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AFM制作纳米光栅技术研究 被引量:5
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作者 张鸣 张伟 +3 位作者 华心 谢惠民 陈鹏万 黄风雷 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期330-332,336,共4页
在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜(AFM)来制作高频光栅的新工艺。利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘(聚碳酸酯材料)进行刻划试验。对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅。并将刻划所得光栅应用于... 在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜(AFM)来制作高频光栅的新工艺。利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘(聚碳酸酯材料)进行刻划试验。对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅。并将刻划所得光栅应用于数字云纹法,与数字参考栅干涉形成微/纳米数字云纹。实验结果表明,该法所制得的光栅可以应用于实际变形的测量。 展开更多
关键词 原子力显微镜 微纳米加工 光栅制作 数字云纹
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部分补偿数字莫尔移相干涉的回程误差消除 被引量:2
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作者 张丽琼 王劭溥 +1 位作者 胡摇 郝群 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第1期218-225,共8页
为了实现非球面面形误差的高精度测量,研究了基于部分补偿原理的数字莫尔移相干涉技术中回程误差的消除方法。通过建立实际干涉仪和建模理想干涉仪,并运用数字莫尔移相干涉技术,获得实际干涉仪像面与被测非球面面形误差相关的波前;分析... 为了实现非球面面形误差的高精度测量,研究了基于部分补偿原理的数字莫尔移相干涉技术中回程误差的消除方法。通过建立实际干涉仪和建模理想干涉仪,并运用数字莫尔移相干涉技术,获得实际干涉仪像面与被测非球面面形误差相关的波前;分析了该测量系统的误差,提出采用逆向优化法消除大面形误差时的回程误差实现被测非球面的面形误差检测。实验结果表明:与轮廓仪结果比对,面形误差较小时二分之一法重构面形误差,峰谷值和均方根值分别优于λ/20,面形误差较大时运用逆向优化法消除回程误差,重构的非球面面形误差峰谷值和均方根值偏差均优于λ/5。基于逆向优化法的部分补偿数字莫尔移相干涉非球面检测,有效消除了大面形误差时的回程误差,可实现高精度的面形误差重构检测。 展开更多
关键词 回程误差 数字莫尔移相干涉 部分补偿 二分之一法 逆向优化法
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数字莫尔条纹三维测量的系统校准方法
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作者 闫昭华 袁自钧 +1 位作者 支辛蕾 陈向东 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2022年第4期469-474,共6页
为实现数字莫尔条纹三维测量中物体位相分布与高度值的准确对应,文章提出一种快速系统校准的实验方法。根据系统模型推导出相位-高度的映射方程,将参考面沿着接近投影仪的方向放置在2个已知高度处,并处理得到对应高度下参考面的位相值分... 为实现数字莫尔条纹三维测量中物体位相分布与高度值的准确对应,文章提出一种快速系统校准的实验方法。根据系统模型推导出相位-高度的映射方程,将参考面沿着接近投影仪的方向放置在2个已知高度处,并处理得到对应高度下参考面的位相值分布;使用得到的2组数据对方程系数进行标定,标定结果与理论分析结果相一致;使用标定后的映射方程对三维物体进行重建,测量得到的峰值高度误差仅为0.19%。该校准方法不需要对系统参数进行复杂的物理测量,避免了人为测量引入的误差,具有较高的测量精度与分辨率,且系数标定的方法简洁方便,是一种可行的实验方案。 展开更多
关键词 数字莫尔 三维测量 系统校准 相位展开 图像处理
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基于透射电镜晶格图像数字云纹的应变测量方法
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作者 高智逊 马路路 +2 位作者 邢华丹 赵煜乘 仇巍 《实验力学》 CSCD 北大核心 2019年第2期191-199,共9页
提出一种通过量化几何转角实现应变测量的数字云纹新方法。该方法以高分辨透射电镜(TEM)获取的晶格图像为基础,通过傅立叶变换-反傅里叶变换,将TEM晶格图像生成三个不同倾角的栅线图。以已知应变状态位置获取的TEM栅线图为参考栅,以所... 提出一种通过量化几何转角实现应变测量的数字云纹新方法。该方法以高分辨透射电镜(TEM)获取的晶格图像为基础,通过傅立叶变换-反傅里叶变换,将TEM晶格图像生成三个不同倾角的栅线图。以已知应变状态位置获取的TEM栅线图为参考栅,以所需测量位置获得的栅线图为试件栅,分别对倾角接近的参考栅与试件栅进行逻辑运算,得到各倾角栅对应的数字云纹图像。基于几何云纹基本原理,建立参考栅与试件栅二者之间栅线倾角的变化(即栅线转角θ)、该栅线倾角所对应几何云纹条纹的倾角与栅线间距变化率(即栅线法向应变分量ε)之间的解析关系。计量栅线转角与几何云纹条纹的倾角便能够得到试件栅位置上三个不同方向的正应变,从而实现面内应变各分量的解耦测量。由于本方法获得的是高分辨TEM图像所在位置的应变平均信息,因此具有十纳米量级的空间分辨率。本文采用模拟实验对以上方法的正确性进行了验证,并将其应用于多层异质半导体结构横截面样品的应变分析,并给出了面内应变各分量的细节信息。 展开更多
关键词 晶格图像 高分辨透射电镜(TEM) 数字云纹 应变测量 栅线转角 条纹倾角
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APPLICATION OF THE DIGITAL MOIRE METHOD IN FRACTURE ANALYSIS OF A CRACKED RUBBER SHEET 被引量:5
