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基于正交试验的煤矿安全开采充填材料配比优化研究 被引量：38
1
作者 史俊伟 魏中举 +2 位作者 刘庆龙 李杨杨 陈军涛 《中国安全科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期111-115,共5页
针对目前我国"三下"压煤的现状,以及煤矿固体废弃物以煤矸石、粉煤灰为主的情况,结合岱庄煤矿膏体充填工程实践,以水泥为胶结料,煤矸石和粉煤灰为粗细骨料,运用正交试验的方法定量确定了水泥、粉煤灰和煤矸石不同配比和膏体... 针对目前我国"三下"压煤的现状,以及煤矿固体废弃物以煤矸石、粉煤灰为主的情况,结合岱庄煤矿膏体充填工程实践,以水泥为胶结料,煤矸石和粉煤灰为粗细骨料,运用正交试验的方法定量确定了水泥、粉煤灰和煤矸石不同配比和膏体浓度对煤矸石膏体充填各性能指标的敏感程度,以及各指标随各因素的变化趋势。结果表明:提高水泥掺量可以缩短膏体的凝结时间并提高膏体的强度;膏体的塌落度即流动性主要通过调节其浓度来实现;加入适量的粉煤灰可以提高膏体的流动性,但随着粉煤灰的增多,分层度和泌水率都有所增加。当水泥∶粉煤灰∶煤矸石为1∶2.22∶4.44,浓度为75%时,充填膏体的可泵性和强度都达到最佳,充填效果显著,有助于煤矿安全开采。 展开更多
关键词 正交试验 膏体充填 性能指标 配比 优化
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废弃水泥混凝土路面板在路面基层中的再生利用 被引量：31
2
作者 高启聚 丛林 郭忠印 《公路交通科技》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期20-23,共4页
以现行交通行业规范为基础,通过与非再生集料的技术指标和水泥稳定基层混合料的路用性能对比,分析了废弃水泥混凝土路面板再生集料的技术指标,研究了水泥稳定再生集料的路用性能,铺筑了以水泥稳定再生集料为路面基层的试验段,并对再生... 以现行交通行业规范为基础,通过与非再生集料的技术指标和水泥稳定基层混合料的路用性能对比,分析了废弃水泥混凝土路面板再生集料的技术指标,研究了水泥稳定再生集料的路用性能,铺筑了以水泥稳定再生集料为路面基层的试验段,并对再生集料的生产与使用提出了建议。研究结果表明,再生集料的技术指标能够满足规范的技术要求,水泥稳定再生集料具有良好的路用性能。无论在技术上还是实践上,废弃水泥混凝土路面板在半刚性基层中的再生利用都是可行的,从而为废弃路面水泥混凝土的重新利用开辟了有效途径。 展开更多
关键词 道路工程 半刚性基层 性能试验 水泥稳定再生集料 技术指标
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多指标正交试验优选白术芍药散提取工艺 被引量：29
3
作者 郑礼娟 秦昆明 +2 位作者 蔡皓 曹岗 蔡宝昌 《中国中药杂志》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1504-1509,共6页
白术芍药散是中医传统名方,临床对于腹泻有确切的治疗效果。然而,目前有关白术芍药散的提取工艺报道较少。该试验利用正交试验的方法,以复方中10个指标性成分和浸出物的含量作为指标,采用综合加权评分法处理数据,对提取工艺中乙醇浓度... 白术芍药散是中医传统名方,临床对于腹泻有确切的治疗效果。然而,目前有关白术芍药散的提取工艺报道较少。该试验利用正交试验的方法,以复方中10个指标性成分和浸出物的含量作为指标,采用综合加权评分法处理数据,对提取工艺中乙醇浓度、溶剂倍量、浸泡时间、提取时间4个因素进行考察,以优化白术芍药散提取工艺。结果得出白术芍药散的最佳提取工艺为加入12倍量70%乙醇,浸泡1 h,提取2次,每次2 h。其中提取时间有显著影响。优化后的提取工艺稳定可靠,可为进一步开发利用该处方提供参考。 展开更多
关键词 白术芍药散 正交试验 多指标 提取工艺
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法学实验室建设与实验教学的研究 被引量：21
