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微细电解加工的精度及定域性研究 被引量:13
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作者 张朝阳 朱荻 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第2期242-245,共4页
在分析微细电解加工特点的基础上,探讨了底面间隙和侧面间隙之间的关系,并研究了它们对加工精度和定域性的影响。通过对定域性评价指标的比较,提出了以定域蚀除率评价杂散蚀除的新概念。运用定域蚀除率分析了在利用纳秒脉冲电流进行微... 在分析微细电解加工特点的基础上,探讨了底面间隙和侧面间隙之间的关系,并研究了它们对加工精度和定域性的影响。通过对定域性评价指标的比较,提出了以定域蚀除率评价杂散蚀除的新概念。运用定域蚀除率分析了在利用纳秒脉冲电流进行微小孔的电解加工时,脉冲宽度和工具电极直径对加工定域性的影响。结果表明,减小脉冲宽度和占空比可以增强定域蚀除能力,提高加工精度。 展开更多
关键词 微细电解加工 定域蚀除率 加工精度
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Electrochemical micromachining of micro-dimple arrays on cylindrical inner surfaces using a dry-film photoresist 被引量:15
2
作者 Qu Ningsong Chen Xiaolei +1 位作者 Li Hansong Zeng Yongbin 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期1030-1036,共7页
The application of surface textures has been employed to improve the tribological performance of various mechanical components. Various techniques have been used for the application of surface textures such as micro-d... The application of surface textures has been employed to improve the tribological performance of various mechanical components. Various techniques have been used for the application of surface textures such as micro-dimple arrays, but the fabrication of such arrays on cylindrical inner surfaces remains a challenge. In this study, a dry-film photoresist is used as a mask during through-mask electrochemical micromachining to successfully prepare micro-dimple arrays with dimples 94 lm in diameter and 22.7 lm deep on cylindrical inner surfaces, with a machining time of 9 s and an applied voltage of 8 V. The versatility of this method is demonstrated, as are its potential low cost and high efficiency. It is also shown that for a fixed dimple depth, a smaller dimple diameter can be obtained using a combination of lower current density and longer machining time in a passivating sodium nitrate electrolyte. 展开更多
关键词 Dry-film photoresist electrochemical machining electrochemical micromachining Inner surface Micro-dimple arrays Texture
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电化学制造新进展 被引量:3
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作者 朱荻 房晓龙 +1 位作者 王登勇 沈春健 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期330-347,共18页
