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题名金刚石丸片与固结磨料抛光垫研磨硅片的比较研究
被引量：4
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作者
樊吉龙
朱永伟
李军
李茂
叶剑锋
左敦稳
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机构
南京航空航天大学机电学院
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出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1253-1257,共5页
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基金
国家自然科学基金(No.50905086)
南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目资助(NS2010127)
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文摘
采用金刚石丸片和固结磨料抛光垫两种方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)为指标对金刚石丸片和固结磨料抛光垫的研磨性能进行了评价。结果表明:固结磨料抛光垫研磨硅片的材料去除率高于金刚石丸片;研磨后硅片的表面粗糙度也优于金刚石丸片,且表面粗糙度(Sa)在中部和边缘相差不大。最后分析了研磨硅片的产物-磨屑的形状特征,得出固结磨料抛光垫研磨硅片时的塑性去除量远高于金刚石丸片。
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关键词
固结磨料研磨
金刚石丸片
材料去除速率
表面粗糙度
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Keywords
fixed-abrasive lapping
diamond pellets
material removal rate
surface roughness
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分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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题名光学玻璃加工后的表面结构研究
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作者
邬列恭
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机构
昆明市云南光学仪器厂
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
1991年第2期13-16,共4页
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文摘
本文采用了散粒磨料(SiC)和固着磨料(金刚石丸片)加工了八种光学玻璃后,在电子显微镜下观察加工表面,发现玻璃表面层的裂纹有别于传统的网状结构,而是呈现出片状叠加状态。这一发现将有助于光学加工研磨机理的深入研究,正确测定破坏层的深度,合理确定光学玻璃冷加工中各工序间余量。
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关键词
光学玻璃
散粒磨料
固着磨料
加工
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Keywords
loose abrasive, fixed abrasive diamond pellet, network structure, slice-shaped and overlapped structure
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分类号
TQ171.734
[化学工程—玻璃工业]
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题名光学超精磨片结合剂树脂及其形态的选择
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作者
侯瑞祥
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机构
江南光电(集团)股份公司
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
1995年第6期4-6,共3页
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文摘
本文介绍了选用单组份环氧树脂、热塑性酚醛树脂并添加适量的缩醛树脂配制成树脂溶液的形态作为结合剂，制作光学超精磨片。采用冷压成型和后固化处理的加工方法，较好的满足了光学超精磨片的成型性能和工艺性能要求。
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关键词
光学加工
超精磨片
环氧树脂
结合剂
树脂
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Keywords
optics working,optics diamond fining pellets,epoxy resin,phenol formaldehyde resin.
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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