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带透明电极可变形反射镜的研制 被引量:8
1
作者 向东 陈海清 +1 位作者 王青玲 陈家凤 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期849-853,共5页
提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。给出了透明电极、超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性。静态测试结果表明,带透明电极的可变形反射镜驱动电压低,最大变形量可达19μm,有效反射面积可... 提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。给出了透明电极、超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性。静态测试结果表明,带透明电极的可变形反射镜驱动电压低,最大变形量可达19μm,有效反射面积可达200 mm2,能很好地改善整个自适应系统的性能。 展开更多
关键词 自适应光学 变形镜 静电驱动 微机械可变形反射镜(MMDM) 微电子机械系统(MEMS)
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基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜 被引量:5
2
作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 竺子民 张大成 李婷 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1154-1158,共5页
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法 ,并且通过工艺流片制造出有效反射面积为 30 m m× 30 mm,拥有 4 9个静电驱动单元的可变形反射镜 .测试得到的镜面变形 -电压数据显示其与模拟结果具有很好的一致性 .
关键词 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 响应频率
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星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究 被引量:1
3
作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 竺子民 张大成 李婷 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期352-355,共4页
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可... 给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜。 展开更多
关键词 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 阳极键合
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分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析
4
作者 刘彦 陈海清 +3 位作者 余洪斌 吴鹏 向晓燕 杨国元 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期15-20,共6页
针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜,从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析,导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式,定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系,为变形镜的结构设计提供了可靠的... 针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜,从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析,导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式,定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系,为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据。结果表明,当镜面厚度为1μm且与驱动电极间距20μm时,对控制电压不超过120V,响应频率大于50kHz的应用场合,变形镜镜面半径应在2.1~13.8mm之间进行选择。仿真结果显示,驱动电压较小时,镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系。 展开更多
关键词 微变形反射镜 力电耦合 自适应光学 静电驱动 镜面变形
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RF MEMS器件驱动机制理论与分析 被引量:7
5
作者 南敬昌 刘元安 黎淑兰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期416-419,共4页
介绍了驱动机制在RF MEMS器件制作中所处的地位。以悬梁类型的RF MEMS开关为例,介绍了RF MEMS器件的各种驱动方式,给出了其原理结构图;详细分析了静电驱动、压电驱动、热驱动和磁驱动的原理。对各种驱动机制进行了比较和分析,得出应根... 介绍了驱动机制在RF MEMS器件制作中所处的地位。以悬梁类型的RF MEMS开关为例,介绍了RF MEMS器件的各种驱动方式,给出了其原理结构图;详细分析了静电驱动、压电驱动、热驱动和磁驱动的原理。对各种驱动机制进行了比较和分析,得出应根据不同场合和不同参数要求,选择不同驱动机制的驱动器。 展开更多
