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应用离子束进行光学镜面确定性修形的实现 被引量:39
1
作者 戴一帆 周林 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1131-1135,共5页
为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法。介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修形中涉及的关键技术进行了讨论。在自研的离子束修形设备上对一块直径98mm的微晶玻璃平面样件进行了离... 为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法。介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修形中涉及的关键技术进行了讨论。在自研的离子束修形设备上对一块直径98mm的微晶玻璃平面样件进行了离子束修形试验,经过两次的迭代修形使其面形精度均方根误差由初始的0.136λ提高到0.010λ(λ=632.8nm),平均每次迭代的面形收敛率达到3.7。实验结果表明,应用离子束进行光学镜面修形无边缘效应、面形收敛快、加工精度高;由于离子束修形技术去除材料过程自身的特点,使数控离子束修形技术对非球面的加工和对平面的加工难度相当。 展开更多
关键词 光学加工 离子束修形 计算机控制光学表面成形 驻留时间 去除函数
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新型SiC光学材料的制备及应用 被引量:9
2
作者 闫勇 金光 +2 位作者 张雷 王栋 姚劲松 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期145-150,共6页
随着空间成像技术的发展,当今各科技大国均加大了对新型光学材料的制备及应用的研究工作。近年来新近兴起的新型SiC材料因其良好的热稳定性、高比刚度、低密度、易于轻量化等优点,而成为未来空间相机主光学成像元件的首选材料。本文结... 随着空间成像技术的发展,当今各科技大国均加大了对新型光学材料的制备及应用的研究工作。近年来新近兴起的新型SiC材料因其良好的热稳定性、高比刚度、低密度、易于轻量化等优点,而成为未来空间相机主光学成像元件的首选材料。本文结合当前国内外SiC材料研究进展,介绍了新型SiC光学材料常用的几种制备技术及相关应用,对其制备方法和加工工艺进行了系统的阐述和总结,重点介绍了SiC材料与常规玻璃材料加工的不同之处,并对比了国内外的加工情况及我国目前SiC材料加工现状。从当前新型SiC加工情况看,SiC加工采用的数控光学加工技术CCOS大大提高了SiC材料的加工效率和加工精度,具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 空间成像 SiC光学材料 制备及应用 数控光学加工技术
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非球面碳化硅反射镜的加工与检测 被引量:7
3
作者 张峰 范镝 +3 位作者 李锐刚 郑立功 高劲松 张学军 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第6期1004-1008,共5页
为了获得高精度非球面碳化硅(SiC)反射镜,对非球面碳化硅反射镜基底以及改性后碳化硅反射镜表面的加工与检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ-2非球面数控加工设备。采用轮廓检测法和零位补偿干涉... 为了获得高精度非球面碳化硅(SiC)反射镜,对非球面碳化硅反射镜基底以及改性后碳化硅反射镜表面的加工与检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ-2非球面数控加工设备。采用轮廓检测法和零位补偿干涉检测法分别对碳化硅反射镜研磨和抛光阶段的面形精度进行了检测,并采用零位补偿干涉检测法及表面粗糙度测量仪对最终加工完毕的碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度进行检测。测量结果表明:各项技术指标均满足设计要求,其中非球面碳化硅(SiC)反射镜实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.632 8μm),表面粗糙度(RMS值)为0.85 nm。 展开更多
关键词 非球面 碳化硅反射镜 计算机控制光学表面成型 表面改性
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大口径离轴非球面碳化硅反射镜的加工 被引量:3
4
作者 张峰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第B12期168-172,共5页
为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜,提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离轴非球面碳化硅反射镜加工工艺规范。采用Ultrasonic 100^-5数控加工机床直接将Φ600 mm碳化硅反射镜... 为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜,提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离轴非球面碳化硅反射镜加工工艺规范。采用Ultrasonic 100^-5数控加工机床直接将Φ600 mm碳化硅反射镜铣磨成离轴非球面,铣磨后反射镜面形精度的峰谷(PV)值为17.17 μm。利用计算机控制光学表面成型(CCOS)技术对离轴非球面碳化硅反射镜进行研磨和粗抛光,使其面形精度的均方根(RMS)值达到0.102λ(λ=0.6328 μm)。采用离子束辅助沉积(IBAD)表面改性技术在粗抛光后离轴非球面碳化硅反射镜表面镀制一层厚度约10 μm的硅改性层,并利用先进的离子束抛光(IBF)技术对表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行精密抛光。最终离轴非球面碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度的RMS值分别达到0.018λ和0.6968 nm。加工结果表明提出的加工工艺规范完备,适用于离轴非球面碳化硅反射镜的加工。 展开更多