电化学制造技术包括电解加工和电铸成形。电解加工适合于制造难加工材料零件,批产效率高,是航空、航天、兵器等工业领域的重要制造技术之一。随着研究工作持续进行,21世纪以来电化学制造技术取得了显著的进步。介绍和分析电解加工在精... 电化学制造技术包括电解加工和电铸成形。电解加工适合于制造难加工材料零件,批产效率高,是航空、航天、兵器等工业领域的重要制造技术之一。随着研究工作持续进行,21世纪以来电化学制造技术取得了显著的进步。介绍和分析电解加工在精度、加工的极限尺度、新的加工模式、复合加工等方面的研究进展,重点讨论脉动态电解加工、微细电化学加工、线切割电解加工、旋印电解加工、电化学复合加工等研究热点的现状和发展,其中脉动态电解加工、线切割电解加工和旋印电解加工等技术方法已在整体叶盘、涡轮盘榫槽、薄壁机匣等航空发动机制造中发挥重要作用或展现出技术优势。电铸成形技术具有极高的复制精度,承担了一些特殊的精密制造任务。在微器件制造方面,LIGA技术已经在二维器件制造方面获得了很多重要应用,目前的研究热点集中在三维金属微结构电铸成形方面,介绍和评述国内外在此方向的研究进展。电解加工与放电、机械、激光等其它能场复合,在提高加工效率、加工精度等方面取得了不错的研究进展。 展开更多
关键词 电解加工 电铸成形 脉动态电解加工 线切割电解加工 旋印电解加工 微细电解加工 电解复合加工
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纳秒级脉冲电流电解加工定域性的试验研究 被引量:3
4
作者 谢晓芬 朱荻 +1 位作者 曲宁松 张朝阳 《电加工与模具》 2006年第2期23-26,共4页
利用纳秒级脉冲电源、毫微秒级脉冲电源和直流电源,进行了电解加工试验。并对不同电源加工出的微小孔进行了分析、比较,研究了影响电解加工定域性的工艺因素。结果表明:采用纳秒级脉冲电源能显著提高电解加工的定域性,优化纳秒级脉冲电... 利用纳秒级脉冲电源、毫微秒级脉冲电源和直流电源,进行了电解加工试验。并对不同电源加工出的微小孔进行了分析、比较,研究了影响电解加工定域性的工艺因素。结果表明:采用纳秒级脉冲电源能显著提高电解加工的定域性,优化纳秒级脉冲电源脉冲宽度和加工电压可进一步提高加工定域性。 展开更多
关键词 微细电解加工 纳秒级脉冲 定域性
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Surface texturing for adaptive Ag/MoS_2 solid lubricant plating 被引量:3
5
作者 Huang Zhongjia Liu Minglang +1 位作者 Xiong Dangsheng Li Jianliang 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第6期560-565,共6页
The objective of this research is to prepare specially designed surface texture on hard steel surface by electrochemical micromachining (EM) and to incorporate electroless plated Ag/MoS2 solid lubricant coating into t... The objective of this research is to prepare specially designed surface texture on hard steel surface by electrochemical micromachining (EM) and to incorporate electroless plated Ag/MoS2 solid lubricant coating into the dimples of EM textured steel surface to effectively reduce friction and wear of steel-steel contacts. The friction and wear behavior of the Ag/MoS2 solid lubricant coating on EM textured steel surface was evaluated in relation to the size and spacing of the dimples thereon. The microstructure of as-plated Ag/MoS2 solid lubricant coating and the morphology and elemental composition of the worn coating surface and counterface steel surface were analyzed by means of optical microscopy, scanning electron