期刊文献+
共找到205篇文章
< 1 2 11 >
每页显示 20 50 100
等离子体微细加工技术的新进展 被引量:13
1
作者 李效白 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期179-186,共8页
在大规模集成电路制造中常用反应离子刻蚀 ,但对于加工 2 0 0mm以上直径的片子和 0 2 5 μm的线宽及孔洞 ,它的能力已达到极限。低压等离子刻蚀设备 (ECR ,ICP ,HWP)和高浓度等离子体可以解决这一问题。已经在整个片子上均匀地获得高... 在大规模集成电路制造中常用反应离子刻蚀 ,但对于加工 2 0 0mm以上直径的片子和 0 2 5 μm的线宽及孔洞 ,它的能力已达到极限。低压等离子刻蚀设备 (ECR ,ICP ,HWP)和高浓度等离子体可以解决这一问题。已经在整个片子上均匀地获得高的刻蚀速率。剖面控制精确 ,可改善图形的保真度。本文介绍了干法刻蚀技术的这一最新进展 ,阐述了电子回旋共振等离子体源、感应耦合等离子体源、螺旋波等离子体源的工作原理和干法刻蚀的关键技术问题。 展开更多
关键词 等离子刻蚀 干法刻蚀 集成电路 制造工艺
下载PDF
双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术 被引量:12
2
作者 徐军 邓新绿 +2 位作者 张家良 陆文棋 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期275-278,共4页
因其设备简单、沉积速率高等特点 ,磁控溅射沉积技术被广泛地用于各种薄膜制备中 .但用反应磁控溅射制备化合物薄膜如氧化物、氮化物膜时 ,为了得到化学配比的膜层 ,薄膜生长表面的反应激活基团、离子等的密度必须足够大 .为此对原有的... 因其设备简单、沉积速率高等特点 ,磁控溅射沉积技术被广泛地用于各种薄膜制备中 .但用反应磁控溅射制备化合物薄膜如氧化物、氮化物膜时 ,为了得到化学配比的膜层 ,薄膜生长表面的反应激活基团、离子等的密度必须足够大 .为此对原有的微波 -ECR等离子体源进行了改造 .研究了双放电腔微波 -ECR等离子体源增强磁控溅射的放电特性 ,并用该方法制备了氮化碳膜 .结果表明 :该方法是一种有效的制备化合物薄膜的技术 ;用该方法制备的氮化碳膜 。 展开更多
关键词 磁控溅射 放电特性 氮化碳膜 等离子体源 薄膜制备 沉积
下载PDF
微型电子回旋共振离子推力器离子源结构优化实验研究 被引量:19
3
作者 汤明杰 杨涓 +2 位作者 金逸舟 罗立涛 冯冰冰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第21期319-325,共7页
微型电子回旋共振(ECR)离子推力器可满足微小航天器空间探测的推进需求.为此,本文开展直径20mm的微型ECR离子源结构优化实验研究.根据放电室内静磁场和ECR谐振区的分布特点,研究不同微波耦合输入位置对离子源性能的影响,结果表明环形天... 微型电子回旋共振(ECR)离子推力器可满足微小航天器空间探测的推进需求.为此,本文开展直径20mm的微型ECR离子源结构优化实验研究.根据放电室内静磁场和ECR谐振区的分布特点,研究不同微波耦合输入位置对离子源性能的影响,结果表明环形天线处在高于ECR谐振强度的强磁场区域时,微波与等离子体实现无损耦合,电子共振加热效果显著,引出离子束流较大.根据放电室电磁截止特性,结合微波电场计算,研究放电容积对离子源性能的影响,实验表明过长或过短的腔体长度会导致引出离子束流下降甚至等离子体熄灭.经优化后离子源性能测试表明,在入射微波功率2.1 W、氩气流量14.9μg/s下,可引出离子束流5.4 mA,气体放电损耗和利用率分别为389 W/A和15%. 展开更多
关键词 微型离子推力器 电子回旋共振 离子源 等离子体
下载PDF
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CF_x薄膜的化学键结构 被引量:16
4
作者 宁兆元 程珊华 叶超 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期566-571,共6页
使用CHF3 和C6H6混合气体做气源 ,在一个电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积装置中制备了氟化非晶碳 (a CFx)薄膜 .利用发射光谱研究了等离子体中形成的各种碳 氟、碳 氢基团随放电宏观参量的变化规律 ,对薄膜做了傅里叶变换红外光... 使用CHF3 和C6H6混合气体做气源 ,在一个电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积装置中制备了氟化非晶碳 (a CFx)薄膜 .利用发射光谱研究了等离子体中形成的各种碳 氟、碳 氢基团随放电宏观参量的变化规律 ,对薄膜做了傅里叶变换红外光谱和X射线光电子能谱分析 ,证实等离子体中的CF2 ,CF和CH基团是控制薄膜生长、碳 展开更多
