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Prospects and applications of on-chip lasers 被引量:8
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作者 Zhican Zhou Xiangpeng Ou +4 位作者 Yuetong Fang Emad Alkhazraji Renjing Xu Yating Wan John E.Bowers 《eLight》 2023年第1期297-321,共25页
Integrated silicon photonics has sparked a significant ramp-up of investment in both academia and industry as a scalable,power-efficient,and eco-friendly solution.At the heart of this platform is the light source,whic... Integrated silicon photonics has sparked a significant ramp-up of investment in both academia and industry as a scalable,power-efficient,and eco-friendly solution.At the heart of this platform is the light source,which in itself,has been the focus of research and development extensively.This paper sheds light and conveys our perspective on the current state-of-the-art in different aspects of application-driven on-chip silicon lasers.We tackle this from two perspectives:device-level and system-wide points of view.In the former,the different routes taken in integrating on-chip lasers are explored from different material systems to the chosen integration methodologies.Then,the discussion focus is shifted towards system-wide applications that show great prospects in incorporating photonic integrated circuits(PIC)with on-chip lasers and active devices,namely,optical communications and interconnects,optical phased array-based LiDAR,sensors for chemical and biological analysis,integrated quantum technologies,and finally,optical computing.By leveraging the myriad inherent attractive features of integrated silicon photonics,this paper aims to inspire further development in incorporating PICs with on-chip lasers in,but not limited to,these applications for substantial performance gains,green solutions,and mass production. 展开更多
关键词 On-chip lasers Silicon photonics Photonic integration COMMUNICATION LIDAR Optical computing
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ChatGPT时代对芯片设计的影响与展望 被引量:1
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作者 傅勇 《工业控制计算机》 2024年第3期100-102,105,共4页
近年来,OpenAI推出的大型语言模型——ChatGPT,在很多领域中发挥着重要作用,而芯片设计作为其中之一,其发展势头愈发凸显。探讨在ChatGPT时代下,芯片设计所面临的挑战与机遇,并对未来发展趋势做出预测和展望。
关键词 ChatGPT 芯片设计 算法 硬件架构 集成度
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低维半导体微纳激光研究进展
3
作者 董红星 常浩 +4 位作者 高新宇 刘靓 成浩东 李欣洁 于珂 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期454-473,共20页