关键词 RF MEMS 静电驱动 压电驱动 热驱动 磁驱动
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关于新型功能材料精密微驱动器的研究综述 被引量:8
6
作者 解甜 王传礼 喻曹丰 《微电机》 北大核心 2019年第7期72-81,共10页
精密微驱动器是微机电系统的核心部件,是实现微器件运动的关键。微驱动器的工作原理主要是利用物体的物性效应(物理效应、化学效应、生物效应等)实现对目的物的驱动与操作,本质就是将光、电、热等多种形式的能量转换成为机械能输出,是... 精密微驱动器是微机电系统的核心部件,是实现微器件运动的关键。微驱动器的工作原理主要是利用物体的物性效应(物理效应、化学效应、生物效应等)实现对目的物的驱动与操作,本质就是将光、电、热等多种形式的能量转换成为机械能输出,是近几年研究的热点。文章全面综述了电热式、磁致伸缩、电磁、压电陶瓷、静电和形状记忆合金几种微位移驱动器的原理、结构、特性及应用领域。 展开更多
关键词 微驱动器 静电驱动 形状记忆合金驱动 电磁驱动 电热驱动 压电驱动 超磁致伸缩驱动
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扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析 被引量:8
7
作者 孙东明 董玮 +3 位作者 玄伟 刘彩霞 王国东 陈维友 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期658-665,共8页
基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,... 基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,当考虑空气阻尼时,悬臂梁的运动轨迹与忽略空气阻尼时相比较发生相当大的改变,从而吸合(pull-in)电压和响应时间等计算结果也发生改变。因此,对于微机电系统(MEMS)器件的设计和制作,空气阻尼效应是影响其性能和工作条件的重要因素。最后,介绍了一种光学测量方法,可用于器件的响应时间和悬臂梁扭转角度等参数的测试,得到的实验结果与理论分析结果有较好的吻合。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 微驱动器 静电驱动 动力学分析 空气压膜阻尼
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参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究 被引量:8
8
作者 张文明 孟光 +1 位作者 周健斌 陈杰宇 《力学季刊》 CSCD 北大核心 2009年第1期44-48,共5页
静电驱动微机电系统(MEMS)共振传感器因其结构简单、应用广泛等优点引起了研究人员广泛的关注,共振传感器件耦合系统在非线性静电力、压膜阻尼、参数激励下呈现出较复杂的非线性振动、不稳定性、分岔与混沌行为。提出参数激励作用下静... 静电驱动微机电系统(MEMS)共振传感器因其结构简单、应用广泛等优点引起了研究人员广泛的关注,共振传感器件耦合系统在非线性静电力、压膜阻尼、参数激励下呈现出较复杂的非线性振动、不稳定性、分岔与混沌行为。提出参数激励作用下静电驱动微机电系统中梁式微结构共振传感器的动力学模型,采用多尺度方法对微系统的动力学方程进行摄动分析,探讨直流偏置电压、压膜阻尼和交流激励电压幅值对系统频率响应、共振频率的影响规律,结果表明:直流偏置电压和交流电压幅值都具有软化效应,且使共振频率漂移到较小的数值范围,压膜阻尼对共振频率的影响较小,但是增大压膜阻尼会使稳态振幅的峰值明显下降,为静电驱动微机电系统共振传感器的动力学分析与设计提供参考。 展开更多
关键词 微机电系统 参数激励 静电驱动 共振传感器 压膜阻尼
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用于“芯片实验室”的静电机制微液滴控制芯片的研制 被引量:4
9
作者 吴建刚 岳瑞峰 +1 位作者 曾雪锋 刘理天 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期276-279,共4页
提出了一种结构简单、可编程控制的离散液滴控制芯片。它以硅为衬底,重掺杂多晶硅为微电极阵列,氧化硅为介质层,碳氟聚合物薄膜为疏水层。它克服了传统连续流传输、混合的局限性及层流条件的限制,通过控制施加在微电极阵列上的电压脉冲... 提出了一种结构简单、可编程控制的离散液滴控制芯片。它以硅为衬底,重掺杂多晶硅为微电极阵列,氧化硅为介质层,碳氟聚合物薄膜为疏水层。它克服了传统连续流传输、混合的局限性及层流条件的限制,通过控制施加在微电极阵列上的电压脉冲时序,成功实现了对离散液滴的快速传输和混合。在30 V驱动电压下,约0.9μL去离子水液滴传输速度可达24 mm/s;在40 V驱动电压下,约0.8μL去离子水液滴和约1.4μL的0.0001 mol/L Rhodam ine液滴在7/30 s内完成了快速混合。另外,还提出利用提高液滴速度及来回晃动混合后的液滴等几种加强混合方法。 展开更多
关键词 静电驱动 微流体 液滴混合 微机电系统
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低电压下静电力驱动的数字微流控芯片 被引量:6
10
作者 刘翔 皋华敏 +2 位作者 李铁 周萍 王跃林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期97-102,共6页
设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片,用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底,氧化硅作绝缘层,TiW/Au为驱动电极阵列,氮化硅作介质层,碳氟聚合物为疏水... 设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片,用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底,氧化硅作绝缘层,TiW/Au为驱动电极阵列,氮化硅作介质层,碳氟聚合物为疏水层。由于采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,简化了工艺流程,优化了器件结构;而驱动电极阵列嵌入在氧化硅中,改善了减小介质层厚度时介质层对金属的台阶覆盖性,减少了电极边沿突起引起的边界击穿。另外,采用较薄的高质量介质层和疏水性能好的疏水膜层,大大降低了液滴驱动电压。实验显示,在20 V驱动电压下,该工艺可实现液滴按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最大运动速度达96 mm/s。提出的芯片制作工艺简单,与IC工艺兼容,可应用于生化分析芯片实验室系统。 展开更多
