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曲靖非相干散射雷达空间碎片实测数据分析 被引量:7
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作者 丁宗华 杨嵩 +4 位作者 江海 代连东 唐志美 许正文 吴健 《空间碎片研究》 2018年第1期12-19,共8页
文中分析了曲靖非相干散射雷达实测空间碎片数据,主要结果包括:1)空间碎片主要分布在600~1100km和1400~1500km两个距离区间,特别是在800km和1000km出现两个峰值;2)径向速度主要分布在-2~2km/s; 3)对于780km的探测距离门,探测流量约7... 文中分析了曲靖非相干散射雷达实测空间碎片数据,主要结果包括:1)空间碎片主要分布在600~1100km和1400~1500km两个距离区间,特别是在800km和1000km出现两个峰值;2)径向速度主要分布在-2~2km/s; 3)对于780km的探测距离门,探测流量约7个/小时,低于北极雷达观测结果,但与空间碎片流量模型可比拟;4)与编目库对比发现该雷达可探测1000km的18cm或500km的5cm目标;5)距离测量误差约1.47km,位置测量误差约15km; 6)不同指向时雷达实际探测的空间碎片数目不同,但与基于编目库目标仿真结果的基本特征一致;7)可能具备发现未知小尺寸(小于8cm)空间碎片的能力,但需更多数据验证分析;8)实测的空间碎片散射回波有时会出现周期性振荡现象,表明空间碎片穿过雷达波束期间可能处于周期性运动状态,其周期长短不一。 展开更多
关键词 非相干散射雷达 空间碎片 凝视 流量
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不同材料和不同能通量条件下电子束喷射冲量的实验研究 被引量:6
2
作者 彭常贤 谭红梅 +2 位作者 胡泽根 林鹏 刘晋 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期15-21,共7页
介绍了采用直接测量特定时间间隔系列和微型红外通光式传感技术的探头原理,在“闪光二号”电子束装置上进行的喷射冲量随不同材料和不同能通量而变化的实验研究。实验结果表明,在能通量大体相同时,A和B这两种特种材料的喷射冲量耦... 介绍了采用直接测量特定时间间隔系列和微型红外通光式传感技术的探头原理,在“闪光二号”电子束装置上进行的喷射冲量随不同材料和不同能通量而变化的实验研究。实验结果表明,在能通量大体相同时,A和B这两种特种材料的喷射冲量耦合系数分别只有LY12铝的1/3和1/2左右。 展开更多
关键词 电子束 喷射冲量 多层材料 编织材料 能通量
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保护渣对连铸异型坯表面质量的影响 被引量:5
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作者 乌力平 李建中 +1 位作者 汤寅波 沙学广 《炼钢》 CAS 北大核心 2004年第6期40-44,共5页
文中分析了结晶器保护渣对连铸异型坯质量的影响,主要讨论了异型坯腹板纵裂纹、表面针孔及翼缘端部凹陷等铸坯质量缺陷,特别是对表面针孔缺陷做了热力学计算,从理论上分析了异型坯产生缺陷的原因,提出了适合马钢异型坯连铸结晶器保护渣... 文中分析了结晶器保护渣对连铸异型坯质量的影响,主要讨论了异型坯腹板纵裂纹、表面针孔及翼缘端部凹陷等铸坯质量缺陷,特别是对表面针孔缺陷做了热力学计算,从理论上分析了异型坯产生缺陷的原因,提出了适合马钢异型坯连铸结晶器保护渣的主要指标和性能。 展开更多
关键词 异型坯 保护渣 腹板纵裂纹 表面针孔
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受电子束辐照的硬铝靶的喷射冲量耦合系数随能通量的变化规律 被引量:4
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作者 彭常贤 谭红梅 +2 位作者 胡泽根 林鹏 刘晋 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期127-135,共9页
采用通光式传感法和直接测量特定时间间隔的探头原理,在“闪光2号”装置上进行了电子束辐照硬铝靶产生的喷射冲量耦合系数与能通量关系的研究。结果表明:在能通量为115~240J/cm~2范围内,喷射冲量和亏损质量面密度都随... 采用通光式传感法和直接测量特定时间间隔的探头原理,在“闪光2号”装置上进行了电子束辐照硬铝靶产生的喷射冲量耦合系数与能通量关系的研究。结果表明:在能通量为115~240J/cm~2范围内,喷射冲量和亏损质量面密度都随能通量近似线性变化,而喷射冲量耦合系数随能通量增大而缓慢递增,并趋于一渐近值;硬铝产生喷射冲量的能通量阈值为40J/cm~2左右;喷射冲量值为81~218Pa·s,亏损质量面密度为3.1× 10^(-2)~8.6×10^(-2)g/cm~2,喷射冲量耦合系数为0.70~0.98Pa·s/(J/cm ~2)。 展开更多
关键词 电子束 喷射冲量 能通量 结构响应 冲击载荷
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Control of Beam Energy and Flux Ratio in an Ion-Beam-Background Plasma System Produced in a Double Plasma Device
5
作者 WEI Zian MAJinxiu +2 位作者 LI Yuanrui SUN Yan JIANG Zhengqi 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第11期1076-1080,共5页