半导体微纳激光是纳米技术与纳米光子学交叉研究的前沿领域之一。利用光波长量级的光学谐振腔在光泵浦或电激励下实现激光输出,具有物理尺寸小、可高度集成、低阈值以及低功耗等优点。在未来光子器件、光学集成、光通信以及激光显示等... 半导体微纳激光是纳米技术与纳米光子学交叉研究的前沿领域之一。利用光波长量级的光学谐振腔在光泵浦或电激励下实现激光输出,具有物理尺寸小、可高度集成、低阈值以及低功耗等优点。在未来光子器件、光学集成、光通信以及激光显示等领域具有广泛的应用前景。探讨了低维半导体微纳激光领域所取得的成果与研究进展,并对基于新型钙钛矿材料的微纳激光研究进行了总结概述,最后对低维微纳激光的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 光学谐振腔 钙钛矿材料 微纳激光 超快光学 片上集成
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拉曼光谱仪基本原理和典型应用
4
作者 蒋杰 李聪慧 +3 位作者 姚森浩 申珅 冉娜 张洁 《光散射学报》 北大核心 2024年第3期305-319,共15页
拉曼光谱仪是一种用于记录和分析拉曼散射光谱的仪器。它由激励光源、样品舱、滤波器、色散系统、探测器和信号处理模块等多个组件组成。根据原理的不同,主要分为光栅分光式拉曼光谱仪和傅里叶变换拉曼光谱仪。随着科学技术的不断进步,... 拉曼光谱仪是一种用于记录和分析拉曼散射光谱的仪器。它由激励光源、样品舱、滤波器、色散系统、探测器和信号处理模块等多个组件组成。根据原理的不同,主要分为光栅分光式拉曼光谱仪和傅里叶变换拉曼光谱仪。随着科学技术的不断进步,拉曼光谱仪的性能和功能不断提升。便携式拉曼光谱仪具有小型化、便携性和实时分析的特点,适用于野外和实地应用。片上拉曼光谱仪利用微纳加工技术,将光学元件集成在芯片上,实现了更小型化和高度集成的设备。拉曼光谱仪在化学成分分析、环境监测、食品检测等领域有着广泛的应用。本文简要介绍了拉曼散射原理和发展历程,以及常见拉曼光谱仪的主要组成部分和典型应用场景。 展开更多
关键词 拉曼光谱仪 色散系统 光栅 片上集成 分析化学
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High-intensity spatial-mode steerable frequency up-converter toward on-chip integration
5
作者 Haizhou Huang Huaixi Chen +7 位作者 Huagang Liu Zhi Zhang Xinkai Feng Jiaying Chen Hongchun Wu Jing Deng Wanguo Liang Wenxiong Lin 《Opto-Electronic Science》 2024年第4期12-20,共9页
Integrated photonic devices are essential for on-chip optical communication,optical-electronic systems,and quantum information sciences.To develop a high-fidelity interface between photonics in various frequency domai... Integrated photonic devices are essential for on-chip optical communication,optical-electronic systems,and quantum information sciences.To develop a high-fidelity interface between photonics in various frequency domains without disturbing their quantum properties,nonlinear frequency conversion,typically steered with the quadratic(χ2)process,should be considered.Furthermore,another degree of freedom in steering the spatial modes during theχ2 process,with unprecedent mode intensity is proposed here by modulating the lithium niobate(LN)waveguide-based inter-mode quasi-phasematching conditions with both temperature and wavelength parameters.Under high incident light intensities(25 and 27.8 dBm for the pump and the signal lights,respectively),mode conversion at the sum-frequency wavelength with sufficient high output power(−7–8 dBm)among the TM01,TM10,and TM00 modes is realized