microscopy, and energy dispersive spectrometry. It is found that electroless plated Ag/MoS2 coating is able to greatly reduce the friction and wear of the EM textured steel disc coupled with GCr15 steel ring, mainly because of the formation of solid self-lubricating layer on the EM textured steel surface and of transferred lubricating film on counterface steel surface. The diameter and spacing of the dimples are suggested as 500 μm for acquiring the best wear resistance of the hard steel discs after electrochemical micromachining treatment and electroless plating of Ag/MoS2 solid lubricating coating. 展开更多
关键词 hard steel electrochemical micromachining surface texturing electroless plating Ag/MoS2 lubricating coating behavior friction and wear
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表面织构电解加工技术研究进展
6
作者 张庆良 刘金玲 +1 位作者 孙志光 曲宁松 《电加工与模具》 北大核心 2024年第3期1-14,53,共15页
表面织构在能源、光学、电子、信息技术、生物和摩擦学等领域具有重要应用,其加工工艺是制造技术研究的重要内容。由于所加工表面织构具有无毛刺、翻边等优点,电解加工成为表面织构的重要制造技术方法和技术研究热点,故详细介绍了五种... 表面织构在能源、光学、电子、信息技术、生物和摩擦学等领域具有重要应用,其加工工艺是制造技术研究的重要内容。由于所加工表面织构具有无毛刺、翻边等优点,电解加工成为表面织构的重要制造技术方法和技术研究热点,故详细介绍了五种典型表面织构电解加工技术在方法创新、材料去除机制、加工过程建模及加工工艺等方面的研究进展,给出了电解加工表面织构的典型结构和材料,指出提高加工效率和加工自动化程度是未来表面织构电解加工技术的发展趋势。 展开更多
关键词 表面织构 电解加工 微细电解加工 材料去除机制 加工过程模型
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超声横振辅助微细电解加工关键技术研究
7
作者 蔡建洲 刘桂贤 +2 位作者 李镜 罗红平 张永俊 《机电工程技术》 2024年第8期161-166,共6页
针对深窄槽微细电解加工中存在电解产物排出困难的问题,提出了一种超声横振辅助微细电解加工方法。该方法利用工具电极产生横振使加工间隙的流场产生周期性变化,增强了电解加工间隙内电解产物传质能力,提高了深窄槽微细电解加工效率及... 针对深窄槽微细电解加工中存在电解产物排出困难的问题,提出了一种超声横振辅助微细电解加工方法。该方法利用工具电极产生横振使加工间隙的流场产生周期性变化,增强了电解加工间隙内电解产物传质能力,提高了深窄槽微细电解加工效率及加工稳定性。为研究该工艺的加工特性,研制了一套超声横振辅助微细电解加工装置,其关键技术是实现3种工作模式的超声-电解同步电源。基于研制的超声横振辅助微细电解加工装置,本文以深窄槽加工实验为研究对象,探究了电源的不同工作模式对深窄槽的影响规律。实验结果表明超声横振有利于提高深窄槽加工的传质能力,同步超声模式1有利于进一步提高工件的溶解量和微细电解加工的传质能力,同步超声模式2则有利于提高深窄槽的加工精度。最后,加工出槽宽为432.9μm,深宽比为11.9的深窄槽。 展开更多
关键词 微细电解加工 超声横振 深窄槽 流场
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面向半导体器件的电化学微纳制造技术 被引量:3
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作者 韩联欢 杜炳谦 +5 位作者 许瀚涛 时康 周剑章 杨防祖 詹东平 田昭武 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期747-755,共9页