Plasmas containing ion beams have various applications both in plasma technology and in fundamental research. The ion beam energy and flux are the two factors characterizing the beam properties. Previous studies have ... Plasmas containing ion beams have various applications both in plasma technology and in fundamental research. The ion beam energy and flux are the two factors characterizing the beam properties. Previous studies have not achieved the independent adjustment of these two parameters. In this paper, an ion-beam-background-plasma system was produced with hotcathode discharge in a double plasma device separated by two adjacent grids, with which the beam energy and flux ratio (the ratio between the beam flux and total ion flux) can be controlled independently. It is shown that the discharge voltage (i.e., voltage across the hot-cathode and anode) and the voltage drop between the two separation grids can be used to effectively control the beam energy while the flux ratio is not affected by these voltages. The flux ratio depends sensitively on hot-filaments heating current whose influence on the beam energy is relatively weak, and thus enabling approximate control of the flux ratio 展开更多
关键词 ion beam background plasma beam energy flux ratio
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Ar^+及沉积气压对离子溅射制备铜钨复合膜结构的影响 被引量:2
6
作者 曾莹莹 艾永平 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2010年第4期76-78,共3页
研究双离子束溅射组装铜钨复合膜Ar+能量及束流对膜影响。用XRD分析溅射沉积后的薄膜结构。实验结果表明,随靶Ar+能量和束流增加,铜钨膜向晶态化转变。铜钨复合膜的沉积速率主要由钨靶Ar+束流决定,并且增加气压会使复合膜晶粒尺寸变小,... 研究双离子束溅射组装铜钨复合膜Ar+能量及束流对膜影响。用XRD分析溅射沉积后的薄膜结构。实验结果表明,随靶Ar+能量和束流增加,铜钨膜向晶态化转变。铜钨复合膜的沉积速率主要由钨靶Ar+束流决定,并且增加气压会使复合膜晶粒尺寸变小,固溶进钨的铜原子也会相应减少。 展开更多
关键词 铜钨薄膜 离子束溅射 Ar+能量 束流 晶粒度
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Design of an efficient monochromatic electron source for inverse photoemission spectroscopy 被引量:1
7
作者 耿东平 杨迎国 +2 位作者 刘树虎 洪才浩 高兴宇 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2014年第11期115-120,共6页
A design for an efficient monochromatic electron source for Inverse Photoemission Spectroscopy (IPES) apparatus is described. The electron source consists of a BaO cathode, a focus electrostatic lens, a hemispherica... A design for an efficient monochromatic electron source for Inverse Photoemission Spectroscopy (IPES) apparatus is described. The electron source consists of a BaO cathode, a focus electrostatic lens, a hemispherical deflection monochromator (HDM), and a transfer electrostatic lens. The HDM adopts a “slit-in and slit-out” structure and the degradation of first-order focusing is corrected by two electrodes between the two hemispheres, which has been investigated by both analytical methods and electron-ray tracing simulations using the SIMION program. Through the focus lens, the HDM, and the standard five-element transfer lens, an optimal energy resolution is estimated to be about 53 MeV with a beam flux of 27 μA. Pass energy (P.E.) of 10 eV and 5 eV are discussed, respectively. 展开更多