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作者 Li Xiaolei Kang Yilan Qiu Wei Xiao Xia 《Acta Mechanica Solida Sinica》 SCIE EI 2006年第3期241-247,共7页
This paper deals with the mode I crack problem of a cracked rubber sheet under plane stress condition using the delicate digital moiré technique. Through the four step phaseshifting method of automated fringe ana... This paper deals with the mode I crack problem of a cracked rubber sheet under plane stress condition using the delicate digital moiré technique. Through the four step phaseshifting method of automated fringe analysis, the displacement fields in the Cartesian coordinate system are given. By the coordinate-transform equation, the radial and circular displacement distributions in the polar coordinate system are obtained. The displacement isoline distributions and displacement vector distributions near the crack tip are discussed. The strain isoline distributions near the crack tip are also analyzed in this paper. Finally, the distribution rules for the mechanical fields near the crack tip are discussed with the sector division method. 展开更多
关键词 digital moiré method rubber-like material large deformation phase-shifting method
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干涉条纹空间频率对数字叠栅移相干涉测量精度的影响 被引量:7
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作者 孟晓辰 郝群 +1 位作者 朱秋东 胡摇 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期198-203,共6页
基于数字叠栅移相干涉原理,分析了CCD像元尺寸、随机噪声和量化误差对采样后干涉条纹和合成叠栅条纹对比度的影响,并就干涉条纹频率对叠栅移相干涉相位测量精度的影响进行了理论分析和仿真研究。结果表明,随着干涉条纹空间频率的增大,CC... 基于数字叠栅移相干涉原理,分析了CCD像元尺寸、随机噪声和量化误差对采样后干涉条纹和合成叠栅条纹对比度的影响,并就干涉条纹频率对叠栅移相干涉相位测量精度的影响进行了理论分析和仿真研究。结果表明,随着干涉条纹空间频率的增大,CCD的采样过程、随机噪声和量化噪声会影响叠栅条纹信号的对比度和信噪比,并通过相位解算过程直接影响数字叠栅移相干涉的相位测量精度。以相位测量精度为π/50(折合光程差精度为λ/100)作为判断标准,对应可探测干涉条纹的最大空间频率为0.45λ/pixel,为后续数字叠栅移相干涉测量范围的研究提供了定量理论依据。 展开更多
关键词 光学测量 数字叠栅移相干涉 空间频率 相位测量精度 信噪比
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子区域拼接数字莫尔条纹非球面检测的理论分析 被引量:1
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作者 满玉春 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期420-425,共6页
为解决利用莫尔条纹测量大口径、高陡度非球面或离轴非球面时受光栅面积、CCD相机分辨能力等因素限制的问题,提出了利用数字莫尔条纹(结合数字相移技术)进行子区域拼接的非球面检测方法。给出了这种方法的基本原理,并对其步骤的实现、... 为解决利用莫尔条纹测量大口径、高陡度非球面或离轴非球面时受光栅面积、CCD相机分辨能力等因素限制的问题,提出了利用数字莫尔条纹(结合数字相移技术)进行子区域拼接的非球面检测方法。给出了这种方法的基本原理,并对其步骤的实现、数学模型的建立、拼接算法的开发进行了分析和研究。结果表明,子区域拼接数字莫尔条纹法可以作为补偿检验以外的另一种非球面检测方式。 展开更多
关键词 非球面检验 数字莫尔条纹 子区域拼接 最小二乘拟合
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单光栅数字莫尔位移测量法(英文) 被引量:2
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作者 伍剑 袁波 王立强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第10期3404-3409,共6页
提出了一种使用单光栅测量位移的新方法,在该方法中,光栅信号经放大后由图像传感器阵列接收并被传送至计算机,然后通过与其镜像图像叠加的方式得到数字莫尔条纹,最后利用图像传感器像素的空间均匀性对莫尔条纹直接进行细分进而测得位移... 提出了一种使用单光栅测量位移的新方法,在该方法中,光栅信号经放大后由图像传感器阵列接收并被传送至计算机,然后通过与其镜像图像叠加的方式得到数字莫尔条纹,最后利用图像传感器像素的空间均匀性对莫尔条纹直接进行细分进而测得位移量。与传统的双光栅莫尔条纹位移测量法相比,该方法完全消除了光栅副层叠间隙,装调更为方便,而且细分成本更低。在阿贝比长仪上对由周期为20μm的光栅和2 048×1 536像素的CMOS图像传感器构成的分辨率为0.04μm的测量系统进行测试,结果表明其最大位移误差优于0.18μm。 展开更多
