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室温晶片键合界面的弹性理论分析
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作者 陈斌 周震 +1 位作者 黄永清 任晓敏 《光电子技术与信息》 2005年第1期11-14,共4页
利用接触弹性力学的DMT(Derjaguin,Muller,Toporov)理论,考虑晶片表面起伏的随机性,导出了晶片键合的实际接触面积和有效键合能。并对结果进行了数值分析。讨论了影响室温键合强度大小的各种因素。
关键词 室温晶片键合 接触弹性力学 吸附能 表面能
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