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光学光刻中的离轴照明技术 被引量：22
1
作者 郭立萍 黄惠杰 王向朝 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期23-25,共3页
本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较 ,并用Prolith仿真软件进行了模拟分析。研究表明 ,离轴照明是一种很有效的光刻分辨率增强技术。
关键词 光学光刻 离轴照明 分辨率 焦深 Profith仿真
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一种基于OTF稳定性的波前编码相位板优化方法 被引量：9
2
作者 张文字 陈燕萍 +2 位作者 赵廷玉 叶子 余飞鸿 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2017-2021,共5页
提出了一种简单的可用于光学系统中子午弧矢方向白光OTF稳定性评价的波前编码相位板参量优化方法.该方法仅以标准偏差来评价OTF在目标景深范围内的稳定性,并且结合自适应模拟退火算法在参量空间内优化得到相位板的最佳参量.使用该方法... 提出了一种简单的可用于光学系统中子午弧矢方向白光OTF稳定性评价的波前编码相位板参量优化方法.该方法仅以标准偏差来评价OTF在目标景深范围内的稳定性,并且结合自适应模拟退火算法在参量空间内优化得到相位板的最佳参量.使用该方法优化得到的相位板参量,可以大幅度提高光学系统的景深,并且可以获得更为清晰、稳定的成像.对应用波前编码技术前后光学系统的成像性能作了比较,并且考察了优化参量的容差性. 展开更多
关键词 波前编码 相位板 景深 光学传递函数稳定性 自适应模拟退火 优化
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波前编码系统的新设计 被引量：8
3
作者 雷广智 张新 +3 位作者 张建萍 杨皓明 何锋贇 张欣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1171-1176,共6页
利用传统光学系统评价指标斯特利尔比和能量集中度来表征波前编码系统的成像特征,建立了系统"离焦不敏感性"的评价函数。采用所建立的评价函数设计了应用波前编码技术的三片式系统,系统焦深比原系统扩展10×以上。结果表... 利用传统光学系统评价指标斯特利尔比和能量集中度来表征波前编码系统的成像特征,建立了系统"离焦不敏感性"的评价函数。采用所建立的评价函数设计了应用波前编码技术的三片式系统,系统焦深比原系统扩展10×以上。结果表明:新设计方法使得波前编码系统设计得以在流行的光学设计软件CODE Ⅴ、zemax中实现,并可以很方便地控制"离焦不敏感性"和"图像可恢复性"之间的平衡,解决了目前波前编码系统设计时没有现成软件,没有成熟方法的问题。 展开更多
关键词 焦深 波前编码 相位板 优化设计
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数字全息成像系统的景深和焦深分析 被引量：6
4
作者 王华英 宋修法 +2 位作者 赵洁 王广俊 王大勇 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1406-1411,共6页
根据全息理论,分析了数字全息成像系统的景深和焦深.针对数字全息不同的记录光路结构,分别给出了焦深的近似表达式.结果表明:数字全息系统的景深和焦深不仅与记录波长以及记录时的数值孔径有关,还与记录时参考光波的偏置情况有关;在记... 根据全息理论,分析了数字全息成像系统的景深和焦深.针对数字全息不同的记录光路结构,分别给出了焦深的近似表达式.结果表明:数字全息系统的景深和焦深不仅与记录波长以及记录时的数值孔径有关,还与记录时参考光波的偏置情况有关;在记录距离和CCD参量一定的条件下,离轴无透镜傅里叶变换全息对称偏置下的焦深比非对称偏置下的稍小;显微成像情况下离轴无透镜傅里叶变换全息系统的焦深大于同轴菲涅耳数字全息系统的焦深,计算机模拟表明了结果的正确性. 展开更多
关键词 数字全息 景深 焦深
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波前编码技术扩展焦深的系统实验 被引量：6
5
作者 张欣 张新 +1 位作者 张建萍 何锋赟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期536-543,共8页
