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题名一种光谱型椭偏仪的校准方法
被引量：4
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作者
韩志国
李锁印
赵琳
冯亚南
梁法国
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《中国测试》
北大核心
2017年第12期1-6,共6页
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文摘
针对光谱型椭偏仪校准结果受测量模型影响大的问题进行研究,提出一种不受测量模型影响的校准方法,即通过校准椭偏角实现光谱型椭偏仪的校准。依据椭偏仪测量原理,通过仿真分析确定实现较大范围内椭偏角校准所需标准样片的薄膜厚度量值,并采用半导体热氧化工艺制备出性能稳定的膜厚标准样片。使用标准样片对型号为M-2000XF的光谱型椭偏仪的椭偏角进行校准,样片厚度为2,50,500 nm对应的椭偏角偏差分别在±0.6°,±1.5°,±2°以内,该偏差对薄膜厚度的影响不超过±0.5 nm。经实验表明:该方法不受椭偏仪测量模型的影响,可有效解决光谱型椭偏仪的校准问题。
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关键词
光谱型椭偏仪
椭偏角校准
膜厚标准样片
仿真
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Keywords
spectroscopic ellipsometer
elliptic angle calibration
film -thickness standard sample
simulation
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
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