被引量：18

2

作者 朱永 张洁 +2 位作者 陈伟民 黎学明 黄尚廉 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期544-548,共5页

光纤F P应变传感器输出信号质量的好坏直接影响解调精度 从光纤F P应变传感器的基本原理出发 ,针对光纤F P腔内损耗的问题 ,提出了用增加端面反射率的办法来弥补耦合损耗的影响 ;并通过理论分析、计算机仿真和实验对该问题进行了研究 ... 光纤F P应变传感器输出信号质量的好坏直接影响解调精度 从光纤F P应变传感器的基本原理出发 ,针对光纤F P腔内损耗的问题 ,提出了用增加端面反射率的办法来弥补耦合损耗的影响 ;并通过理论分析、计算机仿真和实验对该问题进行了研究 实验表明 ,选用与F P腔固有的最佳反射率匹配的端面镀膜 ,对增加干涉图样的对比度 。 展开更多

关键词 光纤F—P传感器 耦合损耗 镀膜

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基于非本征光纤法布里-珀罗干涉仪的局放声发射传感器设计 被引量：14

3

作者 张伟超 赵洪 楚雄 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期49-56,共8页

采用耦合石英膜和光纤接头构成非本征法布里-珀罗干涉仪(EFPI)传感器,检测液-固复合绝缘电介质中的局部放电声发射信号。为解决目前EFPI传感器灵敏度低的问题,依据弹性力学原理和有限元分析方法确定EFPI膜片结构设计方法,并制作传感器... 采用耦合石英膜和光纤接头构成非本征法布里-珀罗干涉仪(EFPI)传感器,检测液-固复合绝缘电介质中的局部放电声发射信号。为解决目前EFPI传感器灵敏度低的问题,依据弹性力学原理和有限元分析方法确定EFPI膜片结构设计方法,并制作传感器样品。建立以分布式反馈(DFB)激光器为光源的EFPI正交强度解调系统。以绝缘油针-板电极局部放电为信号源,利用压电陶瓷(PZT)传感器与EFPI样品进行对比测试。结果表明,EFPI传感器局放检测灵敏度取决于传感器频响带宽和静压灵敏度,完善了EFPI膜片设计方法,获得局放检测灵敏度与PZT相近的EFPI传感器。 展开更多

关键词 光纤光学 超声波传感器 光纤非本征法布里-珀罗干涉仪 膜片设计 局放声发射检测

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一种新的白光光纤传感系统波长解调方法 被引量：9

4

作者 荆振国 于清旭 +1 位作者 张桂菊 宋世德 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1347-1351,共5页

提出了一种新的白光非本征法布里珀罗干涉(EFPI)光纤传感系统的干涉谱处理方法,在白光法布里珀罗干涉光纤传感系统中,一个中心波长为850 nm的发光二极管(LED)作为宽谱光源,HR2000高分辨力微型光谱仪用来测量返回的干涉光谱。通过跟踪干... 提出了一种新的白光非本征法布里珀罗干涉(EFPI)光纤传感系统的干涉谱处理方法,在白光法布里珀罗干涉光纤传感系统中,一个中心波长为850 nm的发光二极管(LED)作为宽谱光源,HR2000高分辨力微型光谱仪用来测量返回的干涉光谱。通过跟踪干涉光谱中的特定谱峰点,法布里珀罗干涉传感器的腔长值可以被解调出来。应用反向传播神经网络,解决了单峰测量方式的级次模糊问题。反向传播神经网络能够分辨出干涉谱中不同谱峰的干涉级次,因而可以进行多个谱峰的连续跟踪。从而实现了高精密度、大动态范围的测量。进行了基于这种干涉谱处理方法的白光法布里珀罗干涉传感系统的应变测量实验。利用该传感系统实现了精密度达0.1με,500με范围的应变测量。 展开更多

关键词 光学测量 光纤传感器 白光干涉 非本征法布里-珀罗干涉仪 反向传播神经网络 应变

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光纤激光干涉测量技术在EFPI传感器信号解调中的研究进展 被引量：8

5

作者 江毅 张树桓 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第13期236-248,共13页

光纤激光干涉技术是外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)传感器动态信号解调的主要技术方案,具有测量灵敏度高、动态范围大、测量频率范围宽等优点。本文从外腔式法布里-珀罗干涉仪相对测量的基本原理出发,回顾了几种主流光纤激光干涉测量技... 光纤激光干涉技术是外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)传感器动态信号解调的主要技术方案,具有测量灵敏度高、动态范围大、测量频率范围宽等优点。本文从外腔式法布里-珀罗干涉仪相对测量的基本原理出发,回顾了几种主流光纤激光干涉测量技术的解调原理、方法及优缺点,重点介绍了作者课题组提出的几种新型被动解调技术,着力解决现有解调仪仅能测量单一腔长的传感器、直流分量去除、腔长在变化甚至不知道等条件下的信号解调问题。 展开更多