为了扩大光学系统的焦深,建立了采用波前编码技术的光学/数字一体化系统,通过在普通光学系统孔径光阑处加入一个位相掩模板和后期数字处理的优化结合,实现了光学系统焦深的大幅扩展。介绍了波前编码技术的提出、发展及理论基础,设计了... 为了扩大光学系统的焦深,建立了采用波前编码技术的光学/数字一体化系统,通过在普通光学系统孔径光阑处加入一个位相掩模板和后期数字处理的优化结合,实现了光学系统焦深的大幅扩展。介绍了波前编码技术的提出、发展及理论基础,设计了一个三片式的三次位相板系统,利用光学设计软件CODEV对传统系统和波前编码系统的成像特性进行了对比分析,给出了±40倍离焦范围内的点扩散函数三维轮廓图和调制传递函数曲线。最后,对研制的系统进行成像实验,并对波前编码系统解码前后的成像效果与传统系统进行了比较。实验结果表明,与传统系统相比,所设计的波前编码系统可以在保持光通量和像面分辨率的情况下将焦深扩展40倍。 展开更多
关键词 波前编码 焦深 三次位相板 数字处理
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变焦光学系统的景/焦深延拓及其分析 被引量：7
6
作者 郭小虎 赵辰霄 +4 位作者 周平 田继文 赵骥 王福鹏 张文 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期263-268,共6页
变焦光学系统在连续变焦过程中,由于变焦曲线的计算和加工精度,导致实际像面离焦,成像质量下降。变焦系统的特点是长焦距对应窄视场,短焦距对应宽视场。将波前编码技术应用于变焦系统,在系统的光瞳面设置相位掩模,则扩展了原系统的焦深... 变焦光学系统在连续变焦过程中,由于变焦曲线的计算和加工精度,导致实际像面离焦,成像质量下降。变焦系统的特点是长焦距对应窄视场,短焦距对应宽视场。将波前编码技术应用于变焦系统,在系统的光瞳面设置相位掩模,则扩展了原系统的焦深和景深,使调制传递函数对离焦不敏感,同时提高短焦距宽视场的边缘成像质量。文章对原系统和应用波前编码技术的新系统的成像特性进行了分析和对比,随后讨论了掩模板的相位因子对系统的景深、焦深延拓以及对像质的稳定作用。仿真显示:变焦波前编码光学系统对离焦不敏感,可以很好地扩大系统的焦深和景深、稳定边缘视场的像质,具有很高的实用价值。 展开更多
关键词 景深延拓 变焦光学系统 焦深 调制传递函数 点扩散函数
原文传递
应用波前编码技术的离轴三反系统的设计及其分析 被引量：7
7
作者 闫锋 张学军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第6期1048-1052,共5页
波前编码技术是一种新兴的"光学-数字"一体化成像技术,可以在保持光学系统相对孔径不变的情况下扩展其焦深,并控制与离焦有关的像差。这一特性使得该技术在空间相机上的应用有着广阔的前景。讨论了波前编码技术在空间用离轴... 波前编码技术是一种新兴的"光学-数字"一体化成像技术,可以在保持光学系统相对孔径不变的情况下扩展其焦深,并控制与离焦有关的像差。这一特性使得该技术在空间相机上的应用有着广阔的前景。讨论了波前编码技术在空间用离轴三反光学系统上的应用,通过建立以次镜为波前编码元件的过渡模型给出了光学设计的结果,并以调制传递函数(MTF)为评价尺度对传统系统和应用波前编码技术的新系统的成像特性进行了对比;同时讨论了焦深扩展因子对系统焦深扩展程度以及成像质量的影响。分析结果证明了波前编码技术在空间光学系统上的巨大应用价值。 展开更多
关键词 波前编码 次镜 焦深 光瞳函数 MTF
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多焦点人工晶状体眼假性调节幅度的研究 被引量：7
8
作者 张国亮 赵云娥 +1 位作者 王勤美 晋秀明 《眼视光学杂志》 2006年第5期315-317,共3页
目的研究多焦点人工晶状体眼的假性调节。方法分别对19例30眼(多焦点植入组)和20例30眼(单焦点植入组)进行单眼近附加以及最佳矫正近视力、假性调节幅度和焦点深度检查。结果多焦点组和单焦点组单眼近附加分别为(1.99±0.27)DS和(1.... 目的研究多焦点人工晶状体眼的假性调节。方法分别对19例30眼(多焦点植入组)和20例30眼(单焦点植入组)进行单眼近附加以及最佳矫正近视力、假性调节幅度和焦点深度检查。结果多焦点组和单焦点组单眼近附加分别为(1.99±0.27)DS和(1.89±0.24)DS,差异无显著性(P>0.05)。近附加后两组单眼假性调节幅度分别为(1.20±0.36)DS和(1.23±0.29)DS,差异无显著性(P>0.05)。多焦点组能提供更广阔的焦点深度范围,为-3.50^+1.50 DS,单焦点组为-1.50^+1.00 DS,两者差异有显著性(P<0.05)。结论选择视远光学区进行附加时,多焦点组人工晶状体眼的假性调节幅度和单焦点组无明显差异。多焦点人工晶状体具有比单焦点人工晶状体更广阔的焦点深度范围。 展开更多
