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题名平行光波阵面调制下的双频干涉条纹形貌测量
被引量：2
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作者
王一
刘会艳
宋宝根
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机构
华北理工大学电气工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第6期947-952,共6页
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基金
国家自然科学基金青年科学基金项目(51505125)
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文摘
传统形貌测量多采用光栅投影,其投影条纹的非正弦性及条纹密度的限制将影响形貌测量的精度,为了实现高密度正弦条纹投影的可调性,采用平行光干涉投影形成明亮且对比度高的正弦条纹,避免条纹的正弦畸变。在平行光波阵面调制下,通过相控阵调节两光束交会角度得到所需的条纹频率,实现条纹投影的可调性,再将调制后双频应用到解包裹中提高解相精度。对比分析了单频和双频解包裹条件下,一个最大高度为35.80mm物体形貌的恢复,其最高点恢复相对误差分别为2.7%、1.6%。实验结果表明该方法具有有效性与可行性,具有较高的精度。
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关键词
三维形貌测量
傅里叶变换
双频解包裹
相控调制
平行光干涉投影
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Keywords
three-dimensional shape
Fourier transform
dual-frequencyunwrapping
phase controlled modulation
parallel optical interference projection
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分类号
TN25
[电子电信—物理电子学]
TH741
[机械工程—光学工程]
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