关键词 beam flux electrostatic lens hemispherical deflection monochromator fringing effect energy resolu-tion SIMION
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异型坯加热过程数值模拟 被引量:1
8
作者 王静宇 李国军 王晓东 《冶金能源》 2022年第3期23-26,53,共5页
异型坯的加热过程是生产高质量H型钢的关键步骤之一,为了能够更好地了解异型坯在加热炉内的换热,文章建立了异型坯加热炉二维段法数学模型。基于异型坯加热炉传热模型,求解得到了加热炉内部温度分布及异型坯温度场,研究了异型坯表面热... 异型坯的加热过程是生产高质量H型钢的关键步骤之一,为了能够更好地了解异型坯在加热炉内的换热,文章建立了异型坯加热炉二维段法数学模型。基于异型坯加热炉传热模型,求解得到了加热炉内部温度分布及异型坯温度场,研究了异型坯表面热流分布规律和炉围黑度对异型坯加热过程及排烟温度的影响。文章研究结果可为确定异型坯加热炉的热工制度和异型坯生产过程的在线监控提供一定的理论参考。 展开更多
关键词 异型坯 传热模型 热流 炉围黑度
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Bessel光束的矢量分析及其能流密度的特征 被引量:2
9
作者 刘雅洁 杨性愉 《量子光学学报》 CSCD 北大核心 2006年第3期171-175,共5页
通过比较自由空间Besssel光束标量解E(r,t)满足的方程和光场矢量E(r,t)与矢量势A(r,t)之间的关系表达式,利用Bessel的特点,合理构造了矢量势A(r,t)的具体形式,推导出电场量E(r,t)的磁场量B(r,t)各分量满足的具体形式。通过数值计算,给... 通过比较自由空间Besssel光束标量解E(r,t)满足的方程和光场矢量E(r,t)与矢量势A(r,t)之间的关系表达式,利用Bessel的特点,合理构造了矢量势A(r,t)的具体形式,推导出电场量E(r,t)的磁场量B(r,t)各分量满足的具体形式。通过数值计算,给出电场E(r,t)在不同参数θ,φ下与径向坐标ρ之间的关系图线(图1,图2),发现由方程(6)描述的标量解仅是矢量场E(r,t)(方程15描述)在小θ下的近似。通过对能量传输特性的讨论,说明“超光速”的提法是不恰当的。 展开更多
关键词 BESSEL光束 矢量势 标量势 能流密度
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加速器质谱用NH_4HfF_5的分离条件及热稳定性研究
10
作者 姜涛 杨君 +1 位作者 杨通在 何玉晖 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期69-72,共4页
研究了不同淋洗液浓度对加速器质谱测量用NH4HfF5制样过程中阳离子交换产额的影响,用重量法对阳离子交换产额进行了测量。研究了多相法合成的NH4HfF5样品热稳定性,用XRD表征了不同温度处理下样品物相的变化情况。研究了三种(液相、固相... 研究了不同淋洗液浓度对加速器质谱测量用NH4HfF5制样过程中阳离子交换产额的影响,用重量法对阳离子交换产额进行了测量。研究了多相法合成的NH4HfF5样品热稳定性,用XRD表征了不同温度处理下样品物相的变化情况。研究了三种(液相、固相和多相)合成方法对样品中180HfF5-离子束流和19F-/16O-比值的影响,用离子源进行了测量。结果表明:在阳离子交换过程选择60mL 1mol/L HCl为淋洗液时,阳离子交换产额可达97%。多相法合成的NH4HfF5样品在573K热处理1h后物相转变为NH4Hf2F9,在773 K、973 K、1173 K和1373 K热处理1h后物相则转变为HfO2,说明在热处理温度高于573 K后NH4HfF5热稳定较差。多相法合成的NH4HfF5样品中19F-/16O-比值能达到35,180HfF5-离子束流能达到560 nA,优于液相和固相法合成的样品。 展开更多
关键词 加速器质谱 NH4HfF5 分离 热稳定性 束流
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光纤角位移传感器的设计与应用 被引量:24
11
作者 陈安健 《传感器技术》 CSCD 2000年第5期19-21,共3页
利用分叉光纤束和特殊设计的金属温度自补偿旋转杆件作为传感器的核心元件。当受力产生扭转矩 ,驱使杆件敏感变形 ,反射镜系统端面与光纤端面之间产生扭转角位移 ,光通量变化。经后续信号电路系统的技术处理 ,即可获得角位移的线性输出... 利用分叉光纤束和特殊设计的金属温度自补偿旋转杆件作为传感器的核心元件。当受力产生扭转矩 ,驱使杆件敏感变形 ,反射镜系统端面与光纤端面之间产生扭转角位移 ,光通量变化。经后续信号电路系统的技术处理 ,即可获得角位移的线性输出、显示。 展开更多
关键词 分叉光纤束 旋转轩件 角位移传感器 温度自补偿
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镁合金的低功率激光活性焊 被引量:14
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作者 孙昊 张兆栋 刘黎明 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期49-52,57,共5页