关键词 光学加工 离轴非球面碳化硅反射镜 铣磨 计算机控制光学表面成型 表面改性 离子束抛光
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八角形离轴非球面反射镜加工
5
作者 张峰 《光机电信息》 2010年第12期62-67,共6页
为了加工出高精度八角形离轴非球面反射镜,对离轴非球面反射镜的数控加工和检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ非球面数控加工中心,对数控加工过程中小磨头的运动方式和运动轨迹进行了研究,阐述... 为了加工出高精度八角形离轴非球面反射镜,对离轴非球面反射镜的数控加工和检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ非球面数控加工中心,对数控加工过程中小磨头的运动方式和运动轨迹进行了研究,阐述了离轴非球面反射镜研磨阶段的轮廓测量方法和抛光阶段的零位补偿检测方法,采用数控加工方法对一块八角形离轴非球面反射镜进行了加工。最终的检测结果表明,八角形离轴非球面反射镜的面形精度均方根值为0.018λ(λ=0.6328μm),满足光学设计技术指标要求。 展开更多
关键词 八角形离轴非球面 计算机控制光学表面成型 轮廓测量 零位补偿检测
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高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测 被引量:32
6
作者 张峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2557-2563,共7页
为了提高离轴凸非球面反射镜的面形精度和光轴精度,研究了离轴凸非球面反射镜的加工与检测技术。首先,描述了离轴三反消像散(TMA)光学系统以及作为该光学系统次镜的离轴凸非球面反射镜的光学参数和技术指标。然后,介绍了非球面计算机控... 为了提高离轴凸非球面反射镜的面形精度和光轴精度,研究了离轴凸非球面反射镜的加工与检测技术。首先,描述了离轴三反消像散(TMA)光学系统以及作为该光学系统次镜的离轴凸非球面反射镜的光学参数和技术指标。然后,介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ非球面数控加工设备。最后,给出了非球面研磨阶段检测用的轮廓测量法和离轴凸非球面抛光阶段检测用的背部透射零位补偿检测法,并对背部透射零位补偿检测中离轴凸非球面反射镜光轴精度的控制技术进行了研究。检测结果表明:采用背部透射零位补偿检测法检测得到的离轴凸非球面反射镜的面形精度为0.017λ(均方根值,λ=0.632 8μm);用Leica经纬仪测量反射镜的光轴精度其结果达到9.4″,满足光学设计技术指标要求。 展开更多
关键词 凸离轴非球面 计算机控制光学表面成型 轮廓测量 背部透射零位补偿检测 光轴精度
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表面改性非球面碳化硅反射镜的加工 被引量:17
7
作者 张峰 徐领娣 +2 位作者 范镝 高劲松 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2479-2484,共6页
为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si... 为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si的改性方法。然后,采用氧化铈(CeO2)、氧化铝(Al2O3)以及二氧化硅(SiO2)等各种抛光液对离子束辅助沉积(IBAD)Si的碳化硅样片进行抛光实验。最后,在上述实验的基础上,采用计算机控制光学表面成型(CCOS)技术对尺寸为650mm×200mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工。实验结果表明:CeO2抛光液的抛光效率较高;使用SiO2抛光液抛光后的样片表面质量最好;表面改性离轴非球面碳化硅反射镜加工后的最终检测结果为:实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.6328μm),表面粗糙度为0.85nm(Rq值)。反射镜的加工结果满足设计技术指标的要求。 展开更多
关键词 离轴非球面 碳化硅反射镜 计算机控制光学表面成型 表面改性
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光学抛光中模具磨损的计算机控制补偿 被引量:2
8
作者 吴鸿钟 冯之敬 +1 位作者 赵广木 张云 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第1期71-73,共3页
模具的磨损消耗对计算机控制光学表面的抛光工艺影响甚大 ,但在实际加工中不利于将工艺中断来重新调整加工的零点以对模具的磨损进行补偿。因此本文提出了一个指数形式的模具磨损函数 ,并依此对 Preston方程进行了修正 ,达到了实时补偿... 模具的磨损消耗对计算机控制光学表面的抛光工艺影响甚大 ,但在实际加工中不利于将工艺中断来重新调整加工的零点以对模具的磨损进行补偿。因此本文提出了一个指数形式的模具磨损函数 ,并依此对 Preston方程进行了修正 ,达到了实时补偿模具磨损的目的。通过实验确定了该函数磨损时间常数值并将该方法用于计算机控制的抛光和误差修正。实验证明 。 展开更多