4
作者 郭洁 路军 《实验技术与管理》 CAS 2008年第9期13-18,共6页
法学专业实验室属于文科实验室。目前国家实验室建设指标体系集中于理工科和新闻、管理、金融等少数文科的实验室，法学专业实验室建设为规范实验教学所必需，应借鉴理工科实验室规范，明确法学专业实验室和实验体系的独立地位，建立独... 法学专业实验室属于文科实验室。目前国家实验室建设指标体系集中于理工科和新闻、管理、金融等少数文科的实验室，法学专业实验室建设为规范实验教学所必需，应借鉴理工科实验室规范，明确法学专业实验室和实验体系的独立地位，建立独立的专业指标评估体系。 展开更多
关键词 法学专业实验室 理工科实验室 实验教学 指标体系
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不同地理种源马尾松种子性状及芽苗生长分析 被引量：20
5
作者 秦晓佳 丁贵杰 《种子》 CSCD 北大核心 2012年第1期14-17,共4页
在实验室人工气候箱中进行8个不同地理种源马尾松种子发芽特性的实验研究。进而从种源遗传特性上选出最佳马尾松种源。实验表明:不同种源马尾松发芽率、发芽势、发芽指数、活力指数、胚轴长、子叶长、鲜重、干重差异均极显著(p<0.01)... 在实验室人工气候箱中进行8个不同地理种源马尾松种子发芽特性的实验研究。进而从种源遗传特性上选出最佳马尾松种源。实验表明:不同种源马尾松发芽率、发芽势、发芽指数、活力指数、胚轴长、子叶长、鲜重、干重差异均极显著(p<0.01),福建漳平的发芽率达88%,湖南汝城为86%,广西古蓬为81%。发芽势及其它指标表明,这3个地区的马尾松种子品质最佳。为今后马尾松育苗选种提供一定的理论依据。 展开更多
关键词 马尾松 种源 千粒重 发芽指标
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多指标正交试验优化菊花提取工艺 被引量：20
6
作者 张星海 李嬛 +3 位作者 秦昆明 刘晓 汪斌 蔡宝昌 《中国中药杂志》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期821-824,共4页
目的:通过正交试验设计,探索量化的菊花评价指标,对菊花的提取工艺进行优化。方法:选择乙醇浓度、乙醇倍数、提取时间、提取次数4个因素,采用L9(34)安排试验,以菊花指纹图谱中8个主要共有峰的峰面积和浸出物含量作为指标,进行综合评价... 目的:通过正交试验设计,探索量化的菊花评价指标,对菊花的提取工艺进行优化。方法:选择乙醇浓度、乙醇倍数、提取时间、提取次数4个因素,采用L9(34)安排试验,以菊花指纹图谱中8个主要共有峰的峰面积和浸出物含量作为指标,进行综合评价。结果:优选出菊花最佳提取工艺,采用超声波提取法,加入30倍80%乙醇溶液,提取40 min,共2次。结论:优化的提取工艺结果可靠,评价指标可控,对于规范菊花的提取工艺和菊花饮片的质量控制具有一定的意义。 展开更多
关键词 菊花 正交试验 指纹图谱 多指标 提取工艺
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联合作战仿真实验的设计与开发 被引量：19
7
作者 杨雪生 刘云杰 李梦汶 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1522-1526,共5页
定义了联合作战仿真实验的基本概念,以联合作战论证与评估领域的仿真实验为研究对象,详细阐述了联合作战仿真实验需求获取、联合作战仿真实验框架构建、联合作战仿真实验指标体系设计、联合作战仿真实验想定设计、联合作战仿真实验方案... 定义了联合作战仿真实验的基本概念,以联合作战论证与评估领域的仿真实验为研究对象,详细阐述了联合作战仿真实验需求获取、联合作战仿真实验框架构建、联合作战仿真实验指标体系设计、联合作战仿真实验想定设计、联合作战仿真实验方案设计和联合作战仿真实验开发的相关内容,为联合作战仿真实验的设计与开发奠定了理论与方法基础,对组织实施联合作战仿真实验具有重要的指导意义和参考价值。 展开更多
关键词 联合作战 仿真实验 指标体系 想定空间 仿真模型
