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题名静电激励微板动力学特性研究
被引量：2
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作者
孙丽波
许立忠
刘庆玲
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机构
燕山大学环境与化学工程学院河北省应用化学重点实验室
燕山大学机械工程学院
廊坊师范学院数信学院
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出处
《振动工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2015年第4期525-530,共6页
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基金
河北省科学技术研究与发展计划资助项目(13961701D)
河北省教育厅科学研究计划资助项目(Z2012031)
廊坊师范学院博士基金资助项目(LSBS201306)
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文摘
基于多物理场动态耦合分析方法建立了考虑微流体压膜阻尼效应的静电激励微板机电耦合系统动力学模型,采用KBM法对微板多物理场耦合动力学响应问题进行了求解。通过静电激励微板动力学实验,采集到了简谐激励下系统响应共振频率、波形图及幅值谱图,图像显示出微板机电耦合系统具有明显的非线性动力学特征。与实验结果对比表明:这种基于多物理场动态耦合分析方法所求得的动力学响应解具有足够的精度。该方法有助于研究静电激励微板的动力学特性并可应用于MEMS动力学设计。
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关键词
机械振动
静电激励
机电耦合
微板
MEMS
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Keywords
mechanical vibration
electro statically actuated
electromechanical coupled
micro-plate
MEMS
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分类号
TH113.1
[机械工程—机械设计及理论]
O322
[理学—一般力学与力学基础]
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题名新型硅微机械谐振器的设计
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作者
梁帆
彭志萍
樊尚春
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机构
北京航空航天大学精密仪器与光电工程学院
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出处
《沈阳航空工业学院学报》
2006年第5期78-80,共3页
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文摘
从理论上分析谐振器的静电制动特性和机械力学特性,给出了活动梳齿的谐振频率和谐振振幅的解析解,提供谐振器结构设计的依据。设计了四种结构形式的谐振器,充分考虑不同静电激励方式对谐振器的影响,合理选取结构参数,有效提高了谐振器抑制侧向失稳和粘附效应的能力。借助有限元软件在考虑硅微加工特性和可行性的基础上对谐振器模态和固有频率的仿真和计算,优化了谐振器结构参数,使工作模态远离其他高阶模态,具有良好的频率特性。
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关键词
谐振器
梳齿
静电激励
有限元
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Keywords
resonator
combs
electro-static actuation
FEA
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分类号
TN713+.2
[电子电信—电路与系统]
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