关键词 晶体 多焦点 人工 假性调节 焦点深度
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谱域光学相干层析系统深度扩展技术研究
9
作者 舒宇康 赵潮 +4 位作者 杜小玉 何湘 赵航 史晓凤 马君 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期266-275,共10页
对谱域光学相干层析系统(SD-OCT)进行成像深度扩展,能清晰地探测到更深层次的样品信息。提出结合去除复共轭镜像和焦平面叠加的方法来提高探测深度。首先通过光束偏移振镜中心,对样品添加载波频率,基于希尔伯特变换滤除负频信号,去除复... 对谱域光学相干层析系统(SD-OCT)进行成像深度扩展,能清晰地探测到更深层次的样品信息。提出结合去除复共轭镜像和焦平面叠加的方法来提高探测深度。首先通过光束偏移振镜中心,对样品添加载波频率,基于希尔伯特变换滤除负频信号,去除复共轭镜像,再对样品不同深度聚焦成像,实现聚焦平面的叠加,最终扩展成像深度。基于去复共轭成像系统测量不同样品的图像,验证了该方法的有效性和可靠性。针对透明片材料,系统有效成像范围扩大一倍,从1.97 mm达到3.94 mm,针对结肠组织,有效成像深度从0.51 mm扩展到0.65 mm。结果表明,深度扩展技术能够提升成像范围,同时也突破了焦深限制,样品深层结构信息也清晰可见。 展开更多
关键词 光学相干层析 深度扩展 复共轭镜像 焦深
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非制冷型红外双波段连续变焦光学系统设计 被引量：6
10
作者 刘钧 鲁茜倩 《西安工业大学学报》 CAS 2016年第6期436-445,共10页
为了满足同步观测、跟踪,同时探测红外中/长波两个波段信息的目标,文中采用共口径方式将红外中/长双波段融合到同一个光路中,设计了一款非制冷型大变倍比红外双波段连续变焦光学系统,引入衍射面和偶次非球面,进行像差校正,选择机械负组... 为了满足同步观测、跟踪,同时探测红外中/长波两个波段信息的目标,文中采用共口径方式将红外中/长双波段融合到同一个光路中,设计了一款非制冷型大变倍比红外双波段连续变焦光学系统,引入衍射面和偶次非球面,进行像差校正,选择机械负组补偿方式进行变焦.通过光学被动式消热差方式,匹配材料及分配透镜光焦度,对双波段红外光学系统在-40^+60℃温度范围内进行了消热差设计,并对系统的像质进行了分析.研究结果表明:在不同温度,系统在两个波段下,各个视场内调制传递函数在奈奎斯特频率为20lp·mm^(-1)处均接近衍射极限,系统整体无温度离焦,像面稳定,像质良好,结构紧凑,满足使用要求. 展开更多
关键词 红外双波段 连续变焦 共口径 被动式消热差 焦深
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可变光阑对焦深影响的探究
11
作者 石琛琛 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期116-121,共6页
传统的标量光场其偏振态空间均匀分布,而矢量光场相较于标量光场其偏振态是空间变化的。这个空域变化的偏振特性使得矢量光场具有更大的调控自由度,在焦场设计、光学微操纵、微加工、以及量子信息领域有着潜在的应用。本文基于Richards-... 传统的标量光场其偏振态空间均匀分布,而矢量光场相较于标量光场其偏振态是空间变化的。这个空域变化的偏振特性使得矢量光场具有更大的调控自由度,在焦场设计、光学微操纵、微加工、以及量子信息领域有着潜在的应用。本文基于Richards-Wolf矢量衍射理论,研究了可变光阑以及透镜数值孔径对双环角向偏振光束聚焦特性的影响。结果表明,通过改变光阑大小以及透镜数值孔径,不仅可以改变焦斑光强、焦斑大小,也可以显著改变焦场暗通道的长度,从而生成较长的暗通道。生成的可变焦场暗通道未来可用于光学微操纵以及微加工的应用中。 展开更多
关键词 Richards-Wolf积分 双环角向偏振光束 焦深 拉盖尔高斯光束
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凹透镜焦距测量中的景深和误差分析 被引量：5
12
作者 黄志平 陈志华 +1 位作者 冯卓宏 郑卫峰 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2013年第10期21-24,共4页
