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基于三元复合络合剂的高磷Ni-P化学镀 被引量：9
1
作者 李茂东 张永君 +3 位作者 吴丹 马括 倪进飞 夏兰梅 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期70-80,共11页
针对单一络合剂难以兼顾镀液稳定性、镀速和镀层质量等多重要求,现有复合络合剂或成本过高、或工艺稳定性欠佳等问题,采用柠檬酸钠-乳酸-乙酸钠三元复合络合剂,借助增重法、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）和材料耐蚀性快速检测... 针对单一络合剂难以兼顾镀液稳定性、镀速和镀层质量等多重要求,现有复合络合剂或成本过高、或工艺稳定性欠佳等问题,采用柠檬酸钠-乳酸-乙酸钠三元复合络合剂,借助增重法、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）和材料耐蚀性快速检测专利技术,系统研究了络合剂及还原剂用量、镀液初始pH值及施镀温度对化学镀Ni-P施镀效果的影响,探明镀速、镀层硬度及其P质量分数、镀层腐蚀防护性能随工艺参数的变化规律。结果表明：利用基于三元复合络合剂的镀液,不仅可获得P质量分数最高为18.41%的高磷Ni-P镀层,而且工艺稳定性优异。在适宜的镀液初始pH值区间（4.0~5.5）,镀层P质量分数受其它工艺参数的影响甚微,能始终稳定在11.12%~14.52%的高位。典型试样SEM分析表明：镀层表面平整、均匀,结构致密,镀层与基体结合紧密且厚度分布均匀。 展开更多
关键词 化学镀 复合络合剂 NI-P合金 高磷镀层
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化学镀镍复合配位剂的研究 被引量：5
2
作者 宋仁军 赵永武 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 2007年第12期14-17,共4页
采用对比试验和正交试验,以镀速、孔隙率、镀液稳定性和镀层硬度为评价指标,研究了单一配位剂及复合配位剂对镀液和镀层性能的影响,得到了复合配位剂的最优组合:8.4g/L乳酸,6g/L苹果酸,9g/L柠檬酸,8g/L丁二酸,1g/L丙酸。采用该复合配位... 采用对比试验和正交试验,以镀速、孔隙率、镀液稳定性和镀层硬度为评价指标,研究了单一配位剂及复合配位剂对镀液和镀层性能的影响,得到了复合配位剂的最优组合:8.4g/L乳酸,6g/L苹果酸,9g/L柠檬酸,8g/L丁二酸,1g/L丙酸。采用该复合配位剂的工艺配方可提高镀液使用寿命,获得性能优良的镀层。 展开更多
关键词 化学镀镍 复合配位剂 镀液稳定性 镀层性能
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复合络合剂在阻挡层抛光液中的应用 被引量：4
3
作者 张辉辉 刘玉岭 +5 位作者 王辰伟 曾能源 王聪 徐奕 马腾达 刘国瑞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第11期870-875,共6页
分别选用FA/OⅡ型螯合剂和柠檬酸钾(CAK)单独配置及复合配置多层铜布线阻挡层抛光液,对Cu和正硅酸乙酯(TEOS)介质层进行化学机械抛光(CMP),研究复合络合剂对材料去除速率、碟形坑和蚀坑的影响。结果表明,单独使用FA/OⅡ型螯合剂配置抛... 分别选用FA/OⅡ型螯合剂和柠檬酸钾(CAK)单独配置及复合配置多层铜布线阻挡层抛光液,对Cu和正硅酸乙酯(TEOS)介质层进行化学机械抛光(CMP),研究复合络合剂对材料去除速率、碟形坑和蚀坑的影响。结果表明,单独使用FA/OⅡ型螯合剂配置抛光液时,随着螯合剂的增加,Cu去除速率明显增加,而TEOS去除速率趋于减小;单独使用CAK配置抛光液时,随着CAK的增加,Cu去除速率缓慢增加,而TEOS去除速率明显增加;使用FA/OⅡ型螯合剂和CAK复合配置(质量分数分别为20%和3%)阻挡层抛光液,可以得到较高的Cu和TEOS去除速率,Cu和TEOS去除速率选择比为1∶1.8,碟形坑和蚀坑深度分别从69.8 nm和45.5 nm修正为25.6 nm和16.7 nm,铜表面粗糙度由原来的7.11 nm降至1.27 nm。该阻挡层抛光液稳定时间为72 h,其稳定性满足工业化要求。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 复合络合剂 去除速率 碟形坑 蚀坑
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焦化蜡油中碱性氮化物的脱除 被引量：2
4
作者 孙敬军 高会娟 +1 位作者 王雷 苏振洋 《化学工程师》 CAS 2013年第8期45-47,共3页
为脱除焦化蜡油中碱性氮化物,采用一种酸性复合络合脱氮剂,以甲苯为溶剂,对焦化蜡油进行脱氮研究。实验考察了反应温度、反应时间、剂油比、沉降时间等条件对焦化蜡油碱性氮化物脱除的影响。实验结果表明:在反应温度为55℃、反应时间为4... 为脱除焦化蜡油中碱性氮化物,采用一种酸性复合络合脱氮剂,以甲苯为溶剂,对焦化蜡油进行脱氮研究。实验考察了反应温度、反应时间、剂油比、沉降时间等条件对焦化蜡油碱性氮化物脱除的影响。实验结果表明:在反应温度为55℃、反应时间为40min、剂油比为1∶4、沉降时间为30min的条件下,焦化蜡油中碱性氮化物的脱除率可达91.34%,焦化蜡油收率达到95.54%。 展开更多
关键词 焦化蜡油 碱性氮 酸性复合脱氮剂 络合反应 脱氮
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Al_xGa_(1-x)As三元化合物共沉积研究
5
作者 杨春晖 叶水驰 +1 位作者 韩爱珍 高元凯 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期239-242,共4页
在简单盐溶液中添加络合剂——柠檬酸 ,电共沉积 Alx Ga1 - x As三元化合物。用能谱分析仪进行成分分析 ,获得化学计量比接近 Al0 .3Ga0 .7As的三元化合物半导体材料。
关键词 ALGAAS 三元化合物 电共沉积 络合剂
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高磷高耐蚀性化学镀Ni-P合金复合络合剂的研究 被引量：10
6
作者 雷阿利 冯拉俊 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2006年第3期145-147,共3页
选取了对镀层和溶液性能有较大影响的络合剂和促进剂共五因素,采用正交试验法进行了研究,并优化验证了络合剂和促进剂工艺配方,筛选出一种高磷高耐蚀性的化学镀Ni-P合金复合络合剂。
关键词 化学镀 高耐蚀性 复合络合剂
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玻璃纤维化学镀Ni-Fe-P合金工艺中复合络合剂的影响 被引量：1
7
作者 黄英 李鹏 +1 位作者 熊佳 王琦洁 《航空制造技术》 2005年第4期111-114,共4页
研究了复合络合剂对玻璃纤维化学镀Ni-Fe-P合金的影响,讨论了复合络合剂中各组分的配比对镀层沉积速度的影响,用X射线能谱仪对镀层成分进行了分析,测定了镀层的电阻率,利用SEM对镀层的表观形貌进行了研究。
关键词 复合络合剂 玻璃纤维 化学镀NI 合金工艺 NI-FE-P合金 X射线能谱仪 沉积速度 表观形貌 镀层 电阻率 SEM
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