关键词 氟化非晶碳薄膜 电子回旋共振等离子体 沉积速率 化学键结构
原文传递
电子回旋共振中和器内静磁场及微波电磁场的数值计算 被引量:14
5
作者 梁雪 杨涓 王雲民 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期276-281,共6页
为了研究电子回旋共振中和器内静磁场和微波电磁场的分布规律,设计合理的磁路结构以形成电子回旋共振区,并使微波强电场区与电子回旋共振区重合,采用有限元分析软件对中和器内的静磁场和微波电磁场进行了数值计算。计算结果表明:永磁体... 为了研究电子回旋共振中和器内静磁场和微波电磁场的分布规律,设计合理的磁路结构以形成电子回旋共振区,并使微波强电场区与电子回旋共振区重合,采用有限元分析软件对中和器内的静磁场和微波电磁场进行了数值计算。计算结果表明:永磁体及磁轭的尺寸均影响电子回旋共振区的分布;天线伸入长度越长,微波电场越强。微波频率为4.2GHz时,六块相同的长12mm,宽8mm,高5mm的条形永磁铁与磁轭组成的磁路结构,可以产生合理的电子回旋共振区。L型天线伸入长度为5mm时微波强电场区可与电子回旋共振区重合。 展开更多
关键词 电子回旋共振 中和器 静磁场 电磁场
下载PDF
应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展 被引量:3
6
作者 王平 杨银堂 +1 位作者 徐新艳 杨桂杰 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期274-281,共8页
本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行... 本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行参数上对其进行了比较。 展开更多
关键词 超大规模集成电路 研究进展 高密度等离子体源 电子回旋共振 感应耦合等离子体 螺旋波等离子体 生产工艺
下载PDF
低温等离子体改性铝片降低细菌粘附的研究 被引量:7
7
作者 杨隽 汪建华 童身毅 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期646-648,共3页
 铝片在二(乙二醇)甲醚/微波电子回旋共振(ECRPlasma)低温等离子体条件下进行处理,表面得到一层均匀、致密的涂层。经过电子光谱化学分析(XPS)、衰减全反射红外光谱(ATR FTIR)、原子力显微镜(AFM)和生物活性的分析和表征,发现沉积的涂...  铝片在二(乙二醇)甲醚/微波电子回旋共振(ECRPlasma)低温等离子体条件下进行处理,表面得到一层均匀、致密的涂层。经过电子光谱化学分析(XPS)、衰减全反射红外光谱(ATR FTIR)、原子力显微镜(AFM)和生物活性的分析和表征,发现沉积的涂层为类PEG结构,表面主要聚集大量—CH2—CH2—O键;与改性前相比,等离子体处理的铝片表面能极大地降低细菌粘附。 展开更多
关键词 低温等离子体 铝片 细菌粘附
下载PDF
Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体 被引量:8
8
作者 张治国 陈小锰 +3 位作者 刘天伟 徐军 邓新禄 董闯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期110-114,共5页
利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010~1011数量级,电子温度在(5~10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;... 利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010~1011数量级,电子温度在(5~10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值。电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ECR 等离子体密度 等离子体参量 电子温度 功率变化 变化关系 电位变化 最大值 工艺参 数量级 溅射靶 微波源 片架