关键词 光学抛光 计算机控制光学表面成形 磨损 计算机控制补偿 模具
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Frequency-domain analysis of computer-controlled optical surfacing processes 被引量:2
9
作者 ZHOU Lin DAI YiFan +1 位作者 XIE XuHui LI ShengYi 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2009年第7期2061-2068,共8页
Mid-high spatial frequency errors are often induced on optical surfaces polished by computer-controlled optical surfacing (CCOS) processes. In order to efficiently remove these errors, which would degrade the performa... Mid-high spatial frequency errors are often induced on optical surfaces polished by computer-controlled optical surfacing (CCOS) processes. In order to efficiently remove these errors, which would degrade the performances of optical systems, the ability of a CCOS process to correct the errors have been investigated based on the convolution integral model in view of the availability of material removal. To quantify the ability, some conceptions, such as figure correcting ability and material removal availability (MRA), have been proposed. The research result reveals that the MRA of the CCOS process to correct a single spatial frequency error is determined by its tool removal function (TRF), and it equals the normalized amplitude spectrum of the Fourier transform of its TRF. Finally, three sine surfaces were etched using ion beam figuring (IBF), which is a typical CCOS process. The experimental results have verified the theoretical analysis. The employed method and the conclusions of this work provide a useful mathematical basis to analyze and optimize CCOS processes. 展开更多
关键词 computer-controlled optical surfacing (CCOS) optics machining tool REMOVAL function (TRF) material REMOVAL availability (MRA) ion beam figuring (IBF)
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计算机控制光学表面成形驻留时间算法研究 被引量:23
10
作者 李全胜 成晔 +2 位作者 蔡复之 冯之敬 张伯鹏 《光学技术》 EI CAS CSCD 1999年第3期56-59,共4页
光学非球面的使用可以提高光学系统的性能、简化系统结构、减小系统体积,减轻系统重量,计算机控制光学表面成形(CCOS)方法是加工光学非球面的重要方法。介绍了CCOS原理,给出了CCOS中关键技术驻留时间计算的三种算法—... 光学非球面的使用可以提高光学系统的性能、简化系统结构、减小系统体积,减轻系统重量,计算机控制光学表面成形(CCOS)方法是加工光学非球面的重要方法。介绍了CCOS原理,给出了CCOS中关键技术驻留时间计算的三种算法———基于加工仿真的算法、基于傅立叶变换的算法和基于滑动平均与傅立叶变换的算法。基于加工仿真的驻留时间算法需要做大量的卷积计算,计算时间较长,残余误差较大;基于傅立叶变换的驻留时间算法与基于滑动平均和傅立叶变换的驻留时间算法计算时间短,计算后的残余误差小。磨头单位去除函数形状与磨头大小对误差的去除也有明显的影响,小的磨头和陡峭的单位去除函数对于去除局部误差更为有利。 展开更多
关键词 计算机控制 光学表面成形 驻留时间算法
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光学镜面离子束加工的可达性 被引量:24
11
作者 周林 戴一帆 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期160-166,共7页
