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题名MEMS陀螺驱动数字闭环ASIC设计
被引量：1
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作者
任臣
杨亮
杨拥军
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期566-569,584,共5页
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文摘
针对MEMS陀螺,基于四阶机电结合ΣΔ调制器技术设计了一款驱动数字闭环电路。其中电容/电压转换电路（C/V转换电路）采用了开关电容电路。为了降低C/V转换电路的噪声,采用了相关双采样（CDS）技术和斩波开关技术。仿真结果表明,采用这两项技术后,C/V转换电路的噪声在1~10kHz附近达到了约20zF/Hz。数字信号处理部分的时钟由锁相环路（PLL）提供,并且片上PLL对陀螺驱动模态谐振频率进行了倍频。采用0.18μmCMOS工艺制作设计的专用集成电路（ASIC）。实验结果表明,驱动闭环电路能够成功起振,电路输出信号的信噪比达到112dB,1h的稳定性达到2.08×10-4。
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关键词
MEMS陀螺
专用集成电路(ASIC)
驱动数字闭环
电容/电压转换
ΣΔ调制
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Keywords
MEMS gyroscope
application specific integrated circuit （ASIC）
drive digital closed-loop
C/V converter
ZA modulator
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分类号
TN492
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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