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后退火时间对磁控溅射制备β-Ga_(2)O_(3)薄膜材料的影响 被引量:2
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作者 杨赉 高灿灿 +1 位作者 杨发顺 马奎 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2022年第5期113-118,共6页
第三代半导体β-Ga_(2)O_(3)因其优异的性质在近年来备受国内外的关注,而获得质量较好的β-Ga_(2)O_(3)薄膜也就成了其广泛应用的关键.本文采用射频磁控溅射方法,以C面蓝宝石(Al_(2)O_(3))为衬底制备β-Ga_(2)O_(3)薄膜,并研究后退火工... 第三代半导体β-Ga_(2)O_(3)因其优异的性质在近年来备受国内外的关注,而获得质量较好的β-Ga_(2)O_(3)薄膜也就成了其广泛应用的关键.本文采用射频磁控溅射方法,以C面蓝宝石(Al_(2)O_(3))为衬底制备β-Ga_(2)O_(3)薄膜,并研究后退火工艺中退火时间对制得的β-Ga_(2)O_(3)薄膜材料的影响.XRD和AFM表征结果表明,随着退火时间的增加,薄膜的衍射峰强度表现为先增大后减小再增大的特性,半峰宽为先增大后减小,而晶粒尺寸与半峰宽相反;薄膜表面粗糙程度呈现先下降后上升的趋势.另外,利用积分球式分光光度计测试了薄膜的光学特性,结果表明薄膜的吸收光谱存在两个吸收峰值,分别位于250 nm和300 nm附近处,在深紫外区域有较好的吸收特性. 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3)薄膜 射频磁控溅射 退火时间 衍射峰强度 光学特性
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A METHOD FOR CORRECTING INTENSITY IN CONTINU-OUS SCANNING X-RAY STRESS MEASUREMENT
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作者 LI Jiabao HANG Zengqiao National Laboratory for Fatigue and Fracture of Materials,Institute of Metal Research,Academia Simca.Shenyang,China HE Jiawen Xi’an Jiaotong University,Xi’an,China 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 1992年第12期457-461,共5页
A set of absorption curves was priorly prepared on transparent films to fit the background and peak intensities in continuous scanning X-ray stress measurement.It may be better to correct both background and absorptio... A set of absorption curves was priorly prepared on transparent films to fit the background and peak intensities in continuous scanning X-ray stress measurement.It may be better to correct both background and absorption of pure diffraction intensity.Experimental results revealed this to be a reliable correction method. 展开更多
关键词 X-ray diffraction stress measurement intensity correction peak location
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高频介质系统介电性能与相组成的定量关系分析 被引量:1
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作者 李玲霞 吴霞宛 +2 位作者 王洪儒 张志萍 余昊明 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第4期396-399,共4页
采用普通电子陶瓷工艺制备两种高频介质系统ZnO-B2O3-SiO2三元系和Bao-Pbo-Nd2O3-Bi2O3-TiO2五元系,通过XRD分析确定各系统的主晶相,运用衍射峰强度计算法准确测定出各组分的体积百分含量,并代入Lichnetecker对数混合定则,计算出系统的... 采用普通电子陶瓷工艺制备两种高频介质系统ZnO-B2O3-SiO2三元系和Bao-Pbo-Nd2O3-Bi2O3-TiO2五元系,通过XRD分析确定各系统的主晶相,运用衍射峰强度计算法准确测定出各组分的体积百分含量,并代入Lichnetecker对数混合定则,计算出系统的介电性能,获得了分析介质系统介电性能与物相含量之间定量关系的新方法. 展开更多
关键词 高频介质系统 介电性能 相组成 定量关系 衍射峰强度 陶瓷材料
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集成电路中Ta扩散阻挡层对铜布线电迁移性能的影响
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作者 郑光锋 付建华 +2 位作者 李永堂 杜诗文 蒋立文 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期113-115,共3页
采用磁控溅射法在硅基材料上分别制备了Cu薄膜和Cu/Ta薄膜,用X射线衍射仪(XRD)研究两种样品在不同温度热处理下的织构情况和择优取向。结果表明,加Ta薄膜的样品可显著提高Cu(111)的衍射峰强度,说明Ta薄膜层能有效增强Cu薄膜层的抗电迁... 采用磁控溅射法在硅基材料上分别制备了Cu薄膜和Cu/Ta薄膜,用X射线衍射仪(XRD)研究两种样品在不同温度热处理下的织构情况和择优取向。结果表明,加Ta薄膜的样品可显著提高Cu(111)的衍射峰强度,说明Ta薄膜层能有效增强Cu薄膜层的抗电迁移性能。加Ta层的样品在一定温度下退火后同样也能增进Cu薄膜的抗电迁移性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 X射线衍射 电迁移性能 衍射峰强度