关键词 光纤光学 光纤激光干涉 外腔式法布里-珀罗干涉仪 相位解调

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环氧树脂封装的EFPI-FBG复合压力温度传感器 被引量：8

6

作者 刘明尧 杜常饶 武育斌 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2080-2088,共9页

为了实现对液压管路中液压油的压力和温度检测,研制了一种EFPI-FBG复合压力温度传感器。对该传感器的压力特性以及温度特性进行研究。首先,介绍了以光纤F-P腔和光纤光栅为敏感元件,利用环氧树脂将EFPI-FBG复合结构经过封装保护构成压力... 为了实现对液压管路中液压油的压力和温度检测,研制了一种EFPI-FBG复合压力温度传感器。对该传感器的压力特性以及温度特性进行研究。首先,介绍了以光纤F-P腔和光纤光栅为敏感元件,利用环氧树脂将EFPI-FBG复合结构经过封装保护构成压力温度传感器结构以及制作方法。接着,建立了压力温度传感模型,对传感器受力进行了理论分析,并使用Matlab和有限元软件分析传感器的压力灵敏度和温度灵敏度。最后对传感器进行压力和温度实验验证。实验结果表明,该传感器的压力灵敏度为2.83μm/MPa,温度灵敏度为1.97μm/℃,温度监测范围为10~80℃,应用于压力测量时的有效工作温度为20~65℃。此EFPI-FBG复合压力温度传感器具有良好的线性度,较小的回程误差,灵敏度高,抗震性能好,可用于液压管路中液压油的压力和温度测量。 展开更多

关键词 光纤传感 光纤EFPI 光纤光栅 高压传感器 温度补偿

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局部放电非本征法珀光纤传感检测技术述评 被引量：7

7

作者 司文荣 傅晨钊 +4 位作者 黄华 郭森 沈晓峰 高勤践 陆忠心 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期20-32,共13页

电工设备局部放电(partial discharge,PD)检测主要有脉冲电流法、射频(高频)法、暂态对地电压法、特高频法、化学检测法、光检测法和超声波法。其中,基于光纤传感技术的检测方法具有安全、绝缘和抗电磁干扰等优点,适合设计成预埋式或侵... 电工设备局部放电(partial discharge,PD)检测主要有脉冲电流法、射频(高频)法、暂态对地电压法、特高频法、化学检测法、光检测法和超声波法。其中,基于光纤传感技术的检测方法具有安全、绝缘和抗电磁干扰等优点,适合设计成预埋式或侵入式传感器安装在电工设备内部或外部壳体上,进行PD在线监测或带电检测,具有发展前景。文中首先对基于光纤传感技术的PD测量方法、原理参数和优缺点进行了概述,主要介绍了PD光纤非本征法珀(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)超声波传感检测技术,详述了基于光纤EFPI传感检测PD超声波信号的技术原理、传感器性能试验和研究进展,分析了研制该光纤EFPI超声波传感器的关键参数和应用问题,并预期了其发展趋势。 展开更多

关键词 局部放电 光纤传感器 超声波检测 非本征法珀 综述

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非本征法布里-珀罗干涉型传感器非周期信号的相位解调方法 被引量：6

8

作者 张树桓 江毅 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期73-78,共6页

提出了一种恢复非本征法布里-珀罗干涉型(EFPI)传感器非周期动态信号的三波长正交相位补偿方法。利用三个干涉信号消除直流分量的影响,并通过相位补偿算法产生两个正交信号,用于解调出待测信号。在实验中对EFPI传感器加载一个非周期动... 提出了一种恢复非本征法布里-珀罗干涉型(EFPI)传感器非周期动态信号的三波长正交相位补偿方法。利用三个干涉信号消除直流分量的影响,并通过相位补偿算法产生两个正交信号,用于解调出待测信号。在实验中对EFPI传感器加载一个非周期动态信号,使用三种不同的激光干涉测量技术对实验数据进行信号解调。结果表明,所提方法具有较高的解调精度,适用于高温环境下腔长变化的场合和非周期动态信号的测量。 展开更多

关键词 光通信 光纤传感器 非本征法布里-珀罗干涉仪 非周期信号 相位解调

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白光干涉型EFPI光纤应变传感器理论模型的研究 被引量：5