下载PDF
微推力ECR离子推力器等离子体源电子获能计算分析 被引量:9
9
作者 汤明杰 杨涓 +2 位作者 冯冰冰 金逸舟 罗立涛 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1741-1747,共7页
为满足小型航天器的微推进需求,开展了微推力电子回旋共振(ECR)离子推力器的计算研究。实现该推力器的关键是ECR等离子体源合理的磁场和电场分布数值计算,从而使电子在穿过ECR谐振区时能够获得最大能量。为此以双环形永磁材料结构作为磁... 为满足小型航天器的微推进需求,开展了微推力电子回旋共振(ECR)离子推力器的计算研究。实现该推力器的关键是ECR等离子体源合理的磁场和电场分布数值计算,从而使电子在穿过ECR谐振区时能够获得最大能量。为此以双环形永磁材料结构作为磁路,分别以直线形、环形和盘形微波耦合天线产生微波电磁场,同时改变等离子体源特征长度,利用有限元软件计算并分析ECR等离子体源内磁场和微波电场的分布规律以及电子在ECR区的获能规律。结果以微波输入功率5W、频率4.2GHz为例,发现环形耦合天线与较短等离子体源特征长度的结构组合可使电子在ECR区的获能指标达到最大且分布最佳。 展开更多
关键词 电子回旋共振 微推进 电磁场
下载PDF
电子回旋共振离子推力器放电室等离子体静电探针诊断 被引量:8
10
作者 杨涓 王阳 +1 位作者 孟志强 李鹏飞 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2013年第2期203-208,共6页
电子回旋共振离子推力器是一种无阴极静电型推进装置,具有比冲高、无电极烧蚀和寿命长的优点,可用于深空探测和长寿命卫星。在其放电室内存在着复杂的、紧密耦合在一起含电子回旋共振区的静磁场、微波电磁场和等离子体流场,弄清放电室... 电子回旋共振离子推力器是一种无阴极静电型推进装置,具有比冲高、无电极烧蚀和寿命长的优点,可用于深空探测和长寿命卫星。在其放电室内存在着复杂的、紧密耦合在一起含电子回旋共振区的静磁场、微波电磁场和等离子体流场,弄清放电室内复杂的场结构对于推力器的结构和性能优化有着重要的作用。为此认为放电室中的离子未被磁化,采用朗缪尔探针直接诊断放电室内的电子温度和离子密度,再根据等离子体的准中性原则,认为离子密度就反映了电子密度。根据诊断结果可以分析出放电室内的氩等离子体场结构。气体流量分别为3 sccm和8 sccm、微波功率分别为10 W和34 W时,实验诊断得到电子温度分布在1 eV~6.8 eV范围内、离子密度分布在2×1016/m3~2.8×1017/m3范围内。 展开更多
关键词 电推进 郎缪尔探针诊断 电子回旋共振
下载PDF
Particle Simulation of Three-Grid ECR Ion Thruster Optics and Erosion Prediction 被引量:6
11
作者 孙安邦 毛根旺 +3 位作者 杨涓 夏广庆 陈茂林 霍超 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第2期240-247,共8页
Ion optics is a critical component of ion thrusters. A two-dimensional axisymmetric model is developed to study the characteristics of three-grid electron cyclotron resonance ion thruster optics. The code is based on ... Ion optics is a critical component of ion thrusters. A two-dimensional axisymmetric model is developed to study the characteristics of three-grid electron cyclotron resonance ion thruster optics. The code is based on a particle-in-cell combined with the Monte Carlo collision method to simulate ion dynamics and charge-exchange processes in the grid region. The simulation results show that the mode can give a reasonable estimate of the physics characteristics of the ion optics. The design of the ion optics satisfies the requirement of preventing electron backstreaming. Charge-exchange ions can cause damage to the grids, especially to the accelerator grid. 