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多指标混凝土正交试验的分析方法研究 被引量：19
8
作者 张子建 范利丹 +1 位作者 余永强 李培涛 《科技通报》 北大核心 2017年第11期47-51,99,共6页
混凝土正交试验中经常出现多指标分析的问题,为了合理分配指标权重,尽可能的缩小配合比的优选范围,以陶粒混凝土正交试验为例,全面分析阐述了目前常用的优选方法:综合平衡法、综合评分法、功效系数法。为合理确定各指标权重,引入矩阵分... 混凝土正交试验中经常出现多指标分析的问题,为了合理分配指标权重,尽可能的缩小配合比的优选范围,以陶粒混凝土正交试验为例,全面分析阐述了目前常用的优选方法:综合平衡法、综合评分法、功效系数法。为合理确定各指标权重,引入矩阵分析法对混凝土多指标正交试验设计进行优化,建立了指标层、因素层和水平层的三层结构模型和三层矩阵,给出指标值权矩阵的求解过程,得出各因素和各水平对试验结果的影响权重。实例分析表明,综合平衡法和综合评分法受主观影响较大;功效系数法受主观影响较小,但适用于各指标重要程度大致相当的试验;矩阵分析法优选过程客观,适用于指标重要性不同的试验。在此基础上确定了符合试验要求的混凝土配合比。 展开更多
关键词 正交试验 多指标 矩阵分析法 陶粒混凝土
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玄武岩纤维混凝土冲击压缩韧性 被引量：16
9
作者 杨进勇 许金余 +3 位作者 李为民 沈刘军 翟毅 范飞林 《新型建筑材料》 北大核心 2008年第6期69-72,共4页
介绍了利用Φ100mmSHPB装置获得玄武岩纤维混凝土冲击压缩在3种应变率范围下的应力-应变曲线的试验研究。并以应力-应变全程曲线所围面积作为韧性指标,对玄武岩纤维掺量分别为0、0.1%、0.2%和0.3%的混凝土在冲击荷载下增韧特性进行了对... 介绍了利用Φ100mmSHPB装置获得玄武岩纤维混凝土冲击压缩在3种应变率范围下的应力-应变曲线的试验研究。并以应力-应变全程曲线所围面积作为韧性指标,对玄武岩纤维掺量分别为0、0.1%、0.2%和0.3%的混凝土在冲击荷载下增韧特性进行了对比分析。研究表明,在0～0.020应变范围内,4种掺量的玄武岩纤维混凝土中,BFRC0.2韧性最高,尤其在50/S～60/S应变率范围内,比素混凝土韧性指标提高了12.7%;应变较低时,一般素混凝土的韧性指标最高;与素混凝土相比,在应变率较低时,3组掺玄武岩纤维的混凝土韧性均有所提高,而在80/S～100/S应变率范围下,BFRC0.3韧性最低。 展开更多
关键词 玄武岩纤维 混凝土 SHPB试验 韧性指标
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不同水分胁迫对裸燕麦根系生长的影响 被引量：15
10
作者 任永峰 刘景辉 +1 位作者 李倩 武俊英 《作物杂志》 CSCD 北大核心 2009年第2期17-21,共5页
在温室条件下,通过盆栽试验对裸燕麦进行水分胁迫处理,试验采用五因素二次回归旋转正交组合设计,研究了不同水分处理下燕麦全生育期根系形态指标的综合效应。结果表明:不同水分胁迫下根长随生育时期的推进,均为先升后降的变化趋势,在开... 在温室条件下,通过盆栽试验对裸燕麦进行水分胁迫处理,试验采用五因素二次回归旋转正交组合设计,研究了不同水分处理下燕麦全生育期根系形态指标的综合效应。结果表明:不同水分胁迫下根长随生育时期的推进,均为先升后降的变化趋势,在开花期达到最大值。其中,轻度胁迫条件下燕麦根长伸长最长。根鲜、干重和根体积随生育时期的推进,也为先升后降的变化趋势,开花期达到最大值。三者在孕穗期和开花期受水分胁迫的影响达到极显著水平;全生育期不同处理根冠比均随生育期的推进而呈下降趋势,且随着水分胁迫的加剧均增大,水分胁迫对燕麦根冠比的影响程度在拔节期最大。 展开更多
关键词 裸燕麦 水分胁迫 盆栽试验 形态指标
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药学专业化学实验课程中运用形成性评价的探索与实践 被引量：16
11