提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但... 提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但是面形误差频率越高,驻留函数解越大,去除面形误差时去除的额外材料越多。额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比(d/λ)的增加而指数增加。当d/λ=0.5时,额外材料去除量为15%,还是可以接受的;当d/λ=1时,额外材料去除量迅速上升到73%,该值即很难被接受。理论分析和仿真结果表明,为了优化加工过程,d/λ应该<0.5。 展开更多
关键词 离子束加工 驻留时间 加工可迭性 光学镜面加工 计算机控制 光学表面成形
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回转对称非球面光学零件磁流变成形抛光的驻留时间算法 被引量:12
12
作者 彭小强 戴一帆 +1 位作者 李圣怡 尤伟伟 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期89-92,共4页
介绍了一种基于代数算法的回转对称非球面计算机控制表面成形的驻留时间算法。该算法将驻留时间转化为工件自转的整数圈数,并且将抛光模对工件的材料去除效率体现到材料去除矩阵上进行计算。利用非负最小二乘法求解驻留时间向量。最后,... 介绍了一种基于代数算法的回转对称非球面计算机控制表面成形的驻留时间算法。该算法将驻留时间转化为工件自转的整数圈数,并且将抛光模对工件的材料去除效率体现到材料去除矩阵上进行计算。利用非负最小二乘法求解驻留时间向量。最后,利用该算法在自研的磁流变抛光实验装置上对一回转对称光学零件进行3次迭代加工,使其面形精度从8μm提高到0.5μm以内。 展开更多
关键词 磁流变抛光 驻留时间 计算机控制表面成形 非球面
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矩形离轴非球面反射镜的数控加工 被引量:12
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作者 郑立功 张学军 张峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期113-117,共5页
针对离轴TMA结构空间相机中使用的两块离轴非球面反射镜的加工过程,提出了一种新型的矩形离轴非球面的最接近球面半径的求解及其优化方法,并且开发了基于计算机虚拟加工技术的CCOS工艺参数计算方法。被加工工件分别为165mm×100mm... 针对离轴TMA结构空间相机中使用的两块离轴非球面反射镜的加工过程,提出了一种新型的矩形离轴非球面的最接近球面半径的求解及其优化方法,并且开发了基于计算机虚拟加工技术的CCOS工艺参数计算方法。被加工工件分别为165mm×100mm的矩形凸面离轴非球面和770mm×200mm的矩形轻量化凹面离轴非球面,设计精度分别为任意100mm,200mm子孔径面形精度优于0.025λRMS(λ=632.8nm)。经检验,工件的加工精度满足了设计要求,分别达到了0.023λRMS和0.013λRMS。 展开更多
关键词 非球面加工 离轴非球面 计算机控制 光学表面 虚拟加工 反射镜 CCOS 数控加工
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基于矩阵运算的光学零件磁流变加工的驻留时间算法 被引量:9
14
作者 石峰 戴一帆 +1 位作者 彭小强 宋辞 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期103-106,共4页
提出了一种光学零件磁流变加工的驻留时间计算方法。该算法以矩阵运算为基础,首先确定工件上各个控制节点的高度余量,并将磁流变抛光模对各控制节点的材料去除能力体现到去除矩阵中,然后利用非负最小二乘法求解驻留时间向量。采用该算... 提出了一种光学零件磁流变加工的驻留时间计算方法。该算法以矩阵运算为基础,首先确定工件上各个控制节点的高度余量,并将磁流变抛光模对各控制节点的材料去除能力体现到去除矩阵中,然后利用非负最小二乘法求解驻留时间向量。采用该算法在自行研制的磁流变抛光机床上进行抛光实验,经过2次迭代加工后,有效口径为145mm的球面镜P-V值达到40.5nm(约为λ/15),RMS值达到5nm(约为λ/125),表面粗糙度Ra值达到0.57nm。 展开更多
关键词 磁流变抛光 计算机控制光学表面成型(CCOS) 驻留时间算法
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多磨头数控抛光对大口径离轴抛物面镜中频误差的抑制 被引量:7
15
作者 李智钢 鲍振军 +2 位作者 朱衡 蔡红梅 周衡 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期41-46,共6页
大口径非球面光学元件的面形中频误差对光路中的光斑扩散函数精度以及高能激光的能量散射有着直接的影响,针对该问题,提出一种计算机控制的多磨头组合抛光技术,用于对非球面元件中频误差的有效控制。对半刚性抛光盘抛光过程进行了力学... 大口径非球面光学元件的面形中频误差对光路中的光斑扩散函数精度以及高能激光的能量散射有着直接的影响,针对该问题,提出一种计算机控制的多磨头组合抛光技术,用于对非球面元件中频误差的有效控制。对半刚性抛光盘抛光过程进行了力学有限元分析,并基于Bridging模型对半刚性抛光盘抛光过程进行了理论模拟,对其贴合特性进行了研究分析。实验结果表明:采用多磨头组合抛光的技术能够有效改善大尺寸非球面元件的面形中频误差,加工的两件φ460 mm离轴抛物面元件面形PSD1值相对于之前降低了近70%,达到2.835nm,并且PV小于0.16λ(632.8nm),RMS小于0.02λ。 展开更多