试验研究几种常见活性剂对镁合金激光焊接过程的影响。结果表明,在低功率激光条件下,氧化物和氯化物活性剂能够增加镁合金激光焊接的熔深和深宽比。试验中,SiO2能够增加焊接熔深220%左右,证明通过使用活性剂来增加熔深,降低镁合金薄板... 试验研究几种常见活性剂对镁合金激光焊接过程的影响。结果表明,在低功率激光条件下,氧化物和氯化物活性剂能够增加镁合金激光焊接的熔深和深宽比。试验中,SiO2能够增加焊接熔深220%左右,证明通过使用活性剂来增加熔深,降低镁合金薄板激光焊接的成本是可行的;焊接热输入是影响活性激光焊熔深的重要参数;熔深增加的主要原因是活性剂微细粉末在激光作用初期增加对激光能量的吸收率。 展开更多
关键词 镁合金 激光焊接 活性剂 氧化物
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Thermodynamic analysis and simulation for gas baffle entrance collimator of EAST-NBI system based on thermo-fluid coupled method 被引量:5
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作者 Ling Tao Chun-Dong Hu Yuan-Lai Xie 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2018年第1期90-95,共6页
The world's first full Experimental Advanced Superconducting Tokamak(EAST) is designed with the auxiliary heating method of neutral beam injection(NBI)system. Beam collimators are arranged on both sides of the bea... The world's first full Experimental Advanced Superconducting Tokamak(EAST) is designed with the auxiliary heating method of neutral beam injection(NBI)system. Beam collimators are arranged on both sides of the beam channel for absorbing the divergence beam during the beam transmission process in the EAST-NBI system.The gas baffle entrance collimator(GBEC) is a typical high-heat-flux component located at the entrance of gas baffle. An efficient and accurate analysis of its thermodynamic performance is of great significance to explore the working limit and to ensure safe operation of the system under a high-parameter steady-state condition. Based on the thermo-fluid coupled method, thermodynamic analysis and simulation of GBEC is performed to get the working states and corresponding operating limits at different beam extraction conditions. This study provides a theoretical guidance for the next step to achieve long pulse with highpower experimental operation and has an important reference to ensure the safe operation of the system. 展开更多
关键词 Neutral beam injection High-heat-flux component beam COLLIMATOR Thermo-fluid coupled method Thermodynamic analysis
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任意偏振态光束全反射时的侧向和横向位移 被引量:7
14
作者 周惠玲 陈玺 李春芳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1852-1856,共5页
光束在电介质界面发生全反射时,实际反射光束会在入射面内相对于几何反射光束产生一侧向位移,在垂直于入射面的方向产生一横向位移。利用改进的能流法研究了任意偏振态光束发生全反射时的侧向和横向位移特性。研究表明,侧向位移的大小... 光束在电介质界面发生全反射时,实际反射光束会在入射面内相对于几何反射光束产生一侧向位移,在垂直于入射面的方向产生一横向位移。利用改进的能流法研究了任意偏振态光束发生全反射时的侧向和横向位移特性。研究表明,侧向位移的大小与入射光束的两组成部分———TE和TM偏振光的相位差无关,而与两组分的光强比密切相关,且该位移可以表示为TE和TM偏振光束各自的位移按光强的加权平均。横向位移的大小不仅与入射光束两组分的光强比相关,还与组分的相位差密切相关。另外,反射光束不仅在椭圆偏振态入射的情况下会产生横向位移,而且在TE和TM偏振态之外的其他线偏振态入射时,也会产生横向位移。 展开更多
关键词 物理光学 光束位移 能流法 偏振
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半抛物槽式聚光分频光伏系统的性能分析 被引量:6
15