automatically with characterized broad temperature(ΔT≥8°C)and wavelength windows(Δλ≥1 nm),avoiding the previous efforts in carefully preparing the signal or pump modes.The results prove that high-intensity spatial modes can be prepared at arbitrary transparent wavelength of theχ2 media toward on-chip integration,which facilitates the development of chip-based communication and quantum information systems because spatial correlations can be applied to generate hyperentangled states and provide additional robustness in quantum error correction with the extended Hilbert space. 展开更多
关键词 integrated photonics LN waveguide sum-frequency generation spatial-mode steering on-chip integration
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可穿戴式医疗芯片研究进展 被引量:6
6
作者 李严 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期33-40,共8页
医疗芯片的研发需要借助微电子学与生物医学领域的结合。作为医疗芯片的重要组成部分,可穿戴式医疗芯片主要用于采集及处理关键生理信号,以此获得相应的生理信息,实时监控使用者的健康状况,实现对突发病症进行及时救治、对重大疾病的预... 医疗芯片的研发需要借助微电子学与生物医学领域的结合。作为医疗芯片的重要组成部分,可穿戴式医疗芯片主要用于采集及处理关键生理信号,以此获得相应的生理信息,实时监控使用者的健康状况,实现对突发病症进行及时救治、对重大疾病的预防,降低死亡率。因此,可穿戴式医疗芯片将是现代以预防为主的新医疗体系的关键模块。本文基于可穿戴式的应用环境以及生理信号的特点,分析了对可穿戴式医疗芯片的设计要求,总结了实现可穿戴式医疗芯片的关键技术,包括低功耗、全集成、低噪声等;综述了可穿戴式医疗芯片的研究进展,包括用于处理心电、脑电、脉搏波、呼吸等重要生理信号的芯片及系统;展望了可穿戴式医疗芯片的未来。随着微电子、集成电路技术及生物医学的发展,可穿戴式医疗芯片将具有更多的功能、形式,满足人们在医疗与健康方面的更多需求。 展开更多
关键词 可穿戴式 医疗芯片 低功耗 全集成 低噪声
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光子神经网络研究进展
7
作者 项水英 宋紫薇 +3 位作者 张雅慧 郭星星 韩亚楠 郝跃 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期27-50,共24页
在数据海量化、信息化的时代,电子计算机处理系统所面临的算力和能耗等性能要求愈发严苛,传统冯·诺依曼架构存在“内存墙”和“功耗墙”瓶颈,加之摩尔定律放缓甚至失效,使得电子芯片在计算速度和功耗方面遇到极大挑战,利用光计算... 在数据海量化、信息化的时代,电子计算机处理系统所面临的算力和能耗等性能要求愈发严苛,传统冯·诺依曼架构存在“内存墙”和“功耗墙”瓶颈,加之摩尔定律放缓甚至失效,使得电子芯片在计算速度和功耗方面遇到极大挑战,利用光计算替代传统电子计算将是解决当前算力与功耗问题的极具潜力的途径之一。本文系统地梳理了片上集成和自由空间的光子神经网络架构与算法方面的研究进展,详细介绍了典型的研究工作,然后讨论并对比了这两种光子神经网络的优劣势,以及光子神经网络的训练策略等。最后探讨了光子神经网络面临的挑战,并对其未来发展进行了前瞻性的展望。 展开更多
关键词 光子神经网络 片上集成 自由空间 类脑计算
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中红外片上非线性激光器研究进展(特邀)
8
作者 张敦祥 胡波 +2 位作者 杨雪梅 吴函 梁厚昆 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期21-40,共20页
中红外(Mid Infrared,MIR)波段在生物医学、环境监测以及强场物理等众多领域具有非常重要的应用。小型化高效率MIR激光器是近些年中红外领域的研究重点,其在MIR光谱探测和环境实时监测等应用领域具有重大的研究意义。尽管量子级联激光器... 中红外(Mid Infrared,MIR)波段在生物医学、环境监测以及强场物理等众多领域具有非常重要的应用。小型化高效率MIR激光器是近些年中红外领域的研究重点,其在MIR光谱探测和环境实时监测等应用领域具有重大的研究意义。尽管量子级联激光器(Quantum Cascade Laser,QCL)可直接产生MIR输出,但受限于辐射带宽和锁模机制。因此,非线性频率下转换技术仍然是片上宽带超快MIR脉冲生成的首选方案。基于非线性频率变换的片上MIR激光器具有结构紧凑、调谐光谱范围宽、稳定性高等优势,近年来得到了快速发展和广泛应用。首先介绍了基于二阶非线性频率变换的片上MIR激光器的研究现状,然后对四种主要的片上三阶非线性MIR激光器的研究进展进行了综述总结,包括受激拉曼-斯托克斯散射(StimulatedRamanStokesScattering,SRSS)、四波混频(FourWave Mixing,FWM)、频率梳(Frequency Comb,FC)和超连续谱产生(Supercontinuum Spectrum Generation,SCG)。 展开更多