9

作者 江绍基 曾斌 +2 位作者 汪河洲 蔡志岗 李宝军 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期165-170,共6页

从光纤的耦合和多光束干涉的原理出发 ,建立了非本征型Fabry Perot干涉仪光纤应变传感器的模型 ,并对其理论模型进行了详细地推导 ,得到了白光光源下干涉型EFPI光纤应变传感器的理论计算公式。建立了传感器系统 ,用LED作为白光光源得到... 从光纤的耦合和多光束干涉的原理出发 ,建立了非本征型Fabry Perot干涉仪光纤应变传感器的模型 ,并对其理论模型进行了详细地推导 ,得到了白光光源下干涉型EFPI光纤应变传感器的理论计算公式。建立了传感器系统 ,用LED作为白光光源得到反射光谱。实验结果表明与理论模型数值模拟相一致 ,验证了理论模型的正确性。 展开更多

关键词 光纤传感器 非本征型fabry-perot歼涉仪 应变 白光玕涉 光谱

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实现微位移测量的非本征法布里-珀罗干涉型光纤传感器 被引量：4

10

作者 江绍基 曾斌 +3 位作者 梁有程 汪河洲 蔡志岗 李宝军 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期595-597,共3页

从光纤耦合和多光束干涉的原理出发,建立了非本征型法布里_珀罗干涉仪光纤传感器的理论模型,得到了用光谱法进行绝对距离测量的公式。设计出了传感器探头的结构,并搭建了系统。用LED作为宽带光源所得到的反射光谱可用于实际样品的微位... 从光纤耦合和多光束干涉的原理出发,建立了非本征型法布里_珀罗干涉仪光纤传感器的理论模型,得到了用光谱法进行绝对距离测量的公式。设计出了传感器探头的结构,并搭建了系统。用LED作为宽带光源所得到的反射光谱可用于实际样品的微位移测量。实验结果表明,该传感器理论模型的数值模拟结果与实验结果是一致的。对实验数据进行了误差分析,所得到的测量精度可达到1μm。 展开更多

关键词 光纤传感器 非本征型法布里-珀罗干涉仪 位移 光谱

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结构简单的熔接式全石英光纤EFPI高静压传感器 被引量：6

11

作者 张杰 荆振国 +1 位作者 李昂 彭伟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期224-230,共7页

介绍了一种结构简单的熔接式全石英光纤非本征型法布里-珀罗干涉仪（EFPI）高静压传感器，对传感器的压力效应进行了理论分析，给出了传感器的设计结构和制作过程。和传统EFPI传感器相比，该传感器具有长腔长、结构简单、制作工艺简易... 介绍了一种结构简单的熔接式全石英光纤非本征型法布里-珀罗干涉仪（EFPI）高静压传感器，对传感器的压力效应进行了理论分析，给出了传感器的设计结构和制作过程。和传统EFPI传感器相比，该传感器具有长腔长、结构简单、制作工艺简易、应用灵活方便等优点，可以用于较高静态压力的测量。建立了传感解调系统，对压力进行了测试，测量精确度高，稳定性好。同时进行了温度敏感度测量实验，温度敏感系数约为0．72nm／℃，传感器的腔长温度线性度好，结果显示传感器温度交叉敏感度低。在0～20MPa压力测量范围内，该传感器的压力腔长灵敏度可以达到21nm／MPa，连续10h动态测量条件下，测量偏差为0．2％FS。 展开更多

关键词 传感器 压力 非本征型法布里一珀罗干涉仪 石英毛细管

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临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计

12

作者 张雨彤 江毅 +1 位作者 杨水旺 张大有 《火箭推进》 CAS 北大核心 2024年第3期118-123,共6页

研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-P... 研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。 展开更多

关键词 光纤压力传感器 非本征法布里-珀罗干涉仪 蓝宝石晶片 绝对压力测量

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基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器 被引量：5

13

作者 姜源 江毅 +1 位作者 张柳超 王素梅 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第10期49-53,共5页

设计了一种基于飞秒激光加工的无膜式光纤气体压力传感器。通过熔接形成了单模光纤-空心光纤-无芯光纤(NCF)结构,熔接结构中的两个熔接面作为反射面,构成一个低精细度的外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)。利用飞秒激光加工结构中的空心光... 设计了一种基于飞秒激光加工的无膜式光纤气体压力传感器。通过熔接形成了单模光纤-空心光纤-无芯光纤(NCF)结构,熔接结构中的两个熔接面作为反射面,构成一个低精细度的外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)。利用飞秒激光加工结构中的空心光纤部分,烧蚀出一个与外界环境连通的小孔。外界气体压力的变化引起EFPI腔中气体折射率发生变化,通过测量法布里-珀罗腔的光学腔长,得到对应的外界气体压力。实验结果表明,传感器在0~5MPa压力范围内的腔长-压力灵敏度为1.02μm/MPa,传感器的压力分辨率为2.4kPa。该压力传感器具有量程大、灵敏度高、分辨率高和线性度高等优点。 展开更多