由于电化学加工技术无工具磨损、无残余应力、无表层和亚表层损伤和热效应,在先进制造领域具有不可替代的作用.面对超大规模集成电路、微纳机电系统和微纳器件等新兴产业的重大需求,电化学微纳加工技术应运而生.围绕“微纳米尺度空间限... 由于电化学加工技术无工具磨损、无残余应力、无表层和亚表层损伤和热效应,在先进制造领域具有不可替代的作用.面对超大规模集成电路、微纳机电系统和微纳器件等新兴产业的重大需求,电化学微纳加工技术应运而生.围绕“微纳米尺度空间限域电化学反应”这一关键科学问题,本文将在介绍电化学微纳加工技术的基础上,全面综述具有厦门大学特色的约束刻蚀剂层技术及其在半导体材料加工原理、方法和设备等方面的研究进展. 展开更多
关键词 约束刻蚀剂层技术 电化学微加工 电化学纳米加工 先进制造 半导体微纳器件 半导体晶圆
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基于电化学微加工技术的多元兼容集成制造工艺及其应用 被引量:1
9
作者 蔡涵 李洪涛 +3 位作者 孙云娜 王艳 汪红 丁桂甫 《中国科学:化学》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期1954-1969,共16页
随着摩尔定律日益趋近其发展极限,高集成、多功能微机电系统(MEMS)器件为智能化应用的发展提供持续不竭的动力.若要实现兼容更多功能部件的系统集成,关键是要突破多元材料、复杂结构难以异质异构集成制造的工艺难题.基于电化学微加工的... 随着摩尔定律日益趋近其发展极限,高集成、多功能微机电系统(MEMS)器件为智能化应用的发展提供持续不竭的动力.若要实现兼容更多功能部件的系统集成,关键是要突破多元材料、复杂结构难以异质异构集成制造的工艺难题.基于电化学微加工的多元兼容集成制造技术,以其低温且易于集成的工艺属性展现了材料多样性、结构多样性和工艺多样性兼容集成的潜力,提供了有效解决上述难题的优势技术途径,为面向重大需求的高性能、智能化、微型化的MEMS器件奠定技术基础.本文对典型MEMS微加工技术的兼容性进行分析,阐述基于电化学微加工技术的多元兼容集成制造工艺的技术内涵、发展潜力、关键技术和阶段成果,并进一步探讨了后续发展亟需解决的基础科学问题. 展开更多
关键词 电化学微加工 多元兼容集成制造 MEMS微加工技术 掩膜电镀 功能器件系统集成
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电化学微加工技术的新进展及关键技术 被引量:3
10
作者 张璧 罗红平 +1 位作者 周志雄 任莹晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1505-1511,共7页
将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。... 将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。从基础理论研究和应用技术研究两个方面介绍了近年来国内外在电化学微加工领域的一些新进展,总结了实现电化学微加工的关键技术。 展开更多
关键词 电化学微加工 材料去除 复杂三维微结构 微细工具电极
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电解加工电源研究现状及发展趋势 被引量:2
11
作者 罗红平 张清荣 +1 位作者 刘桂贤 张永俊 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第13期201-213,共13页
电解加工电源是电解加工装备中的关键核心基础设备,其性能直接影响着电解加工的精度、稳定性、表面质量和经济性。为了更加充分发挥电解工艺的潜力和优势,实现精密、高效、稳定的电解加工,有必要对电解加工电源的研究现状及发展趋势进... 电解加工电源是电解加工装备中的关键核心基础设备,其性能直接影响着电解加工的精度、稳定性、表面质量和经济性。为了更加充分发挥电解工艺的潜力和优势,实现精密、高效、稳定的电解加工,有必要对电解加工电源的研究现状及发展趋势进行系统梳理和全面总结。系统分析了宏观尺度电解加工和微细电解加工的工艺原理,加工质量、效率和工艺稳定性等的影响因素,归纳总结出不同类别、不同应用场合下电解工艺对加工电源的性能指标要求。较为全面地介绍了近年来国内外在电解加工电源方面的相关研究进展及应用情况。对电解加工电源在控制高频脉冲产生、信号处理与输出、加工间隙监测、电源保护等几个方面的关键技术进行了评述,同时对电解加工电源的发展趋势进行了预测和展望,为促进我国电解加工技术的快速发展和广泛应用提供有益的参考。 展开更多
关键词 电解加工 电源 微细电解加工 高频 脉冲
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微细电解射流喷射装置研制与工艺试验 被引量:1
12
作者 黄巍 赵建社 +2 位作者 李昞晖 张立鑫 徐坤 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期67-69,共3页
为提高微细电解射流加工效率及加工质量,研制了专用喷射装置,并利用该装置进行了初步工艺试验。结果证明该装置保证了电解液在其腔体中能够得到充分"负极化",且能获得满足加工要求的稳定破碎长度,满足了电解射流加工试验要求。
关键词 电解射流加工 喷射装置 负极化 破碎长度 微细电解加工