关键词 中红外激光 片上集成 非线性光学 光梳 超连续谱
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微纳集成电路和新型混合集成技术 被引量:6
9
作者 曾晓洋 黎明 +3 位作者 李志宏 陈兢 杨玉超 黄如 《中国科学:信息科学》 CSCD 北大核心 2016年第8期1108-1135,共28页
随着摩尔定律的不断推进,集成电路产业迎来了巨大发展机遇的同时,也面临着前所未有的发展瓶颈和技术挑战.论文围绕创新的微纳集成电路和新型混合集成技术领域的基础理论和关键技术问题,聚焦在新型低功耗器件及电路理论,纳米尺度单片集... 随着摩尔定律的不断推进,集成电路产业迎来了巨大发展机遇的同时,也面临着前所未有的发展瓶颈和技术挑战.论文围绕创新的微纳集成电路和新型混合集成技术领域的基础理论和关键技术问题,聚焦在新型低功耗器件及电路理论,纳米尺度单片集成电路技术、微纳传感和异质集成融合技术等方向,开展了比较广泛和深入的国内外研究现状与发展趋势综述,旨在为人们提供一个相对全面的"后摩尔"时代集成电路创新理论与技术发展脉络图,也尝试为新型应用驱动的集成电路技术与产品开发描绘出新的路线图. 展开更多
关键词 集成电路 低功耗 微电子器件 系统芯片 混合集成 摩尔定律
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研发微纳电子侦察卫星面临的挑战与思考 被引量:5
10
作者 石荣 张伟 《航天电子对抗》 2015年第4期1-5,共5页
传统电子侦察卫星几乎都是大中型卫星,研制费用高、周期长,难以具备战术应用所要求的快速响应能力;随着技术的进步,微纳卫星在近十年来得到了迅猛发展。在简要介绍其发展概况的基础上,分析了研发微纳电子侦察卫星在技术与应用方面所面... 传统电子侦察卫星几乎都是大中型卫星,研制费用高、周期长,难以具备战术应用所要求的快速响应能力;随着技术的进步,微纳卫星在近十年来得到了迅猛发展。在简要介绍其发展概况的基础上,分析了研发微纳电子侦察卫星在技术与应用方面所面临的挑战,并从进一步提高集成密度、编队组网应用方式、微波与激光相结合的星间通信、有效载荷与卫星平台的一体化、与目标对象相适应的侦察定位方法等多个方面阐述了应对上述挑战的措施与办法,为后续微纳电子侦察卫星的研发与应用提供参考。 展开更多
关键词 航天电子侦察 微纳电子侦察卫星 芯片化集成 卫星编队组网 星间光通信 载荷与平台一体化 侦察与定位
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片上系统技术在航天领域的发展和应用 被引量:5
11
作者 蒋彭龙 《导弹与航天运载技术》 北大核心 2010年第5期17-20,共4页
由于片上系统(System on chip,SOC)技术使系统集成度更高、功能更强,具有更高的可靠性,以及更低的系统功耗,因此,SOC技术在航天控制领域得到了飞速的发展和应用。介绍SOC技术在国内外的发展情况,依据航天型号研制要求,提出航天领域的SO... 由于片上系统(System on chip,SOC)技术使系统集成度更高、功能更强,具有更高的可靠性,以及更低的系统功耗,因此,SOC技术在航天控制领域得到了飞速的发展和应用。介绍SOC技术在国内外的发展情况,依据航天型号研制要求,提出航天领域的SOC研制流程、质量管理要求,以及重点发展方向。 展开更多
关键词 片上系统 航天控制 系统集成
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一种用于CMOS图像传感器的锁相环设计 被引量:5
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作者 阳怡伟 张靖 +2 位作者 吴治军 刘昌举 熊平 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第2期322-326,共5页
设计了一种用于CMOS图像传感器时钟产生的电荷泵锁相环(CPPLL)电路。基于0.18μm CMOS工艺,系统采用常规鉴频鉴相器、电流型电荷泵、二阶无源阻抗型低通滤波器、差分环形压控振荡器以及真单相时钟结构分频器与CMOS图像传感器片内集成... 设计了一种用于CMOS图像传感器时钟产生的电荷泵锁相环(CPPLL)电路。基于0.18μm CMOS工艺,系统采用常规鉴频鉴相器、电流型电荷泵、二阶无源阻抗型低通滤波器、差分环形压控振荡器以及真单相时钟结构分频器与CMOS图像传感器片内集成。系统电路结构简洁实用、功耗低,满足CMOS图像传感器对锁相环低功耗、低噪声、输出频率高及稳定的要求。在输入参考频率为5MHz时,压控振荡器(VOC)输出频率范围为40~217MHz,系统锁定频率为160MHz,锁定时间为16.6μs,功耗为2.5mW,环路带宽为567kHz,相位裕度为57°,相位噪声为-105dBc/Hz@1MHz。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 锁相环 频率综合器 片内集成