关键词 光纤光学 压力传感器 外腔式法布里-珀罗干涉仪 飞秒激光加工

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用于静态/动态复合信号的改进对称解调技术

14

作者 贾景善 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第23期39-44,共6页

提出一种可测量外腔式Fabry-Perot传感器所加载的静态/动态复合信号的腔长自补偿改进对称解调技术。在对称解调技术的基础上,通过其输出信号的直流量判断传感器腔长的变化,从而划分腔长稳定段与突变段,分段并重新进行信号解调,以保证动... 提出一种可测量外腔式Fabry-Perot传感器所加载的静态/动态复合信号的腔长自补偿改进对称解调技术。在对称解调技术的基础上,通过其输出信号的直流量判断传感器腔长的变化,从而划分腔长稳定段与突变段,分段并重新进行信号解调,以保证动态分量的解调精度;同时利用腔长变化前后计算出的干涉信号相位差对腔长的变化量进行补偿,以提高静态分量的测量精度。实验证明该解调技术能够实现对静态/动态复合信号的测量。实验中实现了幅度超过100μm复合信号的解调,大幅度腔长变化量的测量误差约为2%。该解调技术能够解调不同腔长传感器上加载的包含高频分量的静态/动态复合信号。 展开更多

关键词 光纤光学 光纤传感技术 激光干涉测量 相位解调 外腔式fabry-perot干涉仪

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光纤压力传感器测量的最小偏差腔长解调算法

15

作者 申雅峰 江毅 隋广慧 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第8期1235-1239,共5页

在光纤传感技术领域应用基于法珀腔(外腔式法布里-珀罗干涉腔)结构的光纤压力传感器进行气体压力测量时,由于传感器结构决定了腔长动态范围相对较小,需要高分辨率的腔长测量方法。因此针对基于法珀腔结构的光纤压力传感器进行绝对腔长... 在光纤传感技术领域应用基于法珀腔(外腔式法布里-珀罗干涉腔)结构的光纤压力传感器进行气体压力测量时,由于传感器结构决定了腔长动态范围相对较小,需要高分辨率的腔长测量方法。因此针对基于法珀腔结构的光纤压力传感器进行绝对腔长解调算法研究,提出一种高精度最小偏差腔长解调算法,通过将法珀腔光纤压力传感器密封在压力标准源中,对等间隔压力变化产生的不同腔长进行实时解调,实现了气体压力的实时测量。实验结果表明,法珀腔光纤压力传感器腔长值随压差变化呈现出良好的线性关系和重复性,腔长测量的重复性为±1 nm,精度为0.1496%,压力测量的重复性为0.12%,压力测量的精度优于0.5%。 展开更多

关键词 计量学 压力测量 光纤传感器 外腔式法布里-珀罗干涉腔 腔长解调

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基于非本征型Fabry-Perot干涉仪的膜片式光纤麦克风 被引量：2

16

作者 丁文慧 蔺博 《光通信技术》 北大核心 2019年第8期35-37,共3页

传统声波传感器的有源性严重制约了其在强电磁场干扰、易燃易爆等特殊复杂环境中的应用,而光纤声传感器具有抗电磁干扰、体积小和灵敏度高等优点.提出了一种膜片式光纤麦克风,利用延展性较好的镍金属膜片作为传感薄膜,构成非本征型Fabry... 传统声波传感器的有源性严重制约了其在强电磁场干扰、易燃易爆等特殊复杂环境中的应用,而光纤声传感器具有抗电磁干扰、体积小和灵敏度高等优点.提出了一种膜片式光纤麦克风,利用延展性较好的镍金属膜片作为传感薄膜,构成非本征型Fabry-Perot干涉仪.利用静态工作点方法对声音信号进行解调,测试其传感性能.实验结果表明:该光纤麦克风具有灵敏度高、信噪比大、线性度高以及低频响应平坦的特点. 展开更多

关键词 光纤麦克风 镍金属膜片 非本征型fabry-perot干涉仪

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光纤非本征法布里-玻罗传感器兰姆波检测灵敏度分析 被引量：1

