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一种新型分子玻璃光致抗蚀剂材料及其应用 被引量：1
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作者 徐娜 宋金卓 赵飞 《吉林化工学院学报》 CAS 2013年第7期11-14,共4页
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过含大的脂环基团的一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了一种新颖的酯缩醛结构分子玻璃体.该化合物具有单分散性且是无定形的,可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性.在室温或稍高温度下,... 分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过含大的脂环基团的一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了一种新颖的酯缩醛结构分子玻璃体.该化合物具有单分散性且是无定形的,可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性.在室温或稍高温度下,该酯缩醛化合物可以被光产酸剂产生的强酸很快分解,从而易溶于稀的碱溶液.初步测试了它们与光产酸剂组成正型光致抗蚀剂体系的成像性质,得到了分辨率为0.5μm的清晰的图像. 展开更多
关键词 分子玻璃体 正型光致抗蚀剂 酯缩醛化合物 光产酸剂
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