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薄膜铌酸锂片上倒装激光芯片的结构设计与优化
13
作者 卢金龙 郝婷 +3 位作者 李志浩 周赤 吉贵军 王兴龙 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第23期302-309,共8页
基于薄膜铌酸锂干法刻蚀工艺不能获得高垂直度截面的特点,设计了一种基于折射率相近的填充材料作为模斑转换结构。所设计结构可兼容不同尺寸的输出光斑且整体结构的转换效率大于-0.28 dB。所提方案避免了薄膜铌酸锂干法刻蚀后的大倾角... 基于薄膜铌酸锂干法刻蚀工艺不能获得高垂直度截面的特点,设计了一种基于折射率相近的填充材料作为模斑转换结构。所设计结构可兼容不同尺寸的输出光斑且整体结构的转换效率大于-0.28 dB。所提方案避免了薄膜铌酸锂干法刻蚀后的大倾角断面直接作为耦合端面时性能低的劣势,可提升薄膜铌酸锂电光调制器件在片上集成激光芯片的性能。三维模拟结果显示该结构对工艺误差不敏感、加工可行性高,为减小集成器件体积、降低成本及高密度集成提供可行方案。 展开更多
关键词 薄膜 铌酸锂 片上集成 倒装焊 模斑转换
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Micro LED微显示芯片制备技术 被引量:4
14
作者 陈佳昕 李梦梅 郭伟玲 《照明工程学报》 2021年第1期12-18,共7页
Micro LED微显示技术是将传统LED薄膜化、微小化和矩阵化,像素点距离从毫米级降至微米级,并在一个芯片上高度集成的固体自发光显示技术,因其低功耗、响应快、寿命长、发光效率高等特点,被视为一种独特的显示面板技术。本文主要介绍了Mic... Micro LED微显示技术是将传统LED薄膜化、微小化和矩阵化,像素点距离从毫米级降至微米级,并在一个芯片上高度集成的固体自发光显示技术,因其低功耗、响应快、寿命长、发光效率高等特点,被视为一种独特的显示面板技术。本文主要介绍了Micro LED微显示芯片的制备技术,包括芯片结构设计、制备技术优化、光电集成芯片制备技术、巨量转移技术,最后介绍了芯片小型化效应。 展开更多
关键词 微显示 芯片制备 光电集成 芯片小型化效应
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叠层片式电感的发展趋势 被引量:4
15
作者 张凡 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期19-21,24,共4页
论述了叠层片式电感的发展趋势。指出高频电感应用领域扩大,使用频率不断提高;高频电感尺寸进一步小型化;集成化趋势方兴未艾; 大电流与高频磁珠需求不断增加。
关键词 叠层片式电感 发展趋势 磁珠 小型化 集成化
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含微纳结构硅胶整体柱的预处理芯片分析系统的研究 被引量:2
16
作者 徐溢 张剑 +1 位作者 张钟锋 温志渝 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1996-1999,共4页
针对微流控芯片分析系统预处理及其集成化的难题,采用sol-gel技术,并经改性处理,制备得到具有微纳结构的C18酯型反相硅胶整体柱,将其作为芯片上预处理结构单元,与微流控检测芯片相结合,组建了具有预处理功能的芯片.以盐酸多巴酚丁胺—KM... 针对微流控芯片分析系统预处理及其集成化的难题,采用sol-gel技术,并经改性处理,制备得到具有微纳结构的C18酯型反相硅胶整体柱,将其作为芯片上预处理结构单元,与微流控检测芯片相结合,组建了具有预处理功能的芯片.以盐酸多巴酚丁胺—KMnO4—Luminol化学发光体系为样品对象进行测试,结果显示该改性硅胶整体柱具有良好的预处理性能,在微流控芯片分析系统和化学传感器中具有良好的潜在应用前景. 展开更多
关键词 硅胶整体柱 预处理芯片 集成化
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宽带高效聚焦的片上集成纳米透镜 被引量:4
17
作者 田梓聪 郭遗敏 +2 位作者 胡晨岩 王慧琴 路翠翠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第24期130-136,共7页
在光学材料与器件中,由于不同波长的光会以不同速度传播,因此一束复色光经过单个光学器件后会产生色散,导致普通透镜不同波长的光无法合焦.传统的聚焦系统可通过叠加多个透镜解决这一问题,但这是以增加系统的复杂度、质量和成本为代价,... 在光学材料与器件中,由于不同波长的光会以不同速度传播,因此一束复色光经过单个光学器件后会产生色散,导致普通透镜不同波长的光无法合焦.传统的聚焦系统可通过叠加多个透镜解决这一问题,但这是以增加系统的复杂度、质量和成本为代价,不适用于高集成度的纳米光学系统.目前比较好的解决方法是平面超透镜,即利用超表面对各点的振幅、相位、偏振等进行空间调控,达到合焦的目的,但这种平面超透镜难以直接片上集成.本文将有限元法与遗传算法相组合发展出一种智能算法,优化出一种宽带高效聚焦的片上集成纳米透镜.该透镜尺寸只有2μm×2μm,可实现波长从470 nm至1734 nm的低色散聚焦,能将大小为2μm的激光光束通过透镜与波导的耦合聚焦成200 nm以下的光束,耦合传播效率可达80%以上.同时,该智能算法能够适用于不同的纳米结构,均可获得类似的聚焦效果和高效的耦合传播效率.该工作为宽带高效的纳米透镜提供了重要思路,也为实现高密度集成的纳米光子器件提供了新途径. 展开更多