'Barrel' erosion can increase the accelerator grid aperture radius at a rate of 1.91~ 10-11 m/s, while the decelerator grid plays an important role in reducing 'pits-and-grooves' erosion. 展开更多
关键词 electron cyclotron resonance ion thruster ion optics PARTICLE-IN-CELL Monte Carlo collision CHARGE-EXCHANGE EROSION
下载PDF
小型化电子回旋谐振微波离子推进器研究 被引量:7
12
作者 张红军 王萍萍 +1 位作者 邱景辉 顾学迈 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期972-976,共5页
常规的电推进技术是针对大卫星应用而研制的,体积大、功耗高,不能满足小卫星飞速发展的实际需要。针对小卫星对电推进器的要求,提出了利用电子回旋谐振微波放电技术,采用微波同轴放电腔体的小型化离子推进器。由于同轴传输线不存在截止... 常规的电推进技术是针对大卫星应用而研制的,体积大、功耗高,不能满足小卫星飞速发展的实际需要。针对小卫星对电推进器的要求,提出了利用电子回旋谐振微波放电技术,采用微波同轴放电腔体的小型化离子推进器。由于同轴传输线不存在截止波长,放电腔体的直径选择非常灵活,可以适应小卫星的低供电能力和对体积重量的要求。实验样机的直径为50mm,在微波功率为30W,加速电压1.2kV,减速电压0.2kV的条件下,等离子体的电子密度达到了4.6×1016/m3,推进器的离子束流也达到6mA。实验样机的体积大大低于常规波导谐振腔微波离子推进器,实现了小型化,基本满足了小卫星对电推进器的体积重量要求。 展开更多
关键词 电推进 离子推进器 电子回旋谐振 微波 小型化
下载PDF
电子回旋共振等离子体辅助脉冲式沉积氧化铝薄膜的研究 被引量:7
13
作者 桑利军 张跃飞 +1 位作者 陈强 李兴存 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期293-296,共4页
采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积氧化铝薄膜的实验研究。利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显... 采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积氧化铝薄膜的实验研究。利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、原子力显微镜、高分辨率透射电子显微镜等分析手段对薄膜进行了化学成分和微观结构的表征。结果表明,制备的氧化铝薄膜为非晶态结构,薄膜的表面非常光滑平整。薄膜的截面微观结构图像显示,薄膜厚度大约为80nm,界面清晰、按照周期数和层数线形生长规律进行生长。 展开更多
关键词 电子回旋共振 原子层沉积 三甲基铝 氧化铝
下载PDF
微波离子推力器中磁场发散区电子加热模式研究
14
作者 付瑜亮 张思远 +2 位作者 杨谨远 孙安邦 王亚楠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期199-203,共5页