通过分析景深、位置测量的随机误差与凹透镜焦距测量值的关系建立了数学模型,并推导出相应的函数关系,总结了影响凹透镜焦距测量值的因素。通过理论分析发现,选择凸透镜的物距大于2倍的凸透镜焦距使得虚物为小像较为合适,然后选择较大... 通过分析景深、位置测量的随机误差与凹透镜焦距测量值的关系建立了数学模型,并推导出相应的函数关系,总结了影响凹透镜焦距测量值的因素。通过理论分析发现,选择凸透镜的物距大于2倍的凸透镜焦距使得虚物为小像较为合适,然后选择较大的虚物物距可以减小焦距的测量误差。在仪器调节方面,给出不同操作方式中景深和位置测量误差对焦距测量值范围的影响,发现通过固定凸透镜和像屏而移动凹透镜的操作方式更容易获得清晰的再次成像,这有利于实验中提高凹透镜焦距测量的精度。 展开更多
关键词 凹透镜 焦距 景深 误差分析
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数字微镜器件在会聚成像光路中的像差分析 被引量：5
13
作者 孙永强 胡源 +2 位作者 王月旗 王祺 付跃刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期144-149,共6页
数字微镜器件(DMD)应用于会聚成像光路中时,其表面微镜绕各自旋转轴做偏转运动,且微镜相对平面反射镜呈非连续分布,这导致了经过DMD反射后的光束轴外视场主光线与轴上视场主光线存在光程差。利用几何光学和像差理论,在基于DMD的会聚成... 数字微镜器件(DMD)应用于会聚成像光路中时,其表面微镜绕各自旋转轴做偏转运动,且微镜相对平面反射镜呈非连续分布,这导致了经过DMD反射后的光束轴外视场主光线与轴上视场主光线存在光程差。利用几何光学和像差理论,在基于DMD的会聚成像光路中得到了DMD面上的像高、光线入射角度、DMD像素大小及偏转角与最终光程差之间的关系。分析了影响光学系统像质的因素及补偿方法,并通过仿真模拟和实验验证了理论的正确性。该研究结果对采用DMD器件的光学系统设计和装调均具有重要意义。 展开更多
关键词 成像系统 成像分析 光程差 数字微镜器件 焦深
原文传递
先进光刻中的聚焦控制预算(I)-光路部分 被引量：3
14
作者 钟志坚 李琛毅 +2 位作者 李世光 郭磊 韦亚一 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期1104-1119,共16页
随着大规模集成电路芯片制造的技术节点不断缩小,光刻机的聚焦控制变得尤为困难。为了保证硅片曝光的质量,需要快速、准确地将硅片在几十纳米的聚焦深度范围(DOF)内进行快速调整。因此,需要仔细分析光刻过程中导致焦点偏移或工艺窗口变... 随着大规模集成电路芯片制造的技术节点不断缩小,光刻机的聚焦控制变得尤为困难。为了保证硅片曝光的质量,需要快速、准确地将硅片在几十纳米的聚焦深度范围(DOF)内进行快速调整。因此,需要仔细分析光刻过程中导致焦点偏移或工艺窗口变化的各种因素,制定合理的聚焦控制预算,将各种误差因素控制在一定范围内。本文聚焦极紫外(EUV)光刻,综述包含EUV在内的先进光刻机中光路部分对聚焦控制有影响的各种因素,总结它们产生的原理及仿真、实验结果,为开展先进光刻聚焦控制预算研究提供参考。 展开更多
关键词 聚焦控制 光刻 预算 最佳焦点 聚焦深度 工艺窗口
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部分相干光倾斜照明成像研究 被引量：4
15
作者 罗先刚 陈旭南 姚汉民 《微细加工技术》 1997年第4期55-62,共8页
本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理．建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟计算．对模拟结果作了分析比较。结果表明，用二元光栅照明较好，既能较大程度提高投影光刻曝光系统的... 本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理．建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟计算．对模拟结果作了分析比较。结果表明，用二元光栅照明较好，既能较大程度提高投影光刻曝光系统的分辨力及焦深，又能克服其他照明方式的能量利用率低等缺点。 展开更多
关键词 二元光栅照明 部分相干成像 VLSI 光刻机
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聚焦深度及偏转角度对超声相控阵检测定量和定位的影响
16
作者 张新雷 《焊管》 2023年第11期39-43,49,共6页
