-
题名透镜中心厚度测量系统出射光光谱的研究
被引量：4
- 1
-
-
作者
周勇
郭帮辉
李灿
孙强
-
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
-
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2015年第8期148-154,共7页
-
基金
国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ14051702)
-
文摘
透镜中心厚度测量设备是基于色差共焦原理,能快速自动测量透镜的中心厚度,且不接触透镜表面的一种新型设备。通过对该测量系统出射光光谱的研究,得到影响光谱带宽及系统测量精度的因素。研究结果表明,对于峰值波长λ0的光,其在系统中的像方数值孔径NA,以及小孔半径r均会对出射光的光谱有影响。NA越大,出射光带宽越小,系统测量精度越高;r越小,出射光带宽越小,系统测量精度越高。根据这一研究结果进行测量系统的设计与仿真,确定了能满足系统测量精度要求的NA和小孔半径r。
-
关键词
测量
色差共焦
透镜中心厚度测量系统
出射光光谱
测量精度
系统设计
-
Keywords
measurement
chromatic confocal
lens center thickness measuring system
emergent lightspectrum
measurement accuracy
system design
-
分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
O439
[机械工程—仪器科学与技术]
-