在微波离子推力器的磁场结构设计中,一般认为增大磁镜区的面积能够约束更多电子,有利于提高能量利用率;减小发散区面积能够减少电子在壁面的损失,有利于降低放电损耗.随着一体化仿真研究深入,发现利用Child-Langmuir鞘层的特性可约束电... 在微波离子推力器的磁场结构设计中,一般认为增大磁镜区的面积能够约束更多电子,有利于提高能量利用率;减小发散区面积能够减少电子在壁面的损失,有利于降低放电损耗.随着一体化仿真研究深入,发现利用Child-Langmuir鞘层的特性可约束电子,使其在鞘层与磁镜间往复运动获能.对此,本文设计了适用于1 cm磁阵列微波离子推力器的磁场结构,并对其初始放电和束流引出过程进行了一体化仿真,对比阐明了电子在磁场发散区受Child-Langmuir鞘层、天线表面鞘层和磁镜共同约束下的获能模式.该获能模式可提升磁场发散区的电子温度,促进电离,提升栅极前等离子体密度,进而提升束流密度.仿真结果表明,在氙气流量0.3 sccm(1 sccm=1 mL/min),微波功率为1 W,栅极电压φ_(sc)/φ_(ac)=300 V/–50 V条件下,磁阵列微波离子推力器的电流密度较2 cm微波离子推力器提升57.9%.本文从理论上对磁场发散区电子加热模式进行了验证,研究结果将为微波离子推力器优化设计提供理论依据,促进微波离子推力器性能提升. 展开更多
关键词 电子回旋共振 离子推力器 电子约束 电子加热
下载PDF
离子源内电子回旋共振等离子体诊断与分析 被引量:6
15
作者 金逸舟 杨涓 +2 位作者 罗立涛 冯冰冰 汤明杰 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2950-2957,共8页
电子回旋共振离子推力器(ECRIT)离子源的内部磁场会干扰离子源内等离子体诊断,选择合理的诊断方法需要分析离子源特性,了解磁场对诊断结果的影响。为此,采用朗缪尔(Langmuir)探针诊断了离子源的等离子体信息,根据朗缪尔探针理论得... 电子回旋共振离子推力器(ECRIT)离子源的内部磁场会干扰离子源内等离子体诊断,选择合理的诊断方法需要分析离子源特性,了解磁场对诊断结果的影响。为此,采用朗缪尔(Langmuir)探针诊断了离子源的等离子体信息,根据朗缪尔探针理论得到电子温度、电子数密度、离子数密度,根据Druyvesteyn方法得到电子温度、电子数密度。结合实验现象,对比了不同方法所得诊断参数差异,分析了诊断结果的准确性。诊断结果表明:诊断位置到轴线的径向距离〉10 mm后,离子数密度由3.0×1017 m-3增至1.8×1018 m-3,符合离子源的放电原理和实际的放电形貌;不同处理方法所得电子温度、电子数密度接近,电子温度诊断值范围是4~20 e V,电子数密度诊断值范围是(2.0~9.0)×1016 m-3。离子数密度诊断结果较电子数密度诊断结果准确;电子温度较低时,使用积分得到的电子温度更准确;平行于探针的磁场会显著降低诊断得到的电子数密度,探针收集面垂直于磁场可减弱磁场干扰。 展开更多
关键词 电推进 电子回旋共振 离子源 磁场 等离子体诊断 离子数密度 电子数密度 电子温度
下载PDF
微推力ECR离子推力器中和器实验研究 被引量:6
16
作者 孟海波 杨涓 +4 位作者 朱康武 孙俊 黄益智 金逸舟 刘宪闯 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期42-48,共7页
微推力电子回旋共振(ECR)中和器作为ECR离子推力器的关键组成部分,其初始放电及电子束流引出性能对离子推力器整体性能起着重要作用。研究对象为直径2 cm的ECR离子推力器中和器,根据中和器放电室内静磁场分布,选取不同结构的天线、腔体... 微推力电子回旋共振(ECR)中和器作为ECR离子推力器的关键组成部分,其初始放电及电子束流引出性能对离子推力器整体性能起着重要作用。研究对象为直径2 cm的ECR离子推力器中和器,根据中和器放电室内静磁场分布,选取不同结构的天线、腔体及电子引出板,并在真空环境下进行束流引出实验。实验结果表明:在一定范围内,腔体长度越长、天线环形段略高于ECR区且环形段宽度越小时,中和器性能越好;对于电子引出板存在一个合理结构使得中和器性能更佳。此外,在一定的偏压及气体流量范围内,无论采用哪种结构的腔体、天线及电子引出板,中和器引出的电子束流的大小均随偏压及气体流量的增加而增加。根据实验中不同组合结构中和器的气体初始放电以及电子束流引出性能的对比,最终得到较为合理的中和器结构。该中和器以氙气为工质,在微波功率2.0W、流量0.2 mL/min的工作条件下,引出电子束流4 mA所需偏压为31.5 V。 展开更多
关键词 中和器 实验 电子回旋共振 等离子体 电子束流 微波
下载PDF
磁阵列微波放电中和器的电子引出机制
17
作者 付瑜亮 张思远 +2 位作者 孙安邦 马祖福 王亚楠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期231-236,共6页