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ZnO-B2O_3-SiO_2系统的相结构与介电性能的研究
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作者 吴霞宛 李玲霞 +2 位作者 王洪儒 张志萍 郝建民 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第3期206-208,共3页
对 Zn O- B2 O3- Si O2 三元系统进行了 XRD和介电性能定量关系的研究。系统的主、次晶相为 Si O2 、Zn2 Si O4相。调整各组分 ,获得了超低介电常数的介质陶瓷 ,其介电常数ε为 5 ,介电损耗 tanδ≤ 5× 10 - 4 ,容量温度系参数αc... 对 Zn O- B2 O3- Si O2 三元系统进行了 XRD和介电性能定量关系的研究。系统的主、次晶相为 Si O2 、Zn2 Si O4相。调整各组分 ,获得了超低介电常数的介质陶瓷 ,其介电常数ε为 5 ,介电损耗 tanδ≤ 5× 10 - 4 ,容量温度系参数αc≤ (0± 30 )× 10 - 6 /°C、绝缘电阻 IR≥ 10 1 2 Ω ,烧结温度为 1140°C。并对系统进行了 X-射线分析 ,探讨了用X-射线衍射峰强度计算各物相含量的方法。 展开更多
关键词 ZnO-B2O3-SiO2系统 相结构 介电性能 表面组装技术 集成电路
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X射线衍射多谱峰匹配强度比定量相分析方法 被引量:13
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作者 储刚 翟秀静 +1 位作者 符岩 毕诗文 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期48-51,共4页
提出了1种采用X射线衍射多谱峰匹配强度比进行定量相分析的新方法 ;该法是利用混合物样品X射线衍射谱图中的多谱峰数据 ,结合ICDD卡中的各相标准谱峰的相对强度分布数据进行最小二乘法回归分析 ,求得混合物样品中各相间的多谱峰匹配强度... 提出了1种采用X射线衍射多谱峰匹配强度比进行定量相分析的新方法 ;该法是利用混合物样品X射线衍射谱图中的多谱峰数据 ,结合ICDD卡中的各相标准谱峰的相对强度分布数据进行最小二乘法回归分析 ,求得混合物样品中各相间的多谱峰匹配强度比 ;以多谱峰匹配强度比取代通常采用的特定单一谱线强度比 ,用于混合物样品的X射线衍射定量相分析 ,有利于提高定量相分析的精度 ;采用多谱峰匹配强度比结合绝热法和基体清洗法X射线衍射定量相分析原理 ,通过对4组分混合物样品的分析 ,证实实验结果和理论完全一致。 展开更多
关键词 X射线衍射 多谱峰匹配强度比 定量相分析 混合物样品 晶相
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BaO-PbO-Nd_2O_3-Bi_2O_3-TiO_2系物相组成与介电性能关系的研究 被引量:8
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作者 袁廷志 吴霞宛 +1 位作者 李玲霞 王洪儒 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2002年第6期36-40,共5页
以五元系统BaO PbO Nd2 O3 Bi2 O3 TiO2 为研究对象探讨化合物相与介电性能的定量关系。系统的主次晶相分别为BaNd2 Ti5O14 和Bi4 Ti3O12 。对系统进行X射线分析 ,用X射线衍射峰强度计算出系统中各物相的体积分数 ,再运用李赫德涅凯对... 以五元系统BaO PbO Nd2 O3 Bi2 O3 TiO2 为研究对象探讨化合物相与介电性能的定量关系。系统的主次晶相分别为BaNd2 Ti5O14 和Bi4 Ti3O12 。对系统进行X射线分析 ,用X射线衍射峰强度计算出系统中各物相的体积分数 ,再运用李赫德涅凯对数混合定则进行定量计算 ,得出的系统的介电性能与用仪器实测的系统参数相符。在本研究系统中 ,X衍射射线分析可以测定和定量表征烧结介质瓷中化合物含量 ,经过对系统中各化合物成分的介电性能测定 ,可计算出所研究系统的介电性能 ,从而可以作为一种介质的设计方法。本系统主要是BaO PbO Nd2 O3 Bi2 O3 TiO2 系。Nd和Bi对Ba的取代是异价取代 ,故能准确定量测出和算出其化合物的含量。Pb和Ba是等价取代 ,其化合物的含量可用X射线衍射等方法测出 ,在本系统中因其加入量小 。 展开更多
关键词 X射线衍射峰强度 陶瓷系统 BaO-PbO-Nd2O3-Bi2O3-TiO2系 物相 组成 介电性能 研究
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MULTI-PEAK MATCH INTENSITY RATIO METHOD OF QUANTI-TATIVE X-RAY DIFFRACTION PHASE ANALYSIS 被引量:5
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作者 G. Chu, Y.F. Cong and H.J. YouResearch Center of Analysis and Test, Liaoning University of Petroleum & Chemical Technology, Fushun 113001, China 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第6期489-494,共6页