聚焦与偏转是超声相控阵声场区别于普通超声声场的两大特性,为研究聚焦深度和偏转角度对超声相控阵检测结果的影响,通过设置比较试验,以不同深度的横通孔模拟缺陷,分析了不同聚焦深度以及带楔块偏转角度对超声相控阵检测定量和定位的影... 聚焦与偏转是超声相控阵声场区别于普通超声声场的两大特性,为研究聚焦深度和偏转角度对超声相控阵检测结果的影响,通过设置比较试验,以不同深度的横通孔模拟缺陷,分析了不同聚焦深度以及带楔块偏转角度对超声相控阵检测定量和定位的影响。结果表明,当带楔块偏转角度较大时,超声相控阵检测对于缺陷的定位会产生较大偏差;对于聚焦深度附近范围内缺陷检测,其定位误差较小。而由于经过了TCG校准,不同聚焦深度和不同偏转角度下超声相控阵检测对于缺陷的定量基本保持一致,但在非校准孔深度处检测的横通孔当量会略低于校准孔深度处检测的横通孔当量。 展开更多
关键词 超声相控阵 聚焦深度 偏转角度 定量和定位 TCG校准
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光刻机曝光光学中的概念辨析 被引量：4
17
作者 严利人 《微细加工技术》 2003年第2期29-33,共5页
归纳解释了光刻机曝光光学中的若干重要概念,例如分辨率、焦深等,详细地阐述了光刻机曝光的原理。考虑到类似概念在不同系统中的含义差别,进行了针对性的辨析。从物理光学层次了解和掌握光刻机曝光的机理。
关键词 光刻机 曝光 分辨率 焦深 概念 原理
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2012年11月广西柳州北3级地震序列地震活动特征分析 被引量：4
18
作者 郭培兰 龙政强 《华南地震》 2016年第2期25-31,共7页
2012年10月29日至2013年3月20日,在广西桂北地区发生了柳州北显著序列活动,共记录地震38次,其中_~2.9级3次,3.0~3.9级3次。对此次地震序列的震害特点、宏观异常现象、地质构造位置、空间分布范围、震源机制解、应力降、波速比、震区3级... 2012年10月29日至2013年3月20日,在广西桂北地区发生了柳州北显著序列活动,共记录地震38次,其中_~2.9级3次,3.0~3.9级3次。对此次地震序列的震害特点、宏观异常现象、地质构造位置、空间分布范围、震源机制解、应力降、波速比、震区3级地震成组活动特点以及区域地震活动水平进行分析,认为柳州北地震序列属于高应力背景下的地震活动,是区域地震活动增强的延续,对2013年2月20日平果4.5级地震的发生具有一定的前兆意义。分析结果对正确了解此次地震序列的特征、成因、正确判断未来地震趋势具有较高的帮助作用。 展开更多
关键词 地震序列 震源机制解 应力降 震源深度 柳州北
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双光源虹膜防散焦成像及特征增强方法
19
作者 王晟轶 韩源平 《计算机工程与设计》 北大核心 2023年第6期1775-1780,共6页
为解决特征图像采集过程中的散焦和图像增强问题,研究基于光斑特征分析的自适应图像复原和增强方法,提出一种基于光斑点的人机交互和图像复原解决方案。在不改变成像系统技术结构、不提高成本的前提下,显著降低散焦程度,清除散焦对图像... 为解决特征图像采集过程中的散焦和图像增强问题,研究基于光斑特征分析的自适应图像复原和增强方法,提出一种基于光斑点的人机交互和图像复原解决方案。在不改变成像系统技术结构、不提高成本的前提下,显著降低散焦程度,清除散焦对图像质量的影响;利用约束最小二乘滤波器进行散焦图像的进一步复原,得到有效的适用于编码和识别的排序测度特征。实验结果表明,该方法可以大幅度提升成像图像质量,在增强编码处理后,提供优质的虹膜特征数据,为下一步虹膜图像编码和识别提供支撑。 展开更多
关键词 生物特征 身份认证 虹膜图像编码 散焦 景深 特征增强 交互接口
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百万像素照相手机CMOS模组调焦方法的探讨 被引量：3
20
作者 朱建新 吴国诚 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期437-439,共3页
简要介绍了CMOS模组调焦的基本原理。在分析传统调焦方法的基础上,提出了用双光源标板进行调焦的新方法,同时测量CMOS中心像场近距离和无穷远处的MTF,调节镜头和CMOS的相对位置使两处的MTF相等时的位置为最佳对焦位置,实验结果证明该方... 简要介绍了CMOS模组调焦的基本原理。在分析传统调焦方法的基础上,提出了用双光源标板进行调焦的新方法,同时测量CMOS中心像场近距离和无穷远处的MTF,调节镜头和CMOS的相对位置使两处的MTF相等时的位置为最佳对焦位置,实验结果证明该方法调焦范围分布窄、调焦精准、检查位置设置合理。对百万像素照相手机CMOS模组调焦、检测有较大的实用价值。 展开更多
关键词 CMOS模组 焦深 调焦 双光源标板
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