关键词 数控抛光 离轴抛物面 中频误差 半刚性盘 匀滑抛光
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大口径非球面镜面形加工环带提取
16
作者 岳孝悌 李博 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第6期128-131,共4页
数控小工具是现代大口径非球面镜面研磨抛光加工中常用的一种计算机控制表面成形技术。在数控小工具加工实践中,当非球面面形精修到一定精度时,面形残差常常表现为环带形式,与相邻部分面形相差较大。为提高加工效率,可以针对这些环带使... 数控小工具是现代大口径非球面镜面研磨抛光加工中常用的一种计算机控制表面成形技术。在数控小工具加工实践中,当非球面面形精修到一定精度时,面形残差常常表现为环带形式,与相邻部分面形相差较大。为提高加工效率,可以针对这些环带使用小口径研抛工具进行单独修正,因此需要提取环带的位置和宽度。文章提出一种适用于大口径非球面镜的加工方法,通过将面形残差的高度信息映射到色彩空间成为图像,然后使用K-Means聚类分割图像,选择目标区间,得到待加工环带,此时可以计算出环带的宽度信息用于确定研抛工具的大小;另一方面,对环带提取骨架得到位置信息,从而生成数控机床可用的加工路径。该方法应用于1.6m望远镜非球面主镜面形的处理,从中提取了待加工环带信息用于指导面形加工,经多次加工与辅助平滑修抛迭代,主镜面形RMS值优于1/40波长。 展开更多
关键词 光学制造 镜面加工 计算机控制光学表面成形 图像处理 K-MEANS聚类
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Solving the input data in error correc-tion of optical fabrication by finite Fourier coefficient algorithm 被引量:4
17
作者 CHENG Haobo1,2, SUN Guozheng3 & FENG Zhijing2 1. Department of Optical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China 2. Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China 3. China North Industries Group Corporation, Beijing 100089, China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2006年第1期50-60,共11页
A free-form lens (FFL) is a special surface that is difficult to be fabricated. FFL are usually fabricated by computer-controlled optical surfacing (CCOS) technique. During CCOS, the material removal amount is determi... A free-form lens (FFL) is a special surface that is difficult to be fabricated. FFL are usually fabricated by computer-controlled optical surfacing (CCOS) technique. During CCOS, the material removal amount is determined by the unit removal function (URF) convoluting with the input data――the dwell time. When the removal amount and the URF are known, how to solve the input data involves the special algorithm――deconvolution. Usually, the input data are solved by virtue of low pass filter or iterative methods. However, an approximation solution would destroy the machining stability nec-essary to perform precisely CCOS. In this paper, to solve the input data, a new method that is based on the finite Fourier coefficient is put forward. It can give a continuous and accurate solution for fabricating choice. Several parameters are simulated, which influ-ence the process of CCOS, and evaluating on the effect of the method is also carried out. Experimental results verify that this method is suitable for guiding the manufacturing of high precision FFL. 展开更多
关键词 optical fabrication computer controlled optical surfacing free-form lens FINITE FOURIER coefficient ERROR correction.