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模板电解法快速制作玻璃微流控芯片 被引量:1
13
作者 叶嘉明 李明佳 +1 位作者 庄金亮 周勇亮 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期491-495,共5页
玻璃微流控芯片在许多领域已经得到较广泛的应用,但目前的加工需要繁琐的步骤及昂贵的设备进行图形转移及金属牺牲层开窗口。本文提出一种快速制作金属牺牲层图形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法。以CO2激光直写加工PET膜模板,微细... 玻璃微流控芯片在许多领域已经得到较广泛的应用,但目前的加工需要繁琐的步骤及昂贵的设备进行图形转移及金属牺牲层开窗口。本文提出一种快速制作金属牺牲层图形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法。以CO2激光直写加工PET膜模板,微细电解加工玻璃基片上的铬/金牺牲层快速获得窗口,湿法腐蚀及热键合制作玻璃微流控芯片。结果表明该法可在10秒内开窗口,电解加工过程使用的模板厚度、电解液组成及施加的压力与电压对窗口的质量都有显著影响。加工的微通道宽度为145μm,边缘整齐,宽度均匀,相对标准偏差为3.72%,深度25μm,底部平整度高,并成功用于氨基酸混合液的芯片毛细管电泳分离。同时使用该方法加工的金微电极阵列,电极宽度为100μm,最小间距可达100μm。 展开更多
关键词 微流控芯片 微细电解加工 玻璃芯片 微电极
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电解加工中微细电极尖端效应的实验研究与仿真 被引量:2
14
作者 何俊峰 郭钟宁 +2 位作者 连海山 何长运 罗红平 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2014年第7期136-138,共3页
微细电极在电解加工中会产生尖端效应,致使加工后的微细电极为尖锥状。文章通过分析微细电极电解加工的加工原理及制备流程,对微细电极与辅助电极之间的相对位置进行适当调节,有效的改善了微细电极的尖端效应。试验过程中保持加工电压... 微细电极在电解加工中会产生尖端效应,致使加工后的微细电极为尖锥状。文章通过分析微细电极电解加工的加工原理及制备流程,对微细电极与辅助电极之间的相对位置进行适当调节,有效的改善了微细电极的尖端效应。试验过程中保持加工电压与电解液溶度不变,研究微细电极与辅助电极在不同加工位置对尖端效应的影响。同时,建立不同电极直径的有限元分析模型,分析相应电极尖端电流密度随相对位置变化的规律。仿真结果能合理有效的解释相对位置的变化对微细电极尖端效应的影响。 展开更多
关键词 电解加工 微细电极 电流密度 尖端效应
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阴极周期跳跃式微细电解加工的正交试验研究 被引量:2
15
作者 衡冲 刘壮 陈伟 《电加工与模具》 2009年第6期50-53,共4页
阴极周期跳跃式微细电解加工是为解决加工中电解液更新困难、电解产物很难排除的难题而提出的一种加工方法。基于自行研制的加工装置,设计了以加工间隙为优化目标的正交试验方案,通过对0.5 mm厚不锈钢板正交试验数据的方差分析,找出了... 阴极周期跳跃式微细电解加工是为解决加工中电解液更新困难、电解产物很难排除的难题而提出的一种加工方法。基于自行研制的加工装置,设计了以加工间隙为优化目标的正交试验方案,通过对0.5 mm厚不锈钢板正交试验数据的方差分析,找出了影响加工精度的主要因素,得到了实现加工间隙更小化的工艺参数优化组合。 展开更多
关键词 微细电解加工 阴极跳跃 正交试验 加工精度
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微凹坑超声电解滚蚀加工间隙多物理场特性及成形规律 被引量:2
16
作者 王明环 王嘉杰 +3 位作者 童文俊 陈侠 许雪峰 王芯蒂 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期783-791,共9页
针对径向超声能场滚蚀微细电解加工(RUR-EMM)间隙物理场变化复杂、能观性较差等问题,基于数值模拟方法,对加工中间隙多物理场耦合作用及变化规律进行研究。建立加工间隙内电场、两相流场、温度场、声场等多场耦合理论模型,通过数值仿真... 针对径向超声能场滚蚀微细电解加工(RUR-EMM)间隙物理场变化复杂、能观性较差等问题,基于数值模拟方法,对加工中间隙多物理场耦合作用及变化规律进行研究。建立加工间隙内电场、两相流场、温度场、声场等多场耦合理论模型,通过数值仿真分析得出多场耦合相互影响变化规律、多场耦合下凹坑成型规律。研究结果表明:在振动频率20 kHz、振幅10μm、加工间隙50μm、工具阴极旋转角速度0.6°/s、电解液电导率7.9 S/m工况下,超声能场激励微细电解加工中,间隙内电解液周期性流入、流出加工区;电流密度随振动周期发生周期性变化;电解液温度随超声激励与电化学反应的综合作用升高;与滚蚀微细电解加工相比,RUR-EMM间隙内温度上升3.63%、电流密度提高1.45倍,间隙脉动流场有效促进了产物排出,RUR-EMM凹坑深度最大增加14.21%;微凹坑加工试验结果验证了理论模型的正确性,仿真与实际加工试验深度误差在17.07%以内。 展开更多