关键词 微流控芯片 液滴 静电驱动 低工作电压 开放式结构
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一种静电驱动微机械元件的结构模型 被引量:5
11
作者 殷玲 陈非凡 李云龙 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1466-1468,共3页
静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动的微机械元件(微梁)作为可编程光栅的基本结构元件,并以ANSYS软件的有限元分析为依据,对其结构模型作较... 静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动的微机械元件(微梁)作为可编程光栅的基本结构元件,并以ANSYS软件的有限元分析为依据,对其结构模型作较深入的研究,探讨了各主要结构参数及控制电压对结构驱动性能的影响。结果表明,在设计尺度范围内,微梁主要结构参数按照对光带变形的影响大小排列分别为微梁厚度、微梁变形前与衬底间的距离及微梁长度. 展开更多
关键词 微机械元件 结构模型 可编程相位光栅 微机电系统 有限元分析 静电驱动 驱动性能
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基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试 被引量:4
12
作者 徐临燕 栗大超 +2 位作者 邱晗 胡小唐 赵大博 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期781-785,共5页
为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性,建立了测试中的关键模型:静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型,以及静电激励纳米梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型。利用... 为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性,建立了测试中的关键模型:静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型,以及静电激励纳米梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型。利用基于显微激光多普勒的纳结构离面振动测试系统,对静电激励纳米梁谐振器的离面振动特性进行了测试,测试结果验证了建模的正确性,同时对NENS加工工艺进行了评价和表征。 展开更多
关键词 NEMS 显微激光多普勒 振动特性 谐振频率 静电激励 纳米梁谐振器
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静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性 被引量:4
13
作者 岳东旭 于虹 袁卫民 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期783-788,共6页
理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制。采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线。测试结果表明,悬臂梁具有显著的非线性效应... 理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制。采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线。测试结果表明,悬臂梁具有显著的非线性效应(即"弹簧变软"效应)。实验证实了这种非线性效应几乎和交流电压无关,却随着直流电压的增大而显著增大,最大峰值偏移达到0.5MHz。提取出3组一阶机械弹性系数分别为79.62,31.75和14.92N/m,实验结果符合理论规律。对实验中的偏差做了进一步的分析和讨论,利用软件ANSYS对过腐蚀对结构刚度和频率响应的影响做了相应的模拟,结果和实验测量数据相吻合。 展开更多
关键词 静电驱动 悬臂梁谐振器 非线性 频率响应
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三层多晶硅结构的挠曲式静电驱动MEMS微反射镜
14
作者 吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第9期1436-1444,共9页
将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离... 将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离子刻蚀和溅射等工艺,成功制备出了一种具有三层多晶硅结构的微反射镜。在制备过程中得出氢氟酸去除牺牲层(磷硅玻璃)释放出微反射镜结构的最佳刻蚀时间为45 s。制作了开关频率为200 kHz的MOSFET高速驱动电路,电路中的栅极驱动电阻(R_(G))是影响输出的关键因素。实验结果表明,当R_(G)额定功率为300 W、电阻为47Ω时,微反射镜能够达到足够启动速度,实现高速开关的设计目标。最后,设计并搭建了微反射镜的测试系统,施加60 V的驱动电压进行测试,通过显微镜观察到微反射镜的明显动作变化以及屏幕上光斑的位移变化,表明制备的微反射镜可正常驱动。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 悬臂梁式 平行平板型
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基于静电驱动的平行平板型微反射镜的研制