关键词 单光栅 数字莫尔条纹 位移测量
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A digital moiré fringe method for displacement sensors
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作者 Jian WU Ting-ting ZHOU +1 位作者 Bo YUAN Li-qiang WANG 《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》 SCIE EI CSCD 2016年第9期946-953,共8页
In this study, a displacement measurement method based on digital moiré fringe is described and experimentally demonstrated. The method is formed by only one grating with a constant pitch. First, the magnified gr... In this study, a displacement measurement method based on digital moiré fringe is described and experimentally demonstrated. The method is formed by only one grating with a constant pitch. First, the magnified grating image is received by an imaging array and is sent to a computer. Then, the digital moiré fringes are generated by overlaying the grating image with its mirrored one. Finally, a specifically designed algorithm is used to obtain the fringes' phase difference before and after movement and calculate the displacement. This method has the effects of amplifying displacement and averaging the grating lines error, the same as the traditional moiré technique using two pieces of gratings. At the same time, the proposed system is much easier to assemble and the measurement resolution can be set more flexibly. One displacement measuring system based on this method was built up. Experiment results show that its measurement errors are less than 0.3 μm and less than 0.12 μm at the resolutions of 0.1 μm and 0.03 μm, respectively. 展开更多
关键词 digital moiré fringe Displacement measurement GRATING
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基于液晶显示投影技术的数字影栅云纹相移实现方法 被引量:6
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作者 杨福俊 何小元 孙伟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1057-1061,共5页
影栅云纹是物体离面变形和表面形貌测量常用的一种比较简单的方法,用单纯的影栅云纹法即便在最好的光学系统配置情况下测量精度也只有1~100 μm左右,在影栅云纹测试方法中引进相移技术是提高测量精度的主要手段.采用液晶投影仪和数字... 影栅云纹是物体离面变形和表面形貌测量常用的一种比较简单的方法,用单纯的影栅云纹法即便在最好的光学系统配置情况下测量精度也只有1~100 μm左右,在影栅云纹测试方法中引进相移技术是提高测量精度的主要手段.采用液晶投影仪和数字图像处理技术实现数字影栅云纹测量的准确数字相移,避免了在影栅云纹法中使用结构比较复杂或特制的相移机构.由计算机产生相移条纹图经液晶显示投影,应用实时图像灰度算术相减技术得到数字相移影栅云纹条纹图.该方法具有'基准栅'的栅距和相移步长实时可调,配置高速图像采集系统和图像后处理软件,可将相移技术引入动态测量中,从而提高动态测量的精度的优点.最后的悬臂梁实验结果证实了该方法的有效性. 展开更多
关键词 光学测量 数字影栅云纹 数字相移 液晶投影仪 平滑滤波
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数字纳米云纹法的实验研究
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作者 刘战伟 谢惠民 +5 位作者 方岱宁 戴福隆 郭海明 刘洪 高鸿钧 薛其坤 《光学技术》 EI CAS CSCD 2004年第1期9-12,共4页
提出了一种新的测量物质纳米级变形的云纹方法———数字纳米云纹法,在测量过程中,借助于各种电镜,采用具有周期结构的晶体物质的晶格或一些过渡金属、贵金属材料规则的表面原子重构作为试件栅。该试件栅的节距可达到亚纳米的量级,使得... 提出了一种新的测量物质纳米级变形的云纹方法———数字纳米云纹法,在测量过程中,借助于各种电镜,采用具有周期结构的晶体物质的晶格或一些过渡金属、贵金属材料规则的表面原子重构作为试件栅。该试件栅的节距可达到亚纳米的量级,使得该方法可以在纳观范围内测量物体的面内位移,应变。参考栅采用计算机绘制的正弦型数字栅。详细地论述了该数字栅的制作方法,数字纳米云纹条纹的形成机理,及位移、应变的测量方法,云纹条纹的相移方法和倍增方法。 展开更多
关键词 数字纳米云纹 晶格 数字栅 重构面 变形测量 实验研究
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