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基于石墨烯的光纤湿度传感研究 被引量:14
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作者 肖毅 张军 +8 位作者 蔡祥 谭绍早 陈哲 余健辉 卢惠辉 廖国珍 李仕萍 唐洁媛 罗云瀚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期J0002-J0002,70-77,共9页
将还原氧化石墨烯(r GO)沉积在侧边抛磨光纤(SPF)上制作了一种新型的光纤湿度传感器。在高湿度区域[相对温度(RH)为70%~95%],传感器的光功率变化达到6.9 dB,尤其在RH为75%~95%区域,传感器对湿度变化能实现相关系数为98.2%的线... 将还原氧化石墨烯(r GO)沉积在侧边抛磨光纤(SPF)上制作了一种新型的光纤湿度传感器。在高湿度区域[相对温度(RH)为70%~95%],传感器的光功率变化达到6.9 dB,尤其在RH为75%~95%区域,传感器对湿度变化能实现相关系数为98.2%的线性响应,灵敏度可达0.31 dB/(%RH),响应速度快于0.13(%RH)/s,并且具有很好的可重复性。对传感机理的理论分析可以解释实验结果,并且表明这种基于石墨烯的光纤传感器亦可广泛应用于其他种类化学气体的探测。这种全新机理的光学传感器是对石墨烯电化学传感器的一种很好的补充,并将促进石墨烯在化学传感技术中的应用。 展开更多
关键词 光纤光学 光纤湿度传感器 还原氧化石墨烯 侧边抛磨光纤 化学气体传感器
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单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气敏传感器的制作与性能 被引量:4
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作者 冯秋菊 石博 +5 位作者 李昀铮 王德煜 高冲 董增杰 解金珠 梁红伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期282-288,共7页
通过使用化学气相沉积法,成功制备出超长、大尺寸的Sb掺杂ZnO微米线.基于非平衡电桥原理,利用单根Sb掺杂ZnO微米线作为非平衡电桥的一个桥臂,制作出了可以在室温环境下工作的气敏传感器原型器件.结果表明:室温下测得该传感器对20,50,100... 通过使用化学气相沉积法,成功制备出超长、大尺寸的Sb掺杂ZnO微米线.基于非平衡电桥原理,利用单根Sb掺杂ZnO微米线作为非平衡电桥的一个桥臂,制作出了可以在室温环境下工作的气敏传感器原型器件.结果表明:室温下测得该传感器对20,50,100和200 ppm(1 ppm=10^-6)不同浓度的丙酮及乙醇气体的响应-恢复曲线均呈现为矩形形状,在空气及被测气体中均有稳定的电流值,并随着探测气体浓度的增大,器件的响应值也在逐渐增加.此外,还发现器件对丙酮气体具有更好的选择性,当丙酮气体浓度为200 ppm时,该传感器的响应时间为0.2 s,恢复时间为0.3 s,响应度高达243%.通过与普通电导式气敏传感器对比发现,采用这种非平衡电桥结构传感器可以明显地提高响应度,使响应和恢复时间更快.此外,还研究了器件的气体探测机理. 展开更多
关键词 化学气相沉积 Sb掺杂ZnO微米线 非平衡电桥 气敏传感器
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化学气相沉积制备聚羟基功能化3,4-乙烯二氧噻吩膜及其性能研究 被引量:3
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作者 张晓兰 裴熙林 +4 位作者 张红兴 袁宇鹏 马晋毅 朱波 何勇 《材料开发与应用》 CAS 2020年第1期23-31,共9页
羟基功能化3,4-乙烯二氧噻吩(EDOT-OH)是3,4-乙烯二氧噻吩(EDOT)的重要衍生物.将EDOT-OH化学气相沉积在不同旋涂FeCl3氧化剂膜上,制备了系列PEDOT-OH膜.通过显微红外、拉曼光谱及场发射扫描电镜对PEDOT-OH膜结构及形貌进行了表征,考察了... 羟基功能化3,4-乙烯二氧噻吩(EDOT-OH)是3,4-乙烯二氧噻吩(EDOT)的重要衍生物.将EDOT-OH化学气相沉积在不同旋涂FeCl3氧化剂膜上,制备了系列PEDOT-OH膜.通过显微红外、拉曼光谱及场发射扫描电镜对PEDOT-OH膜结构及形貌进行了表征,考察了FeCl3旋涂溶液浓度与氧化剂膜的厚度、PEDOT-OH膜的厚度的对应关系,还将EDOT-OH沉积在金叉指电极上制备了有机磷传感器,并对其性能进行了初步评价,结果表明,在实验条件下,PEDOT-OH膜的厚度随着旋涂溶液浓度的增加而增加,其掺杂程度也随之增长.所制备的传感器具有良好的响应性、灵敏性和重复性. 展开更多
关键词 化学气相沉积 羟基功能化3 4-乙烯二氧噻吩 气体传感器
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Transfer-free CVD graphene for highly sensitive glucose sensors 被引量:1
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作者 Shijing Wei Yabin Hao +7 位作者 Zhe Ying Chuan Xu Qinwei Wei Sen Xue Hui-Ming Cheng Wencai Ren Lai-Peng Ma You Zeng 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第2期71-76,共6页
Chemical vapor deposition(CVD)graphene film is a promising electrode-modifying material for fabricating high-performance glucose sensor due to its high electrical conductivity and two-dimensional structure over large ... Chemical vapor deposition(CVD)graphene film is a promising electrode-modifying material for fabricating high-performance glucose sensor due to its high electrical conductivity and two-dimensional structure over large area.However,the use of typical metal-based CVD graphene suffers from the residue contamination of polymer transfer-support and heavy metal ions.In this work,we directly grew fewlayer graphene on the SiO2/Si substrate without transfer process and then fabricated graphene-based glucose sensors by sequentially immobilizing glucose oxidase and depositing Nafion layer on its surface that was functionalized by oxygen-plasma treatment.Our transfer-and metal-free process shows distinct advantage over the common metal-CVD method in improving the electrochemical performance by eliminating the contamination of transfer-residue.Thus-obtained glucose sensor shows a high sensitivity(16.16μA mM-1cm-2)with a detection limit of 124.19μM.This method is simple and promising for the development of highly sensitive glucose sensors. 展开更多
