期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制
被引量：
2
1
作者
董晓文
司卫华
顾文琪
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期140-144,共5页
本文介绍了紫外纳米压印技术原理,以及工艺中模板与基片的平行度对压印质量的影响。研制了气囊气缸式真空紫外纳米压印设备,其通过气囊气缸使模板与基片平行,从而可在大面积基片上确保压力均匀。研制了相应的光学系统,着重讨论了如何实...
本文介绍了紫外纳米压印技术原理,以及工艺中模板与基片的平行度对压印质量的影响。研制了气囊气缸式真空紫外纳米压印设备,其通过气囊气缸使模板与基片平行,从而可在大面积基片上确保压力均匀。研制了相应的光学系统,着重讨论了如何实现紫外纳米压印以及光学系统的设计和调整。制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100nm特征的5cm×5cm面积的纳米结构图形。
展开更多
关键词
纳米压印
紫外
光学系统
气囊气缸
真空
下载PDF
职称材料
快关大口径波纹管闸阀气动执行机构设计
被引量：
1
2
作者
吴志军
吴尖斌
+5 位作者
钱勇
孙宁山
程强
王飞
吴俐玲
袁永喜
《阀门》
2022年第1期15-18,共4页
文章对波纹管闸阀的关键结构和功能要求进行了阐述,并根据波纹管闸阀性能要求对执行器推力进行计算。分别从执行器推力计算、执行机构定型设计以及气路原理图的设计等方面,进行了快关大口径波纹管闸阀气动执行机构的设计。
关键词
气动波纹管闸阀
紧急切断
执行机构
双作用气缸
下载PDF
职称材料
题名
气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制
被引量：
2
1
作者
董晓文
司卫华
顾文琪
机构
中国科学院电工研究所
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期140-144,共5页
文摘
本文介绍了紫外纳米压印技术原理,以及工艺中模板与基片的平行度对压印质量的影响。研制了气囊气缸式真空紫外纳米压印设备,其通过气囊气缸使模板与基片平行,从而可在大面积基片上确保压力均匀。研制了相应的光学系统,着重讨论了如何实现紫外纳米压印以及光学系统的设计和调整。制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100nm特征的5cm×5cm面积的纳米结构图形。
关键词
纳米压印
紫外
光学系统
气囊气缸
真空
Keywords
nano
imprint
UV
optical
system
bellows
cylinder
vacuum
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
快关大口径波纹管闸阀气动执行机构设计
被引量：
1
2
作者
吴志军
吴尖斌
钱勇
孙宁山
程强
王飞
吴俐玲
袁永喜
机构
安徽省屯溪高压阀门有限公司
出处
《阀门》
2022年第1期15-18,共4页
文摘
文章对波纹管闸阀的关键结构和功能要求进行了阐述,并根据波纹管闸阀性能要求对执行器推力进行计算。分别从执行器推力计算、执行机构定型设计以及气路原理图的设计等方面,进行了快关大口径波纹管闸阀气动执行机构的设计。
关键词
气动波纹管闸阀
紧急切断
执行机构
双作用气缸
Keywords
pneumatic
bellows
gate
valve
emergency
cut-off
actuator
dual-acting
cylinder
分类号
TH134 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制
董晓文
司卫华
顾文琪
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
下载PDF
职称材料
2
快关大口径波纹管闸阀气动执行机构设计
吴志军
吴尖斌
钱勇
孙宁山
程强
王飞
吴俐玲
袁永喜
《阀门》
2022
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
