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可见光区大角度减反射光学薄膜制备工艺研究
1
作者
曹一鸣
卫红
+1 位作者
王小辉
唐振方
《光学与光电技术》
2012年第2期97-100,共4页
为获得可见光波长范围的大角度减反射光学薄膜,采用电子束蒸发斜角蒸镀工艺,按照设计好的膜系,通过蒸镀一系列低折射率膜层,最终得到在380～780nm波长间,入射角0～70°,平均反射率低于1%的光学薄膜。实验结果表明利用斜角蒸镀工艺...
为获得可见光波长范围的大角度减反射光学薄膜,采用电子束蒸发斜角蒸镀工艺,按照设计好的膜系,通过蒸镀一系列低折射率膜层,最终得到在380～780nm波长间,入射角0～70°,平均反射率低于1%的光学薄膜。实验结果表明利用斜角蒸镀工艺镀制出折射率从基底到空气的渐变多层膜结构以取得优良的减反射效果是可行的。
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关键词
可见光区
大入射角度
减反射薄膜
斜角蒸镀
原文传递
题名
可见光区大角度减反射光学薄膜制备工艺研究
1
作者
曹一鸣
卫红
王小辉
唐振方
机构
广州市光机电技术研究院
暨南大学理工学院物理系
出处
《光学与光电技术》
2012年第2期97-100,共4页
基金
广州市科技攻关项目(2008Z1-D581)资助项目
文摘
为获得可见光波长范围的大角度减反射光学薄膜,采用电子束蒸发斜角蒸镀工艺,按照设计好的膜系,通过蒸镀一系列低折射率膜层,最终得到在380～780nm波长间,入射角0～70°,平均反射率低于1%的光学薄膜。实验结果表明利用斜角蒸镀工艺镀制出折射率从基底到空气的渐变多层膜结构以取得优良的减反射效果是可行的。
关键词
可见光区
大入射角度
减反射薄膜
斜角蒸镀
Keywords
visible
range
big
incident angle
antireflective
film
glancing
angle
deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
可见光区大角度减反射光学薄膜制备工艺研究
曹一鸣
卫红
王小辉
唐振方
《光学与光电技术》
2012
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