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薄膜生长的Monte Carlo模拟 被引量:2
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作者 陈光华 杨宁 宋道颖 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期249-252,共4页
利用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维和三维生长,引入Morse作用势描述了粒子间的相互作用,并根据势中的作用范围α详细考虑了近邻粒子的影响.研究发现,在:二维生长中各粒子团生长过程曲线存在多重线性分布,且在某一阶段各分布直线满... 利用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维和三维生长,引入Morse作用势描述了粒子间的相互作用,并根据势中的作用范围α详细考虑了近邻粒子的影响.研究发现,在:二维生长中各粒子团生长过程曲线存在多重线性分布,且在某一阶段各分布直线满足二分角关系.三维模拟结果表明,随着沉积粒子数的增加,成团粒子数所占百分比下降,这与二维结果相符. 展开更多
关键词 薄膜生长 MonteCarlo方法 多重线性分布 二分角关系
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