17

作者 张海燕 孙修立 +2 位作者 石志东 陈娜 肖悦娱 《声学技术》 CSCD 2009年第4期485-487,共3页

基于兰姆波的结构工况检测技术在评估复合材料和金属结构的安全性和耐久性方面发挥着重要的作用。作为对传统的压电换能器(PZT)的一种很好的替代,光纤传感器在传感方面的应用正被广泛地挖掘出来,包括兰姆波检测。本文从理论上建立了超... 基于兰姆波的结构工况检测技术在评估复合材料和金属结构的安全性和耐久性方面发挥着重要的作用。作为对传统的压电换能器(PZT)的一种很好的替代,光纤传感器在传感方面的应用正被广泛地挖掘出来,包括兰姆波检测。本文从理论上建立了超声兰姆波作用下光纤非本征法布里-玻罗(EFPI)传感器参数与其输出性能之间的关系。数值结果显示了传感器的性能与其相对于声源的方向角以及传感器的计量长度与超声波长的比值相关。所得出的结论对于EFPI传感器精确地探测兰姆波提供了理论依据。 展开更多

关键词 兰姆波 光纤传感器 非本征法布里-玻罗干涉仪 灵敏度分析

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EFPI腔内损耗对干涉条纹可见度的影响 被引量：1

18

作者 王文辕 尹汝海 +3 位作者 邸志刚 朱开宇 刘佳宇 安永丽 《光纤与电缆及其应用技术》 2007年第5期6-8,共3页

利用多光束干涉原理和几何光学方法,分析了非本征F-P干涉仪(EFPI)腔内损耗对干涉仪的影响,详细推导了EFPI腔长与反射光干涉条纹可见度之间的关系,确定了在可测条纹可见度的要求下EFPI腔长的范围。

关键词 非本征F—P干涉仪 损耗 条纹可见度

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基于EFPI传感器的GIS局部放电模式识别研究 被引量：21

19

作者 韩世杰 吕泽钦 +3 位作者 隋浩冉 王伟 屠幼萍 高超飞 《电力工程技术》 北大核心 2022年第1期149-155,共7页

非本征法布里-帕罗干涉(EFPI)光纤超声传感器可用于气体绝缘全封闭组合电器(GIS)内部的局部放电超声信号检测及模式识别研究,相较于传统的压电式传感器,具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。基于此,文中在充有0.4 MPa SF_(6)气体的GIS腔... 非本征法布里-帕罗干涉(EFPI)光纤超声传感器可用于气体绝缘全封闭组合电器(GIS)内部的局部放电超声信号检测及模式识别研究,相较于传统的压电式传感器,具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。基于此,文中在充有0.4 MPa SF_(6)气体的GIS腔体内设置尖端、金属颗粒、悬浮和沿面4种典型的局部放电模型,创新性地利用EFPI传感器对放电超声信号进行检测,提取单次超声脉冲信号波形特征形成特征参数数据库,分别应用概率神经网络(PNN)算法和支持向量机(SVM)算法进行模式识别并比较分析。EFPI传感器检测到的超声信号特征突出,在提取特征参数的基础上,2种模式识别算法均能达到85%以上的平均识别率,且SVM的识别效果要优于PNN。 展开更多

关键词 气体绝缘全封闭组合电器(GIS) 局部放电 模式识别 非本征法布里-帕罗干涉(EFPI)传感器 概率神经网络(PNN) 支持向量机(SVM)

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一种温度补偿式光纤氢气检测技术 被引量：13

20

作者 张毅 庄志 +2 位作者 黎启胜 张敏 杨振 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1573-1578,共6页

基于非本征法布里-珀罗光纤传感检测技术,分析研究了氢敏薄膜特性,实现了氢气传感单元设计及制作,简要介绍了传感器结构、制作方法、镀膜工艺及设备。通过分析氢气浓度与法布里-珀罗腔长变化间的关系,建立了光纤法布里-珀罗氢气传感理... 基于非本征法布里-珀罗光纤传感检测技术,分析研究了氢敏薄膜特性,实现了氢气传感单元设计及制作,简要介绍了传感器结构、制作方法、镀膜工艺及设备。通过分析氢气浓度与法布里-珀罗腔长变化间的关系,建立了光纤法布里-珀罗氢气传感理论模型。为增强系统工程实用性,着重研究了传感器温度与氢气浓度交叉敏感问题,并利用温度补偿技术消除环境温度干扰。介绍了温度补偿原理并构建实验设备,最后通过氢气浓度响应实验及温度特性实验,证明理论公式推导结果与实验数据吻合较好,且氢气传感器温度敏感性降低。此设计具有一定工程实用价值。 展开更多

关键词 光纤传感器 氢气检测技术 温度补偿 非本征法布里珀罗干涉仪

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