15
作者 吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第6期924-930,共7页
设计了一种基于静电驱动的平行平板型微反射镜,主要由镜面、下电极、支柱和玻璃基板构成。通过有限元模拟分析得到的仿真结果表明,带孔结构的微镜模型模拟位移量是传统双横梁支撑结构微镜模型的1.5倍,确定了制备的微镜装置结构。在制备... 设计了一种基于静电驱动的平行平板型微反射镜,主要由镜面、下电极、支柱和玻璃基板构成。通过有限元模拟分析得到的仿真结果表明,带孔结构的微镜模型模拟位移量是传统双横梁支撑结构微镜模型的1.5倍,确定了制备的微镜装置结构。在制备过程中只采用了溅射、光刻、机械切割及反应离子刻蚀等工艺,简化了工艺流程,降低了制备成本。使用反应离子刻蚀(RIE)去除牺牲层,为了克服光刻胶OFPR800灰化速度慢、灰化时间过长会损伤器件的问题,提出添加氟类气体的解决方法。实验结果表明,使用O_(2)和SF_(6)混合气体作为刻蚀气体刻蚀牺牲层后,射频(RF)溅射成的铝膜平均表面粗糙度为5.33 nm,均方根粗糙度为7.44 nm,在250~850 nm的波长范围内能够得到70%以上的反射率,并且无光刻胶的残留,刻蚀效果最理想,因此采用了O_(2)/SF_(6)RIE工艺去除牺牲层。针对仿真中出现镜面层厚度变化影响驱动位移的现象,制备了镜面层厚度分别为0.5和0.8μm两种微镜样品进行了测试。实验结果表明:0.5μm厚的样品不能承受自重而凹陷,0.8μm厚的样品镜面驱动位移接近0.1μm,符合设计要求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 平行平板型 玻璃基板
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磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真 被引量:3
16
作者 余洪斌 陈海清 +1 位作者 刘彦 李俊 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期18-20,共3页
对比静电驱动与磁驱动,发现只有当驱动器的间距小于1.75μm时,静电能密度才处于优势地位,而大于此间距后,磁驱动将表现出主导地位.在此基础上,为了设计出具有较大运动范围的光开关,提出了一种新的基于MEMS技术的磁驱动形式,采用溅射、... 对比静电驱动与磁驱动,发现只有当驱动器的间距小于1.75μm时,静电能密度才处于优势地位,而大于此间距后,磁驱动将表现出主导地位.在此基础上,为了设计出具有较大运动范围的光开关,提出了一种新的基于MEMS技术的磁驱动形式,采用溅射、激光镀覆等方法在衬底上制备磁性薄膜,并通过外加磁场实现开关动作.对采用永磁材料和软磁材料这两种情况下光开关的静态行为进行了分析和模拟.结果显示,尽管使用不同类型的磁性材料会对开关的响应产生影响,但其最大转角都可达到80°,远远超过静电驱动光开关所能实现的程度,同时它还避免了静电驱动中常见的结构“塌陷”现象. 展开更多
关键词 光开关 静电驱动 磁驱动 永磁材料 软磁材料
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新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器 被引量:3
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作者 彭春荣 刘世国 +2 位作者 张海岩 郭鑫 夏善红 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第4期341-345,共5页
为了提高传感器的信噪比(signal-to-noise ratio,SNR),降低器件的耦合干扰,基于表面微机械工艺设计制作了一种新型推挽激励方案的谐振式微型静电场传感器.该传感器敏感结构主要包括静电梳齿激励电极、屏蔽电极和感应电极3部分.工作时,... 为了提高传感器的信噪比(signal-to-noise ratio,SNR),降低器件的耦合干扰,基于表面微机械工艺设计制作了一种新型推挽激励方案的谐振式微型静电场传感器.该传感器敏感结构主要包括静电梳齿激励电极、屏蔽电极和感应电极3部分.工作时,在该传感器敏感结构同一侧梳齿的固定端上加入反相相等的激励信号,实现差分激励,使屏蔽电极在谐振频率处振动,从而在感应电极上感应出差分电流信号,通过相关检测方式检测出传感器该输出信号的二次谐波分量,即可获得被测静电场强度大小.该传感器的新型结构设计和激励检测方案可获得最大电场响应灵敏度,并有效抑制了同频耦合串扰和共模噪声.常压室温(约25℃)测试结果表明,在量程(-15 kV/m~15 kV/m)内,只需要5 Vpp激励电压,其中线性度(端基线性度)达到了1.03%,分辨率优于200 V/m. 展开更多
关键词 静电场测试 电场传感器 微机电系统(MEMS) 谐振器 静电激励
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Dynamics of Droplets of Biological Fluids on Smooth Superhydrophobic Surfaces under Electrostatic Actuation 被引量:2
18
作者 Ana Sofia Moita Catarina Laurencia +2 位作者 Joana Anastacio Ramos Duarte Miguel Franca Prazeres Antonio Luis Nobre Moreira 《Journal of Bionic Engineering》 SCIE EI CSCD 2016年第2期220-234,共15页
