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题名基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法
被引量：6
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作者
李竞男
鲍爱达
秦丽
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机构
中北大学仪器与电子学院
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016年第11期280-285,共6页
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基金
国家自然科学基金(51375463)
山西省自然科学基金(2014011021-5)
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文摘
针对传统激光功率计体积庞大、响应速度慢且检测精度难以保证的缺陷,提出了一种基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法。该测试方法利用激光的热效应,以CO2激光器为被测激光光源,黑硅MEMS热电堆探测器为激光探测传感器。根据能量转换原理,热电堆吸收激光辐射的能量转换为自身热力学能,热力学能以电压的形式输入CMOS接口电路。通过TopView2000通用虚拟仪器应用软件采集和处理数据,获得激光功率相关数据。在室温条件下,对MEMS热电堆激光功率检测系统在不同占空比和不同出光时间的CO2激光照射下,进行重复实验。结果表明,在激光输出占空比为30%、总出光时间为150 ms条件下,系统热响应时间为14.92ms,计算出激光功率值为23.01 W,测量相对偏差为0.55%,满足了实际应用中对激光功率高精度、低成本、低功耗、强便携性等的需求。
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关键词
光电子学
光电检测
激光功率测量
CMOS接口电路
黑硅mems热电堆探测器
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Keywords
optoelectronics
photoelectric detection
laser power measurement
CMOS interface circuit
black silicon mems thermopile detector
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分类号
TH247
[机械工程—机械制造及自动化]
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