作者 杨金香 李俊波 +2 位作者 白慧云 杨小丽 贺艳斌 《化学教育》 CAS 北大核心 2015年第10期57-60,共4页
探索在药学专业化学实验教学过程中建立并应用形成性评价体系,并采用问卷调查、操作考试等方式对实施效果进行考察。结果表明,所建立的形成性评价体系在调动学生学习积极性、引导学生及时调整学习策略及促进教师有效改进教学手段、提高... 探索在药学专业化学实验教学过程中建立并应用形成性评价体系,并采用问卷调查、操作考试等方式对实施效果进行考察。结果表明,所建立的形成性评价体系在调动学生学习积极性、引导学生及时调整学习策略及促进教师有效改进教学手段、提高教学质量方面效果显著。 展开更多
关键词 药学专业 化学实验 形成性评价 评价指标
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沥青稳定基层混合料正交试验研究 被引量：8
12
作者 杨群 黄晓明 《公路交通科技》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期4-6,12,共4页
针对路面基层竖向受压、层底受拉的特点 ,采用正交试验方法 ,综合考虑矿料的骨架作用、沥青用量、矿粉用量 ,以抗压强度 ( 2 0℃ )、劈裂强度 ( 0℃ )、劈裂模量 ( 0℃ )作为评价指标 ,进行沥青稳定基层混合料设计研究。研究结果表明 :... 针对路面基层竖向受压、层底受拉的特点 ,采用正交试验方法 ,综合考虑矿料的骨架作用、沥青用量、矿粉用量 ,以抗压强度 ( 2 0℃ )、劈裂强度 ( 0℃ )、劈裂模量 ( 0℃ )作为评价指标 ,进行沥青稳定基层混合料设计研究。研究结果表明 :通过调整沥青混合料内部粗、细集料的比例 ,采用合适的矿粉用量 ,选取适当的粉胶比等措施 ,可以使混合料的力学性能更优。 展开更多
关键词 沥青稳定基层混合料 正交试验 评价指标 粉胶比 空隙率
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《工程测量学》实验能力指标的建立与探讨 被引量：13
13
作者 王登杰 庄勇 王秀民 《实验室研究与探索》 CAS 2004年第2期69-72,共4页
通过建立和应用《工程测量学》教学实验能力的指标,对于提高测量实验教学和培养学生实际操作能力,起到了很好的效果。是科学、合理地评定学生《工程测量学》实验能力的重要方法和措施,对于其它实验教学的能力评定也具有重要的指导意义。
关键词 《工程测量学》教学 实验能力 学生评价 高校
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含水率对稻米籽粒挤压特性影响的研究 被引量：12
14
作者 张洪霞 陶桂香 潘波 《农机化研究》 北大核心 2005年第2期158-159,共2页
稻米籽粒的挤压特性指标是设计稻米收获、贮藏和加工系统的重要理论依据之一。通过试验获得了稻米籽粒挤压特性的力学指标,包括弹性模量、破坏力、破坏应力及破坏能等,并研究了含水率对稻米籽粒挤压特性的影响,为稻米加工装置的设计及... 稻米籽粒的挤压特性指标是设计稻米收获、贮藏和加工系统的重要理论依据之一。通过试验获得了稻米籽粒挤压特性的力学指标,包括弹性模量、破坏力、破坏应力及破坏能等,并研究了含水率对稻米籽粒挤压特性的影响,为稻米加工装置的设计及安全管理提供理论依据。 展开更多
关键词 籽粒 稻米 收获 特性 贮藏 含水率 试验 挤压 工装 加工系统
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基于大数据挖掘技术的高校就业质量评价 被引量：11
15
作者 魏玉曦 《现代电子技术》 北大核心 2020年第7期103-106,共4页
针对高校就业质量评价错误大,可靠性低等不足,为了获得理想的高校就业质量评价效果,设计了基于大数据挖掘技术的高校就业质量评价模型。首先,研究当前高校就业质量评价相关文献,选择一些影响因素构建高校就业质量评价指标体系,并通过专... 针对高校就业质量评价错误大,可靠性低等不足,为了获得理想的高校就业质量评价效果,设计了基于大数据挖掘技术的高校就业质量评价模型。首先,研究当前高校就业质量评价相关文献,选择一些影响因素构建高校就业质量评价指标体系,并通过专家确定高校就业质量等级;然后,引入大数据挖掘技术拟合高校就业质量变化特点,建立高校就业质量评价模型;最后,采用具体数据对高校就业质量评价模型性能进行分析。文中所提模型较好地解决了当前高校就业质量评价模型的弊端,评价结果更加科学,高校就业质量评价偏差小于当前典型模型,具有广泛的实际应用价值。 展开更多