A new method for quantitative phase analysis is proposed by using X-ray diffraction multi-peak match intensity ratio. This method can obtain the multi-peak match intensity ratio among each phase in the mixture sample ... A new method for quantitative phase analysis is proposed by using X-ray diffraction multi-peak match intensity ratio. This method can obtain the multi-peak match intensity ratio among each phase in the mixture sample by using all diffraction peak data in the mixture sample X-ray diffraction spectrum and combining the relative intensity distribution data of each phase standard peak in JCPDS card to carry on the least square method regression analysis. It is benefit to improve the precision of quantitative phase analysis that the given single line ratio which is usually adopted is taken the place of the multi-peak match intensity ratio and is used in X-ray diffraction quantitative phase analysis of the mixture sample. By analyzing four-group mixture sample, adopting multi-peak match intensity ratio and X-ray diffraction quantitative phase analysis principle of combining the adiabatic and matrix flushing method, it is tested that the experimental results are identical with theory. 展开更多
关键词 X-ray diffraction multi-peak match intensity ratio quantitative phase analysis
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一种电子陶瓷的分析方法
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作者 李小图 孙济洲 +1 位作者 吴霞宛 王洪儒 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期549-553,共5页
对五元系统BaO PbO Nd2 O3 Bi2 O3 TiO2 进行X 射线粉末衍射分析确定系统的主次晶相分别为BaNd2 TiO14 和Bi4Ti3 O12 。用X射线衍射峰强度计算出系统中各物相的体积百分数 ,代入李赫德涅凯对数混合定则 ,定量计算出的系统介电性能与... 对五元系统BaO PbO Nd2 O3 Bi2 O3 TiO2 进行X 射线粉末衍射分析确定系统的主次晶相分别为BaNd2 TiO14 和Bi4Ti3 O12 。用X射线衍射峰强度计算出系统中各物相的体积百分数 ,代入李赫德涅凯对数混合定则 ,定量计算出的系统介电性能与用仪器实测的相符。结果表明对于X射线衍射强度可以定量表征系统介电性能的材料 ,可以根据所需的性能指标利用李氏定则确定系统成分配比 ,从而可以作为电子陶瓷材料设计改进的依据。 展开更多
关键词 BaO-PbO-Nd203-Bi203-Ti02系统 X-射线衍射强度 李赫德涅凯对数混合定则
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钡铝钕铋钛系相结构与电性能的定量关系
10
作者 吴霞宛 李小图 +3 位作者 李玲霞 郝建民 王希忠 王崇峰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第4期302-305,共4页
以 Ba O- Pb O- Nd2 O3- Bi2 O3- Ti O2 五元系的烧结介质瓷为研究对象探讨化合物相与介电性能的定量关系。系统的主次晶相分别为 Ba Nd2 Ti5O1 4和 Bi4 Ti3O1 2 。对系统进行 X-射线分析 ,用 X-射线衍射峰强度计算出系统中各物相的体... 以 Ba O- Pb O- Nd2 O3- Bi2 O3- Ti O2 五元系的烧结介质瓷为研究对象探讨化合物相与介电性能的定量关系。系统的主次晶相分别为 Ba Nd2 Ti5O1 4和 Bi4 Ti3O1 2 。对系统进行 X-射线分析 ,用 X-射线衍射峰强度计算出系统中各物相的体积分数 ,再运用李赫德涅凯对数混合定则进行定量计算 ,得出系统的介电性能与用仪器实测的系统参数相符。在本研究系统中 ,X-衍射射线分析可以测定和定量表征烧结介质瓷中化合物相含量 ,经过对系统中各化合物的介电性能测定 ,可计算出所研究系统的介电性能 ,从而可作为一种介质的设计方法。 展开更多
关键词 陶瓷 钡铝钕铋系 相结构 电性能
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一种设计无机介质材料介电性能的新方法
11
作者 李玲霞 吴霞宛 +1 位作者 张志萍 王洪儒 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2001年第6期18-20,17,共4页
选用低介电常数的无机介质材料ZnO -B2 O3-SiO2 三元系统 ,进行了XRD和介电性能定量关系的研究 ,系统的主、次晶相为SiO2 、Zn2 SiO4 相。调整各组分 ,获得了超低介电常数的介质陶瓷 ,其介电性能为 :ε≈ 5 ,tgδ≤ 5× 10 -4 ,αc... 选用低介电常数的无机介质材料ZnO -B2 O3-SiO2 三元系统 ,进行了XRD和介电性能定量关系的研究 ,系统的主、次晶相为SiO2 、Zn2 SiO4 相。调整各组分 ,获得了超低介电常数的介质陶瓷 ,其介电性能为 :ε≈ 5 ,tgδ≤ 5× 10 -4 ,αc≤ 0± 30ppm/℃ ,IR≥ 10 12 Ω ,烧结温度为 1140℃。通过对系统所进行的X 射线衍射分析 ,探讨了用X 射线衍射峰强度计算各物相含量的方法 ,并代入李赫德涅凯对数混合定则 ,计算出系统的介电性能 。 展开更多
关键词 ZnO-B2O3-SiO2系统 超低介电常数 X-射线衍射分析 衍射峰强度 介电性能 功能陶瓷 无机介质材料
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