关键词 微细电解加工 微凹坑 超声振动 滚蚀加工 多物理场
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超声辅助微细电解加工间隙空化微射流对材料蚀除的影响 被引量:1
17
作者 王明环 吕明 +2 位作者 何凯磊 郑劲松 许雪峰 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期2368-2380,共13页
为探究超声辅助微细电解加工(UAEMM)间隙电解液内产生的空化微射流对材料蚀除的影响,建立微射流冲击工件表面流固耦合模型,通过数值仿真研究高速微射流冲击下工件表面微观塑性形变规律以及微变形对电场分布的影响规律,并进行了超声空化... 为探究超声辅助微细电解加工(UAEMM)间隙电解液内产生的空化微射流对材料蚀除的影响,建立微射流冲击工件表面流固耦合模型,通过数值仿真研究高速微射流冲击下工件表面微观塑性形变规律以及微变形对电场分布的影响规律,并进行了超声空化实验验证。研究结果表明:微射流冲击工件表面产生若干深度约0.12μm、凸起约0.04μm的空蚀坑;在外加电场下,空蚀坑凸起处的电流密度和蚀除深度较原始工件表面处提高1.2倍;进一步的凹坑成形加工实验结果表明,在超声振幅10μm、加工时间5 s、加工间隙50μm工况下,与微细电解加工相比,UAEMM凹坑蚀除深度从20μm提高到100μm,同时成形凹坑底部粗糙度R_(a)从290 nm降低到40 nm;超声能场下间隙大量空化微射流促进了微细电解加工效率、加工后工件表面质量。 展开更多
关键词 超声辅助 微细电解加工 空化微射流 空蚀坑 材料蚀除
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某型航空发动机燃油喷嘴旋流室的微细电解加工研究 被引量:2
18
作者 张长富 徐世玉 《机床与液压》 北大核心 2016年第7期66-68,共3页
针对某型航空发动机燃油喷嘴结构尺寸微小、材料硬度较高、切削加工困难等问题,介绍了微细电解加工的原理和实验装置,制备了微细棒状工具电极和三角形钩状成形电极,利用分层电解铣削进行粗加工快速去除工件多余材料,再利用环形扫描电解... 针对某型航空发动机燃油喷嘴结构尺寸微小、材料硬度较高、切削加工困难等问题,介绍了微细电解加工的原理和实验装置,制备了微细棒状工具电极和三角形钩状成形电极,利用分层电解铣削进行粗加工快速去除工件多余材料,再利用环形扫描电解铣削进行旋流室全锥面的精加工,实现了发动机喷嘴微小尺寸旋流室的微细电解加工成形,达到加工精度和表面质量要求。研究表明,微细电解铣削加工是加工金属材料微小结构的有效可行的方法。 展开更多
关键词 燃油喷嘴 旋流室 微细电解加工 微细电极
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微细电解加工实验研究 被引量:1
19
作者 韩子平 于兆勤 +1 位作者 郭钟宁 莫秉华 《机电工程技术》 2008年第9期27-29,104,共4页
采用基于电化学腐蚀法制作直径80μm、长度3000μm的微细电极,分别使用微细圆柱电极和微细螺旋电极进行了加工实验,实验研究表明微细螺旋电极在孔和槽的加工中比微细圆柱电极具有更快的加工速度以及更小的加工间隙。螺旋结构在加工中有... 采用基于电化学腐蚀法制作直径80μm、长度3000μm的微细电极,分别使用微细圆柱电极和微细螺旋电极进行了加工实验,实验研究表明微细螺旋电极在孔和槽的加工中比微细圆柱电极具有更快的加工速度以及更小的加工间隙。螺旋结构在加工中有助于排出加工间隙内电解产物,显著地提高了加工效率、加工精度及加工过程的稳定性。 展开更多
关键词 电化学腐蚀 微细电解加工 螺旋电极
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微细工具电极在线制作技术及实验研究
20
作者 杨忠高 韩桂海 郭钟宁 《装备制造技术》 2012年第6期250-252,共3页
本文提出了一种在线制作微型工具电极的新方法。该方法是基于电化学微加工,通过反复交换工具电极和工件的极性,进行相互加工获得与电化学微加工相适应的微型工具电极。由于该过程在线进行,因此可以避免因两次夹紧工具电极造成的位置误... 本文提出了一种在线制作微型工具电极的新方法。该方法是基于电化学微加工,通过反复交换工具电极和工件的极性,进行相互加工获得与电化学微加工相适应的微型工具电极。由于该过程在线进行,因此可以避免因两次夹紧工具电极造成的位置误差和夹紧误差,并可以大大提高加工精度。该方法对于电化学展成微加工来说是非常重要的。通过实验,稳定的加工出了最小直径为20μm的工具电极。 展开更多
关键词 电化学微细加工 在线制作 展成微加工
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