关键词 GRAPHENE chemical vapor DEPOSITION Transfer-free Oxygen-plasma treatment GLUCOSE sensor
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新颖的TiO2@C核壳结构纳米纤维阵列电极制备及其在电化学传感器中的应用
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作者 陈荣生 胡良胜 +4 位作者 张旭明 付继江 霍开富 朱剑豪 程介克 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2542-2544,共3页
In this paper we describe a new method to fabricate TiO2@C core-shell nanofiber arrays for electrochemical sensing.The TiO2@C nanofiber arrays have been produced directly on titanium surface under acetone vapor at 800... In this paper we describe a new method to fabricate TiO2@C core-shell nanofiber arrays for electrochemical sensing.The TiO2@C nanofiber arrays have been produced directly on titanium surface under acetone vapor at 800 ℃.This TiO2@C core-shell nanofiber arrays have the 40 nm TiO2 core in diameter and 5—10 nm carbon shell in thickness and show good electrochemical behaviors.The cyclic voltammogram in 1.0×10-3 mol/L K3Fe(CN)6 is quasi-reversible.The amperometric response increases linearly with the increase of the concentration of dopamine in the range of 1.0×10-7—1.0×10-4 mol/L.The detection limit(S/N=3)of dopamine is 2.45×10-8 mol/L. 展开更多
关键词 纳米碳纤维 化学气相沉积 电化学传感器 多巴胺
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基于化学气相沉积石墨烯的传感器的研究进展 被引量:2
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作者 张建华 王朋厂 杨连乔 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第15期15072-15080,共9页
作为一种二维碳原子层材料,石墨烯(Graphene,G)具有优异且独特的力学、电学、光学和热学等性质,在传感检测等领域具有巨大的发展潜力和广阔的应用前景。基于石墨烯材料的传感器具有灵敏度高、响应快、成本低、稳定性好等优点。化学气相... 作为一种二维碳原子层材料,石墨烯(Graphene,G)具有优异且独特的力学、电学、光学和热学等性质,在传感检测等领域具有巨大的发展潜力和广阔的应用前景。基于石墨烯材料的传感器具有灵敏度高、响应快、成本低、稳定性好等优点。化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)因其优异的可控性和可扩展性而被认为是制备大面积、高质量石墨烯薄膜的有效方法,而且CVD石墨烯薄膜适用于场效应晶体管的制造工艺,因此被广泛应用于物理、化学和生物等传感领域。本文介绍了近年来CVD石墨烯应用于传感检测领域的研究进展,包括制备技术、转移方法、传感特性以及在物理、化学、生物等传感领域的应用,并简要分析了基于CVD石墨烯的传感器所面临的困难与挑战。 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相沉积 传感器 场效应晶体管
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The study of adsorption gas sensor based carbon nanotube film
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作者 LI Xin1, LIU Junhua2 & ZHU Changchun1 1. School of Electronic and Information Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China 2. School of Electric Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2005年第4期372-384,共13页
The study of gas sensitivity of multi-wall carbon nanotubes (MWNTs), which is deposited by low press chemical vapor deposition (LPCVD), is presented. The results show that the pure MWNTs are not sensitive to the gases... The study of gas sensitivity of multi-wall carbon nanotubes (MWNTs), which is deposited by low press chemical vapor deposition (LPCVD), is presented. The results show that the pure MWNTs are not sensitive to the gases measured, while the composite film consisting of the MWNTs and silicon dioxide is sensitive to the methane, the hydrogen and the acetylene. The MWNTs and silicon dioxide composite film have the capacitance characteristic because of the formation of Schottky junctions within the MWNTs. The chemistry adsorption of the gas measured on the surface of the MWNTs affects the space discharge area of the Schottky junction, so that the dielectric constant changes with the gas concentration. That is why the gas is sensed. 展开更多
关键词 gas sensor CARBON nanotubes low PRESS chemical vapor deposition scatter.