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具有公自转运动模式的高效轮式抛光工具设计 被引量:5
18
作者 张毅 张学军 +1 位作者 李锐钢 李英杰 《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第1期155-166,共12页
为了提高光学加工效率,缩短大口径光学元件制造周期,本文提出了一种具有公自转运动模式的新型高效抛光方式,对其结构、工作原理以及去除特性进行了研究。首先,介绍了公自转抛光装置机械结构及工作原理。接着,根据Hertz接触理论和Presto... 为了提高光学加工效率,缩短大口径光学元件制造周期,本文提出了一种具有公自转运动模式的新型高效抛光方式,对其结构、工作原理以及去除特性进行了研究。首先,介绍了公自转抛光装置机械结构及工作原理。接着,根据Hertz接触理论和Preston方程进行了去除函数建模,讨论了不同转速比情况下的去除函数形状。然后,根据理论模型进行了去除函数实验、工艺参数实验以及稳定性实验,研究了压入深度、转速等工艺参数对去除结果的影响。最后,进行了200 mm口径SiC工件的仿真加工。实验结果表明:在2 mm压入深度、200 rpm转速情况下,去除区域直径为19.23 mm,体去除率达到0.197 mm^3/min,去除效率高于同等去除区域大小的传统小磨头加工方式;仿真加工结果表明:SiC仿真镜经过3.7 h加工,面形从3.008λPV,0.553λRMS提高到0.065λPV,0.005λRMS,收敛效率为达到98.18%。 展开更多
关键词 光学抛光 计算机辅助表面成型 公自转轮式抛光 去除函数 高效加工
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计算机控制光学表面成形中大规模驻留时间求解 被引量:5
19
作者 罗丽丽 何建国 +3 位作者 王亚军 张云飞 黄文 吉方 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3207-3212,共6页
采用基于稀疏矩阵的大规模非负最小二乘法,对大口径、微浮雕结构光学元件加工中的驻留时间进行了分析与求解,并对该算法开展了正则化研究。仿真结果表明:与传统非负最小二乘法相比,基于稀疏矩阵的大规模非负最小二乘法精度高、效率快。... 采用基于稀疏矩阵的大规模非负最小二乘法,对大口径、微浮雕结构光学元件加工中的驻留时间进行了分析与求解,并对该算法开展了正则化研究。仿真结果表明:与传统非负最小二乘法相比,基于稀疏矩阵的大规模非负最小二乘法精度高、效率快。采用该算法仿真加工平均振幅为1.177 6倍波长的大口径、微浮雕结构光学元件,误差面形均方根收敛至0.067倍波长。 展开更多
关键词 计算机控制光学表面成形 驻留时间 大规模非负最小二乘法 正则化 面形精度
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大口径离轴凸非球面的加工和检测(英文) 被引量:4
20
作者 郑立功 王孝坤 +4 位作者 薛栋林 李锐钢 张峰 张忠玉 张学军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1-6,共6页
将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法,对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大... 将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法,对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大口径凸非球面的离轴三反光学系统的各反射镜进行加工,并对整个系统进行装调和测试.测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值求解得到大口径凸非球面全口径的面形信息.结合工程实例,对一口径为292mm×183 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,其最终面形分布的均方根值为0.017λ(λ=632.8nm). 展开更多
关键词 光学加工 光学检测 凸非球面 计算机控制光学表面成形 磁流变抛光 子孔径拼接
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