关键词 纳米透镜 宽带高效聚焦 片上集成 智能算法
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基于序列二次规划算法的超小尺寸微纳波长分束器的逆向设计
18
作者 李家祥 王慧琴 +3 位作者 †徐和庆 张华 冯艳 董美彤 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第19期111-118,共8页
微纳波长分束器是光子芯片中一种重要的分光器件.本文运用序列二次规划智能算法,设计了尺寸为1.5μm×1.5μm的多个超小波长分束器,其中Y型双通道分束器可同时实现TE/TM模式的双波长分束,TE模1140和1200 nm两波长的传输效率分别为80... 微纳波长分束器是光子芯片中一种重要的分光器件.本文运用序列二次规划智能算法,设计了尺寸为1.5μm×1.5μm的多个超小波长分束器,其中Y型双通道分束器可同时实现TE/TM模式的双波长分束,TE模1140和1200 nm两波长的传输效率分别为80%和81%,消光比分别为18.1和16.3 dB,TM模传输效率分别为70%和67%,消光比为18.3和15.9 dB;T型分束器实现了光束的180°相向分离,待分波长1100和1170 nm的传输效率均达到了88%,消光比分别为16.6和15.0 dB,是目前尺寸最小的片上波分器;十字型三通道分束器实现了波长间隔为50 nm的分束,待分波长1100,1150和1200 nm传输效率分别为73%,66%和70%,消光比分别为17.2,13.8和13.8 dB;非对称三通道分束器分束波长间隔仅为20 nm,待分波长1200,1220和1240 nm的传输效率分别为61%,56%和57%,消光比分别为10.8,7.9和8.9 dB.本方法的设计周期短、设计效率高,且所设计的结构简单、易加工,本方法适用于多种片上集成元器件的设计,为微纳片上集成光子器件的设计提供了一种新思路. 展开更多
关键词 序列二次规划算法 智能设计 片上集成 波长分束器
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应用于有源芯片三维集成的小孔径高深宽比TSV刻蚀工艺 被引量:4
19
作者 赵鸿 李宝霞 +2 位作者 房玉亮 王文杰 吴玮 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第9期748-753,共6页
为了完成有源芯片上小孔径、高深宽比硅通孔(TSV)的制作,研究了基于电感耦合等离子体(ICP)技术的SiO2微孔深刻蚀工艺,实现了以C4F8/Ar为刻蚀气体源、刻蚀速率为0.612μm/min、刻蚀选择比为2.122、刻蚀角度为80.573°的SiO2微孔刻蚀... 为了完成有源芯片上小孔径、高深宽比硅通孔(TSV)的制作,研究了基于电感耦合等离子体(ICP)技术的SiO2微孔深刻蚀工艺,实现了以C4F8/Ar为刻蚀气体源、刻蚀速率为0.612μm/min、刻蚀选择比为2.122、刻蚀角度为80.573°的SiO2微孔刻蚀;优化了小孔径、高深宽比TSV刻蚀形貌。通过降低衬底温度,消除了"咬边"现象,通过缩短单步循环中刻蚀时间和钝化时间,减小了"扇贝"尺寸,实现了TSV孔径约为5μm、深宽比为10∶1、侧壁光滑、无"咬边"现象的TSV刻蚀。结合优化后的SiO2微孔刻蚀工艺和小孔径、高深宽比TSV刻蚀工艺完成了表面具有约10μm厚的SiO2、孔径约为5μm、深宽比大于10∶1的TSV刻蚀。 展开更多
关键词 硅通孔(TSV) 有源芯片 三维集成 SiO2微孔刻蚀 高深宽比
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片上中红外波长调制光谱气体传感技术
20
作者 皮明权 黄一俊 +6 位作者 郑传涛 赵焕 彭子航 杨悦 闵昱婷 宋芳 王一丁 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第18期171-177,共7页
制备了下包层为氟化镁、芯层为硫系玻璃的梯形光波导甲烷传感器,采用片上波长调制光谱技术,开展了气体检测实验,将仿真结果与实验结果进行了对比,证明了基于波长调制光谱的仿真模型的准确性。狭缝波导是常用的非悬浮波导气体传感器结构... 制备了下包层为氟化镁、芯层为硫系玻璃的梯形光波导甲烷传感器,采用片上波长调制光谱技术,开展了气体检测实验,将仿真结果与实验结果进行了对比,证明了基于波长调制光谱的仿真模型的准确性。狭缝波导是常用的非悬浮波导气体传感器结构,优化了下包层为氟化镁、芯层为硫系玻璃的狭缝波导传感器结构,外限制因子达到了42%。根据实验测试得到的噪声幅值,理论研究了狭缝波导气体传感器和波长调制光谱技术结合的性能,分析了环境压强和工艺误差对狭缝波导气体传感器性能的影响。本工作为基于波长调制光谱的片上气体传感器的设计提供了指导。 展开更多
关键词 光波导 波长调制光谱 片上集成 光波导传感器 气体传感器
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