微波放电中和器作为微波离子推力器系统的重要组成部分,在维持航天器电位平衡、中和羽流方面发挥着重要作用,其电子引出性能直接关系到电推力器系统的工作状态.在磁阵列微波放电中和器的磁场结构定型实验中,发现调转磁阵列朝向后引出电... 微波放电中和器作为微波离子推力器系统的重要组成部分,在维持航天器电位平衡、中和羽流方面发挥着重要作用,其电子引出性能直接关系到电推力器系统的工作状态.在磁阵列微波放电中和器的磁场结构定型实验中,发现调转磁阵列朝向后引出电流的伏安特性曲线差异极大.由于磁阵列微波放电中和器的放电室直径仅10 mm,介入式探针诊断对等离子体干扰大,本文采用了一体化粒子模拟方法对中和器的工作过程进行仿真,仿真结果与实验现象相符合.通过对比不同磁场结构、工作电压下的等离子体参数分布,发现引出孔附近的电势分布决定着中和器的电子引出能力;并进一步揭示了离子在中和器电子引出过程中发挥的关键作用,阐明了磁场结构对中和器电子引出能力的影响机制.最后,本文总结了微波放电中和器有效引出电子的两个必要条件:1)磁场梯度指向引出孔,引导等离子体迁移;2)引出孔附近有足够的离子抬升电势,降低或打破电势阱. 展开更多
关键词 电子回旋共振 中和器 电子引出
下载PDF
放电室长度对电子回旋共振离子推力器性能的影响机理 被引量:2
18
作者 付瑜亮 杨涓 +1 位作者 夏旭 孙安邦 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第17期261-267,共7页
在电子回旋共振离子推力器的结构优化中,放电室长度调节的是栅极与主等离子体区的相对位置,以此影响栅极上游等离子体密度,进而改变推力器离子束流大小及聚焦状态,达到性能优化目的.然而,在一体化仿真研究中发现,施加栅极电压后,Child-L... 在电子回旋共振离子推力器的结构优化中,放电室长度调节的是栅极与主等离子体区的相对位置,以此影响栅极上游等离子体密度,进而改变推力器离子束流大小及聚焦状态,达到性能优化目的.然而,在一体化仿真研究中发现,施加栅极电压后,Child-Langmuir鞘层前存在高能电子分布,这与传统的放电室仿真存在明显差异.本文认为施加栅极电压后,Child-Langmuir鞘层会排斥电子,使流向栅极的电子返回磁镜区参与加热,最终在磁镜和Child-Langmuir鞘层之间形成了高能电子分布区域.这意味着放电室长度对推力器性能的影响不再局限于相对位置的调节,还能通过调控Child-Langmuir鞘层前的高能电子分布影响等离子体生成.因此,本文采用一体化仿真方法,系统研究了放电室长度对推力器放电和引出性能的影响机理,并讨论了Child-Langmuir鞘层前高能电子分布对电离体系的影响.本文研究将为电子回旋共振离子推力器的结构优化设计提供新思路. 展开更多
关键词 电子回旋共振 离子推力器 放电室长度
下载PDF
微波等离子体制备类金刚石薄膜进展
19
作者 李孝凯 尹善 +2 位作者 王进平 徐清国 郭朝乾 《真空与低温》 2024年第1期23-30,共8页
随着对材料需求的日渐增长,在材料表面沉积性能优异的薄膜以提高材料的使用性能成为一种趋势。类金刚石薄膜具有高硬度、强的耐腐蚀性能、低摩擦因数、良好的耐磨损性等优势,在工业制造领域受到越来越多的关注。介绍了电子回旋共振等离... 随着对材料需求的日渐增长,在材料表面沉积性能优异的薄膜以提高材料的使用性能成为一种趋势。类金刚石薄膜具有高硬度、强的耐腐蚀性能、低摩擦因数、良好的耐磨损性等优势,在工业制造领域受到越来越多的关注。介绍了电子回旋共振等离子体源和表面波等离子体源的原理及在制备DLC薄膜中的应用,分析了沉积过程中影响DLC薄膜性能的主要因素,指出了目前存在的问题,总结了微波等离子体源能够产生大面积的高密度等离子体,且无电极污染等优势,为促进高性能DLC薄膜的制备和应用提供参考。 展开更多
关键词 类金刚石 等离子体 微波 表面波 电子回旋共振
下载PDF
ECR微波等离子体特性的实验研究 被引量:3
20
作者 詹如娟 汪学毅 +2 位作者 温晓辉 王存勇 朱小东 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第5期390-394,共5页
着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置,以及在CH4-H2混合气体放电情况下,诊断了内部等离子体参数,给出了等离子体密度、电子温度、基板鞘附近的空间电位以及在类金刚石膜合成条件下等离子体中的基团情况,同时研究了... 着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置,以及在CH4-H2混合气体放电情况下,诊断了内部等离子体参数,给出了等离子体密度、电子温度、基板鞘附近的空间电位以及在类金刚石膜合成条件下等离子体中的基团情况,同时研究了它们与工艺参数之间的关系。 展开更多
关键词 电子回旋共振 等离子体诊断 微波 波导
下载PDF
上一页 1 2 11 下一页 到第
使用帮助 返回顶部