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氧化锌/石墨烯复合膜对可燃气体响应的温度依赖性 被引量:1
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作者 赵洪全 高素梅 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2016年第12期1664-1666,共3页
通过化学气相沉积法制备了石墨烯,采用电沉积工艺在石墨烯表面沉积了氧化锌层,获得氧化锌/石墨烯复合膜,利用场发射扫描电子显微镜观察了样品的形貌,测试了石墨烯、氧化锌及氧化锌/石墨烯复合膜气敏元件对乙醇的气敏响应特性。结果表明... 通过化学气相沉积法制备了石墨烯,采用电沉积工艺在石墨烯表面沉积了氧化锌层,获得氧化锌/石墨烯复合膜,利用场发射扫描电子显微镜观察了样品的形貌,测试了石墨烯、氧化锌及氧化锌/石墨烯复合膜气敏元件对乙醇的气敏响应特性。结果表明,所制备的复合膜是氧化锌为壳,石墨烯片为核的核壳状复合纳米片结构;氧化锌/石墨烯复合膜对乙醇的响应信号最大、最稳定,而该元件对乙醇的响应信号对温度具有很强的依赖性,在300℃高温下仍可正常使用。 展开更多
关键词 石墨烯 氧化锌 化学气相沉积 电沉积 气敏元 可燃气体
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基于石墨烯的光纤甲苯传感研究
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作者 肖毅 郑振东 +3 位作者 李坤晓 梁振荣 马可真 陈仡林 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第6期109-118,共10页
利用还原氧化石墨烯和侧边抛磨光纤制作了一种新型的基于石墨烯的光纤甲苯传感器。传感器可在室温环境下工作,响应及恢复时间均约为256 s,对甲苯浓度(体积分数)的最低检出限小于等于7.9×10-5。传感器在对低浓度甲苯的探测中具有良... 利用还原氧化石墨烯和侧边抛磨光纤制作了一种新型的基于石墨烯的光纤甲苯传感器。传感器可在室温环境下工作,响应及恢复时间均约为256 s,对甲苯浓度(体积分数)的最低检出限小于等于7.9×10-5。传感器在对低浓度甲苯的探测中具有良好的线性及可恢复性。基于传感机理理论模型的估算表明,石墨烯的掺杂水平对传感器的灵敏度具有重要影响,石墨烯化学势的适当提高可以显著提升传感器的灵敏度。滞留水分子对传感所带来的影响也可通过对湿度的监测和控制加以评估及利用。传感器在实现低功耗、低制作成本、较高的灵敏度、快速响应及可有效恢复的甲苯探测中具有很大潜力。 展开更多
关键词 光纤光学 光纤甲苯传感器 还原氧化石墨烯 侧边抛磨光纤 化学气体传感器
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磁激励RF-PECVD法低温制备类金刚石薄膜及其特性 被引量:2
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作者 肖琦 杨保和 朱珊珊 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1332-1336,共5页
采用磁激励射频等离子体增强化学气相沉积(M-RF-PECVD)方法,室温下分别在玻璃和Si(100)衬底上制备类金刚石(DLC)薄膜,通过扫描电镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和Raman光谱对不同沉积条件下制备的薄膜进行表征。结果表明,在反应压强为30... 采用磁激励射频等离子体增强化学气相沉积(M-RF-PECVD)方法,室温下分别在玻璃和Si(100)衬底上制备类金刚石(DLC)薄膜,通过扫描电镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和Raman光谱对不同沉积条件下制备的薄膜进行表征。结果表明,在反应压强为30 Pa、入射功率为50 W、CH4/Ar=5/90、衬底温度为40℃的实验条件下,制备的含氢DLC薄膜表面平整、结构致密,膜基结合度良好,薄膜中以sp3键为主。 展开更多
关键词 磁激励 射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD) 低温 类金刚石(DLC) 声表面波(SAW) 气体传感器
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MO-PECVD SnO_(2-x)气敏薄膜 被引量:1
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作者 李支文 冯蕴道 +1 位作者 崔宇平 沈瑜生 《功能材料》 EI CAS CSCD 1993年第2期123-128,共6页
以金属有机化合物(MO)四甲基锡[sn(CH_3)_4]为源物质,利用等离子体增强化学气相沉积技术,分别在单晶硅片、三氧化二铝陶瓷基片上淀积了纯净的SnO_(2-x)薄膜,对淀积的一些工艺条件,膜的结构、成分和薄膜元件的气敏性能进行了研究,并与普... 以金属有机化合物(MO)四甲基锡[sn(CH_3)_4]为源物质,利用等离子体增强化学气相沉积技术,分别在单晶硅片、三氧化二铝陶瓷基片上淀积了纯净的SnO_(2-x)薄膜,对淀积的一些工艺条件,膜的结构、成分和薄膜元件的气敏性能进行了研究,并与普通PECVDSnO_(2-x)薄膜元件的气敏性能作了比较,对SnO_(2-x)膜的气敏机理作了探讨。 展开更多
关键词 半导体材料 气敏薄膜 气相淀积
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