作者 江守利 陈则韶 +1 位作者 胡芃 莫松平 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期365-369,共5页
设计了一种包含13层膜系的分频器,建立了考虑太阳张角影响的三维光学模型,研究了分频对半抛物槽式聚光光伏系统的光、热、电性能的影响,得到了系统能量的光谱分布及光伏电池平面能流密度分布。计算结果表明,系统对AM1.5太阳光谱的光学... 设计了一种包含13层膜系的分频器,建立了考虑太阳张角影响的三维光学模型,研究了分频对半抛物槽式聚光光伏系统的光、热、电性能的影响,得到了系统能量的光谱分布及光伏电池平面能流密度分布。计算结果表明,系统对AM1.5太阳光谱的光学效率为58.7%,对不同聚光镜开口应选择最优电池倾角以获得最均匀的能流密度;采用分频可以降低电池温度提高聚光系统的聚光比以及光电转换效率。 展开更多
关键词 聚光光伏系统 分频技术 能流密度
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Effect of the W-beam central guardrails on wind-blown sand deposition on desert expressways in sandy regions 被引量:5
16
作者 WANG Cui LI Shengyu +2 位作者 LEI Jiaqiang LI Zhinong CHEN Jie 《Journal of Arid Land》 SCIE CSCD 2020年第1期154-165,共12页
Many desert expressways are affected by the deposition of the wind-blown sand,which might block the movement of vehicles or cause accidents.W-beam central guardrails,which are used to improve the safety of desert expr... Many desert expressways are affected by the deposition of the wind-blown sand,which might block the movement of vehicles or cause accidents.W-beam central guardrails,which are used to improve the safety of desert expressways,are thought to influence the deposition of the wind-blown sand,but this has yet not to be studied adequately.To address this issue,we conducted a wind tunnel test to simulate and explore how the W-beam central guardrails affect the airflow,the wind-blown sand flux and the deposition of the wind-blown sand on desert expressways in sandy regions.The subgrade model is 3.5 cm high and 80.0 cm wide,with a bank slope ratio of 1:3.The W-beam central guardrails model is 3.7 cm high,which included a 1.4-cm-high W-beam and a 2.3-cm-high stand column.The wind velocity was measured by using pitot-static tubes placed at nine different heights(1,2,3,5,7,10,15,30 and 50 cm)above the floor of the chamber.The vertical distribution of the wind-blown sand flux in the wind tunnel was measured by using the sand sampler,which was sectioned into 20 intervals.In addition,we measured the wind-blown sand flux in the field at K50 of the Bachu-Shache desert expressway in the Taklimakan Desert on 11 May 2016,by using a customized 78-cm-high gradient sand sampler for the sand flux structure test.Obstruction by the subgrade leads to the formation of two weak wind zones located at the foot of the windward slope and at the leeward slope of the subgrade,and the wind velocity on the leeward side weakens significantly.The W-beam central guardrails decrease the leeward wind velocity,whereas the velocity increases through the bottom gaps and over the top of the W-beam central guardrails.The vertical distribution of the wind-blown sand flux measured by wind tunnel follows neither a power-law nor an exponential function when affected by either the subgrade or the W-beam central guardrails.At 0.0H and 0.5H(where H=3.5 cm,which is the height of the subgrade),the sand transport is less at the 3 cm height from the subgrade surface than 展开更多