关键词 高校就业 质量评价 大数据挖掘技术 仿真实验 评价指标 模型建立
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淹水对水肥耦合管理竹叶花椒幼苗渗透性物质含量的影响 被引量：10
16
作者 舒正悦 王景燕 +3 位作者 龚伟 唐海龙 赵昌平 周星宇 《应用与环境生物学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1139-1145,共7页
为揭示不同水肥管理竹叶花椒的耐涝适应机制,以竹叶花椒为试验材料,采用土壤水分[包括0%、40%、60%和80%田间持水量（FWC）]、氮肥[包括0、75、150和300 kg/hm2（N）]、磷肥[包括0、30、60和120 kg/hm2（P2O5）]和钾肥[包括0、75、150和... 为揭示不同水肥管理竹叶花椒的耐涝适应机制,以竹叶花椒为试验材料,采用土壤水分[包括0%、40%、60%和80%田间持水量（FWC）]、氮肥[包括0、75、150和300 kg/hm2（N）]、磷肥[包括0、30、60和120 kg/hm2（P2O5）]和钾肥[包括0、75、150和300 kg/hm2（K2O）]四因素四水平正交设计试验,经水肥处理盆栽90 d后,测定持续淹水0、1、3、5 d植株叶片质膜透性、渗透物质含量和外观表型及排水后的恢复情况,并利用隶属函数法对各水肥处理后植株耐涝性进行综合评价.结果显示,在淹水过程中,T（12）（N（300）P（30）K0＋60%FWC）处理植株叶片受害程度最轻、耐涝性最强,T8（N（300）P（60）K（75）＋40%FWC）、T9（N0P（60）K（300）＋60%FWC）、T（10）（N（75）P（120）K（150）＋60%FWC）、T（11）（N（150）P0K（75）＋60%FWC）和T（12）（N（300）P（30）K0＋60%FWC）处理排水后期可恢复正常生长,而其余处理植株均死亡.淹水期间,各水肥耦合竹叶花椒质膜透性和脯氨酸含量均表现为上升趋势;可溶性糖和可溶性蛋白含量均呈现出先上升后下降的趋势,在第3天达到最大值.通过综合隶属函数法估算出在60.8%FWC、243 kg/hm2（N）、97 kg/hm2（P2O5）、243 kg/hm2（K2O）水肥管理条件下植株可获得较强的耐涝性.因此,适宜的土壤水分和N、P、K配施对促进竹叶花椒幼苗生长和抗逆性提高具有重要作用. 展开更多
关键词 水肥耦合 盆栽试验 淹水胁迫 生理指标 竹叶花椒
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小麦全蚀病生防放线菌的分离与筛选 被引量：7
17
作者 乔宏萍 黄丽丽 +2 位作者 王伟伟 高小宁 康振生 《西北农林科技大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2005年第B08期1-4,共4页
从新疆保护地蔬菜和棉田采集的土样中分离筛选对小麦全蚀病具有拮抗作用的放线菌，结果发现，7个土样中分离到的放线菌菌株数有明显的差异，菌株数从1．0×10^4～1．0×10^5cfu／g。测定纯化得到的30株不同菌株对小麦全蚀病菌... 从新疆保护地蔬菜和棉田采集的土样中分离筛选对小麦全蚀病具有拮抗作用的放线菌，结果发现，7个土样中分离到的放线菌菌株数有明显的差异，菌株数从1．0×10^4～1．0×10^5cfu／g。测定纯化得到的30株不同菌株对小麦全蚀病菌的抑制试验，有12株表现出不同的抑制效果，其中XG1的抑菌圈达到8．84mm。12株放线菌中有8株的发酵滤液对小麦全蚀菌的菌丝生长有抑制作用，其中XC2，XA5和XF5的抑制效果达到80％以上。盆栽试验结果表明，菌株XA5对小麦全蚀病在幼苗茎基部症状的控制作用达到59．2％，且幼苗的根长、株高以及株鲜重、干重与发病对照相比都有所增长，其中XC2处理的幼苗最明显，根长、株高、根鲜重和干重分别比对照增加20．3％，38％，36．8％和44％，地上部鲜重和干重分别比对照增加57．4％和38．5％，说明这几株放线菌对小麦全蚀病有较好的防治作用。 展开更多
