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硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响 被引量：4
1
作者 史冰川 董俊 +3 位作者 李昆 黄磊 亢若谷 邱建备 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期513-516,485,共5页
本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,... 本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。 展开更多
关键词 硅芯 杂质分凝 杂质挥发 坩埚污染
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真空感应熔炼过程炉衬材料向钢液供氧现象的研究 被引量：15
2
作者 薛正良 高俊波 +2 位作者 齐江华 李正邦 张家雯 《特殊钢》 北大核心 2005年第1期6-8,共3页
通过 5 0kg镁砂坩埚和 2 5kg氧化钙砂坩埚真空感应炉进行了真空熔炼过程炉衬耐火材料向钢液供氧试验 ,以研究炉衬耐火材料向钢液供氧的基本规律和影响炉衬向钢液供氧的主要因素。试验结果表明 ,在超低氧范围内对钢液进行深度脱氧时 ,避... 通过 5 0kg镁砂坩埚和 2 5kg氧化钙砂坩埚真空感应炉进行了真空熔炼过程炉衬耐火材料向钢液供氧试验 ,以研究炉衬耐火材料向钢液供氧的基本规律和影响炉衬向钢液供氧的主要因素。试验结果表明 ,在超低氧范围内对钢液进行深度脱氧时 ,避免炉衬分解对钢液供氧是进一步脱氧的关键 ;在 0 5～ 10Pa的真空下 ,随真空度和熔池钢水温度升高 ,炉衬分解向熔池供氧增加 ,并且钢中最终氧含量随钢液碳烧损量的增加而增加 ;镁砂炉衬向钢液的供氧量大于氧化钙炉衬向钢液的供氧量。 展开更多
关键词 钢液 炉衬材料 真空感应熔炼 脱氧 钢水温度 真空感应炉 真空熔炼 熔池 坩埚 氧含量
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TiFe基储氢合金的CaZrO_3坩埚制备及储氢性能 被引量：3
3
作者 杨波 朱凯亮 +4 位作者 鲁雄刚 李志林 吴铸 吴广兴 李重河 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期849-856,共8页
针对石墨坩埚熔炼TiFe合金增碳的缺点,对三高石墨坩埚和CaZrO3坩埚真空感应熔炼TiFe基储氢合金进行了对比研究.用ICP原子发射光谱仪分析合金的化学成分,并用Leca金相显微镜、SEM、XRD分析其金相组织、表面形貌、微区元素分布和物相结构... 针对石墨坩埚熔炼TiFe合金增碳的缺点,对三高石墨坩埚和CaZrO3坩埚真空感应熔炼TiFe基储氢合金进行了对比研究.用ICP原子发射光谱仪分析合金的化学成分,并用Leca金相显微镜、SEM、XRD分析其金相组织、表面形貌、微区元素分布和物相结构,测定了合金的吸放氢PCT曲线.结果表明,两种坩埚熔炼TiFe合金的氧含量相当且未见增碳,但三高石墨坩埚熔炼合金的碳含量为0.220%(ω),超过0.1%(ω)的技术要求;其次CaZrO3坩埚熔炼合金具有枝晶组织,而后者熔炼合金则由层片状结构的等轴晶组织和沿晶界或在晶粒内分布的球形TiC颗粒构成;经CaZrO3坩埚和三高石墨坩埚熔炼合金的最大吸氢量分别为1.823%(ω)和1.832%(ω),即CaZrO3坩埚可代替三高石墨坩埚熔炼制备TiFe储氢合金. 展开更多
关键词 TIFE合金 真空感应熔炼 储氢性能 CaZrO3坩埚 增碳
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