关键词 wind velocity field wind-blown sand flux W-beam central guardrails sand deposition desert expressway wind tunnel test Taklimakan Desert
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高通量中性原子氧束流的发生与控制 被引量:4
17
作者 沈嘉年 何砚发 +1 位作者 周龙江 李美栓 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期228-232,共5页
采用微波同轴耦合氧气放电产生高密度氧等离子体 ,经磁场约束后与一施加负偏压的金属板碰撞复合并反射 ,得到通量在 1 0 1 3~ 1 0 1 6 atoms·cm- 2·s- 1范围可控、动能约为 6~ 1 0 e V的中性氧原子束流。用双探针技术对生... 采用微波同轴耦合氧气放电产生高密度氧等离子体 ,经磁场约束后与一施加负偏压的金属板碰撞复合并反射 ,得到通量在 1 0 1 3~ 1 0 1 6 atoms·cm- 2·s- 1范围可控、动能约为 6~ 1 0 e V的中性氧原子束流。用双探针技术对生成的氧等离子体进行了诊断测量。 展开更多
关键词 原子氧束流 高通量 氧等离子体 复合 磁约束
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锈蚀钢筋混凝土梁受弯承载力与自发漏磁相关性试验研究 被引量:6
18
作者 邱俊澧 周建庭 +2 位作者 廖棱 张洪 黎小刚 《建筑结构学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期127-136,共10页
为探索锈蚀钢筋混凝土梁受弯承载力与自发漏磁的相关性,同时开展了锈蚀钢筋混凝土梁受弯承载力和自发漏磁检测试验。基于法拉第电解第一定律对试件进行不同程度电化学加速锈蚀,并采集了试件锈蚀后的自发漏磁信号,最后采用四点弯曲试验... 为探索锈蚀钢筋混凝土梁受弯承载力与自发漏磁的相关性,同时开展了锈蚀钢筋混凝土梁受弯承载力和自发漏磁检测试验。基于法拉第电解第一定律对试件进行不同程度电化学加速锈蚀,并采集了试件锈蚀后的自发漏磁信号,最后采用四点弯曲试验测定试件受弯承载力。结果表明:随着锈蚀加深,试件自发漏磁分量曲线出现愈发明显磁异变峰的同时,受弯承载力逐渐衰减,通过该磁异变峰可确定锈蚀区域并判断受弯承载力大致衰减程度。随着试件受弯承载力持续衰减,漏磁曲线梯度与邻增量均非线性单调增加,且该梯度和邻增量增长快慢均与受弯承载力损失快慢一致。梯度和邻增量均能昭示受弯承载力的大幅衰减,邻增量出现峰值点可作为受弯承载力为零的判据。 展开更多
关键词 钢筋混凝土梁 锈蚀 受弯承载力 静力试验 自发漏磁
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基于合光技术的可变焦激光探照灯设计
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作者 王轩宇 杨一涵 +3 位作者 石悦言 李阳 黄俐皓 隋国荣 《光学仪器》 2024年第3期80-86,共7页
为增加激光光源的光效,进一步实现远距离照明,可使用基于合光技术的方案,设计一种可变焦激光探照灯。采用多颗蓝光LD排成阵列的方法,利用玻璃反光碗的光回收技术,对激光探照灯进行光路设计;同时使用二向色片来控制发散角度,从而实现激... 为增加激光光源的光效,进一步实现远距离照明,可使用基于合光技术的方案,设计一种可变焦激光探照灯。采用多颗蓝光LD排成阵列的方法,利用玻璃反光碗的光回收技术,对激光探照灯进行光路设计;同时使用二向色片来控制发散角度,从而实现激光探照灯的可变焦控制。测量激光模组在1 A电流下输出的光通量,经计算,荧光陶瓷片出射的总光通量约为730 lm。此外,对匀光片的散射特性进行改变,可实现对聚焦激光光斑的控制。此研究实现了可变焦激光探照灯的光路设计以及对聚焦激光光斑的控制,并利用二向色片实现了蓝光和黄光混合白光输出。该光学系统的整体光效较高,有较强的实用意义。 展开更多
关键词 激光束合光 双光路激光模组 玻璃反光碗 光通量
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离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:5
20
作者 曹猛 李强 +2 位作者 杨莹 邓湘云 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期29-32,共4页
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜... 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当辅助束流为5mA时,多层膜硬度达到30.6GPa。基底温度的升高,会显著降低薄膜的残余应力,但对薄膜的硬度,摩擦系数没有明显影响。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 ZrN/TiAlN纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度
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