关键词 小麦全蚀病菌 皿内对峙培养 盆栽试验 抑菌圈 病情指数
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新型捕收剂TBC选钼试验研究 被引量：10
18
作者 张美鸽 张学武 +2 位作者 俞国庆 王金玮 李劭伟 《有色金属（选矿部分）》 CAS 2005年第2期42-44,共3页
对新型选钼捕收剂TBC114室内试验和工业试验研究表明,TBC114在粗选段可完全代替煤油和松醇油选钼,生产技术指标与使用煤油的相近,药剂成本低于煤油的,但使用该药剂精选段泡沫发黏,为以后寻找合适选钼药剂提供借鉴。
关键词 辉钼矿 选钼捕收剂 试验 指标
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螺杆挤压对马铃薯淀粉消化性及血糖指数的影响 被引量：10
19
作者 樊佳玫 俞东宁 +4 位作者 韩备竞 寇梦璇 牛付阁 顾振宇 潘伟春 《食品安全质量检测学报》 CAS 2018年第14期3749-3754,共6页
目的研究螺杆挤压对马铃薯淀粉消化特性的影响。方法马铃薯淀粉经过螺杆挤压后(过程中淀粉未膨化),采用酶重量法测定挤压后抗性淀粉的含量变化情况,并通过模拟体外消化和动物实验评价挤压后淀粉的消化性能和餐后血糖上升速率。结果螺杆... 目的研究螺杆挤压对马铃薯淀粉消化特性的影响。方法马铃薯淀粉经过螺杆挤压后(过程中淀粉未膨化),采用酶重量法测定挤压后抗性淀粉的含量变化情况,并通过模拟体外消化和动物实验评价挤压后淀粉的消化性能和餐后血糖上升速率。结果螺杆挤压后马铃薯淀粉中抗性淀粉的含量增加了1.08%,酶解时间为0~1.5 h时,马铃薯淀粉快速消化淀粉的含量减少,酶解时间为1.5~6.5 h时,抗性淀粉和慢消化淀粉的含量增加。挤压后的马铃薯淀粉在一定程度上可以降低小鼠的餐后血糖指数。结论螺杆挤压技术可以提高抗性淀粉和慢消化淀粉的含量,减缓餐后血糖上升速率,为马铃薯食品的深度开发提供一定的参考。 展开更多
关键词 螺杆挤压 马铃薯淀粉 动物实验 血糖指数 抗性淀粉 缓慢消化淀粉
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离子束溅射制备SiO_2薄膜的折射率与应力调整 被引量：9
20
作者 刘华松 王利栓 +1 位作者 姜玉刚 季一勤 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2238-2243,共6页
基于正交试验方法,系统研究了用离子束溅射法制备SiO2薄膜其折射率、应力与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。使用分光光度计和椭圆偏振仪测量SiO2薄膜透过率光谱和反射椭偏特性,利用全光谱反演计算法获... 基于正交试验方法,系统研究了用离子束溅射法制备SiO2薄膜其折射率、应力与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。使用分光光度计和椭圆偏振仪测量SiO2薄膜透过率光谱和反射椭偏特性,利用全光谱反演计算法获得薄膜的折射率,通过测量基底镀膜前后的表面变形量得到SiO2薄膜的应力。实验结果表明,工艺参数对薄膜折射率影响权重从大到小依次为氧气流量、基板温度、离子束流和离子束压,前三者对折射率影响的可信概率分别为87.03%、71.98%和69.53%;对SiO2薄膜应力影响权重从大到小依次为基板温度、离子束压、氧气流量和离子束流,前三者对应力影响的可信概率分别为95.62%、48.49%和37.88%。得到的结果表明,制备低折射率SiO2薄膜应选择高氧气流量、低基板温度和低离子束流;制备低应力SiO2薄膜应选择低基板温度和高氧气流量。 展开更多
关键词 SIO2薄膜 正交实验 折射率 应力 离子束溅射
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