This study describes the dynamic behaviour of droplets of biological liquids on hydrophobic surfaces under electrostatic actuation, to devise sample handling in lab-on-chip diagnostic tools. Bovine Serum Albumin (BSA... This study describes the dynamic behaviour of droplets of biological liquids on hydrophobic surfaces under electrostatic actuation, to devise sample handling in lab-on-chip diagnostic tools. Bovine Serum Albumin (BSA) is taken as a representative biomolecule, since it is often used in adsorption studies. Green Fluorescence Protein (GFP) is also considered, given its natural fluorescence. Several effects such as sample concentration and pH are discussed. The results show negligible effects of proteins concentration in electrowetting, although increased concentrations endorse passive adsorption mechanisms, which alter the local wettability of the substrates precluding droplet motion. Bioinspired surfaces promote the largest spreading diameter, which is beneficial for droplet motion. However, surface roughness promotes energy dissipation limiting the receding droplet motion. Hence, the most effective approach is altering the surface chemistry. The coating is applied to a surface with a mean roughness smaller than 20 nm and does not alter significantly the topography, thus leading to the so-called smooth superhydrophobic surface. This coating also reduces passive proteins adsorption, as confirmed by Confocal Microscopy (CM), which is beneficial for droplet motion. Evaluating absorption spectra of protein solutions evidences an increase in protein concentration ascribed to droplet evaporation as confirmed by theoretical analysis and time resolved infrared visualization. 展开更多
关键词 bioinspired surfaces BIOFLUIDS electrostatic actuation HYDROPHOBICITY adsorption EVAPORATION
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静电驱动振模微泵的理论分析 被引量:4
19
作者 张彧 王文 +1 位作者 赵小林 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第1期25-28,32,共5页
利用最小能量法和均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解相结合的方法,改进了静电驱动柔性振膜微泵的理论分析模型。计算结果表明:考虑圆薄膜的周向应变,利用均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解来预测振膜的形状,对微泵的性能有显著... 利用最小能量法和均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解相结合的方法,改进了静电驱动柔性振膜微泵的理论分析模型。计算结果表明:考虑圆薄膜的周向应变,利用均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解来预测振膜的形状,对微泵的性能有显著的影响,证明了圆薄膜大变形时的周向应变是不可忽略的。同时讨论了介电层厚度、腔体形状和双腔结构对微泵压缩性能的影响。结果表明:采用双腔结构,减小介电层厚度、减小腔体深度、缩小腔体半径,对静电驱动柔性振膜型微泵性能的提高具有积极意义。 展开更多
关键词 静电驱动 柔性振膜 微泵 圆薄膜大变形
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超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 被引量:3
20
作者 夏晓媛 李昕欣 +3 位作者 王跃林 李铁 杨衡 焦继伟 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期1-4,共4页
利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振梁的结构特点,提出了静电激励与感生电动势检测(EMF)的测量方法,并利... 利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振梁的结构特点,提出了静电激励与感生电动势检测(EMF)的测量方法,并利用专业的Conventorware MEMS仿真软件及ANSYS有限元分析软件,定量地给出合适的静电驱动电压,同时初步估算了梁谐振时将会产生的感生电动势的大小,并对此分析结果提出了相应的测试电路,为下一步对这种超薄纳米梁的实际测试工作提供了可行性的理论参考. 展开更多
关键词 双端固支硅纳米梁 感生电动势检测 谐振特性 静电驱动
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