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题名移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定
被引量：2
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作者
宋莹
赵旭龙
姜岩秀
巴音贺希格
齐向东
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光栅技术研究中心
中国科学院大学
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期227-234,共8页
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基金
国家自然科学基金国家重大科研仪器设备研制专项(61227901)
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023)
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文摘
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测器的最佳探测位置。结合分光及相位调整功能,给出了分束光栅参数的设计方法。针对光栅曝光特点设计了控制器。从理论上对比了分束光栅与压电反射镜的相位调整性能。实验结果表明,采样频率为500Hz时,干涉条纹的低频漂移得到有效抑制,相位锁定精度达到0.13rad(3σ),即条纹漂移量低于±0.021个周期。该方法可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,提高曝光对比度。且分束光栅偏转对条纹周期影响小,相位调整性能仅与分束光栅参数相关,便于光路设计。
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关键词
全息
全息光栅
干涉条纹锁定
分束光栅
叠栅条纹
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Keywords
holography
holographic grating
interference fringe locking
beam splitter grating
Moire fringe
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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