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光学元件一体化精密轴向调整机构的设计
被引量：
6
1
作者
郭抗
巩岩
+1 位作者
倪明阳
孙振
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第F12期261-266,共6页
为了使光学元件轴向调整机构满足调整行程大、调整精度高、结构紧凑和装调容易等要求，设计了一种一体化结构的光学元件轴向调整机构。结合有限元分析技术，建立了该型机构的参数化模型，并分析了主要设计参数对调整机构的调整行程、一...
为了使光学元件轴向调整机构满足调整行程大、调整精度高、结构紧凑和装调容易等要求，设计了一种一体化结构的光学元件轴向调整机构。结合有限元分析技术，建立了该型机构的参数化模型，并分析了主要设计参数对调整机构的调整行程、一阶固有频率和最大应力值等主要技术指标的影响。分结果表明，调整机构可以实现光学元件的精密轴向调整；柔性转轴片厚度和宽度分别为1mm和0．8mm，柔性导向片的厚度和长度分别为0．6mm和20mm，调整机构的调整量为67．45μm，一阶固有频率为119．1Hz，且机构的最大应力值小于材料的屈服极限。满足光学元件轴向调整机构的设计要求。
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关键词
光学器件
轴向调整机构
有限元分析
一体化结构
原文传递
无调整机构的小微挠性陀螺轴向静平衡研究
2
作者
蔡曜
司玉辉
+3 位作者
王玉琢
张少馨
齐明雁
杨晓龙
《航空精密制造技术》
2023年第4期34-39,共6页
针对小微挠性陀螺轴向静平衡调整问题,考虑无调整机构等约束条件,提出先轴向预平衡,再轴向精平衡的轴向静平衡调整方案。轴向预平衡包括理论计算法、静态测试法、权重结合法共3种方法;轴向精平衡包括△m增加法、△m减小法共两种方法。...
针对小微挠性陀螺轴向静平衡调整问题,考虑无调整机构等约束条件,提出先轴向预平衡,再轴向精平衡的轴向静平衡调整方案。轴向预平衡包括理论计算法、静态测试法、权重结合法共3种方法;轴向精平衡包括△m增加法、△m减小法共两种方法。工程应用表明,3种轴向预平衡方法均可行,权重结合法最优;轴向精平衡方法可调整指标至范围内,取得较好效果。
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关键词
小微挠性陀螺
轴向静平衡
无调整机构
轴向预平衡
轴向精平衡
原文传递
柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计
3
作者
郭抗
陈华男
+1 位作者
倪明阳
李显凌
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第B12期348-354,共7页
在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时，为了实现更大的调节行程，采用柔性环片结构，设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型，分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应力值、固有频率、...
在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时，为了实现更大的调节行程，采用柔性环片结构，设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型，分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应力值、固有频率、光学元件上下表面面形均方根（RMS）值等性能指标的影响。结果表明：轴向调节机构可实现299.2 μm的调节行程，且机构的最大应力值为141.3 MPa，固有频率值为95.3 Hz，光学元件上下表面的面形RMS值在1.3 nm以内，满足光刻投影物镜对轴向调节光学元件的使用需求。
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关键词
光学器件
轴向调节机构
有限元分析
柔性环片
原文传递
光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计
被引量：
3
4
作者
孙振
巩岩
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013年第10期93-99,共7页
为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构。在调节机构中采用V形柔性单元换向机构,实现运动的换向和传递。针对机构的调节行程、驱动力、一阶固有频率以及机构...
为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构。在调节机构中采用V形柔性单元换向机构,实现运动的换向和传递。针对机构的调节行程、驱动力、一阶固有频率以及机构传动比的要求,优化了V形柔性单元的结构尺寸参数。使用有限元方法分析了V形柔性单元的关键尺寸参数对机构性能的影响,得到机构调节行程可达±55μm,调节精度优于±10nm,一阶固有频率大于150Hz。同时仿真分析了该轴向调节机构对光学元件的热变形的影响,在20mW热载荷的作用下,该轴向调节机构导致光学元件面形变化为0.087nm[峰谷(PV)值]和0.013nm[均方根(RMS)值]。仿真结果证明该轴向调节机构对光学元件面形精度影响极小,满足光刻物镜应用要求。
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关键词
成像系统
光刻投影物镜
轴向调节机构
V形柔性单元
热变形
原文传递
动叶可调式轴流风机动调漏油案例分析与处理
被引量：
1
5
作者
陈熙
《电工技术》
2022年第18期210-212,共3页
动叶可调式轴流风机的动调机构漏油为常见的缺陷,严重影响风机的正常运行。从结构原理、漏油常见部位、具体案例等方面分析了动调机构漏油的原因及处理方法,为今后的轴流风机检修提供参考资料。
关键词
电厂轴流风机
动调机构
漏油
案例分析
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职称材料
轴流风机动叶调节机构故障率高的解决方案
6
作者
饶红建
《华电技术》
CAS
2015年第4期58-58,61,共2页
以华电新乡发电有限公司2台660 MW燃煤汽轮发电机组为例,分析了送风机和一次风机动叶调节机构故障率高的原因,提出了具体改型方案,实施后取得了良好效果。
关键词
轴流风机
动叶调节机构
故障
解决方案
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职称材料
防止工件轴向窜动焊接滚轮架控制机理研究
7
作者
沈风刚
薛锦
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第2期28-31,共4页
依据焊接滚轮架上工件轴向运动的理论基础，分析了防止工件轴向窜动的一种调节方式．结果表明：工件在焊接滚轮架上螺旋运动的螺旋率为所有滚轮与工件之间螺旋角正切的平均值；调节从动滚轮的位置，可以改变工件和滚轮的相对位置，产生...
依据焊接滚轮架上工件轴向运动的理论基础，分析了防止工件轴向窜动的一种调节方式．结果表明：工件在焊接滚轮架上螺旋运动的螺旋率为所有滚轮与工件之间螺旋角正切的平均值；调节从动滚轮的位置，可以改变工件和滚轮的相对位置，产生附加螺旋角，从而能有效控制工件的轴向运动．同时提出了具有位移、速度负反馈的非线性控制方案，并通过相平面法对系统稳定性进行了分析，分析结果与模型实测结果相符．此方案可用于焊接滚轮架的防轴窜控制．
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关键词
焊接
滚轮架
轴向运动
调节机理
非线性控制
下载PDF
职称材料
焊接滚轮架上工件轴向运动调节机理研究
8
作者
沈风刚
薛锦
《机械设计与研究》
EI
CSCD
北大核心
1998年第1期47-49,共3页
依据焊接滚轮架上工件轴向运动的理论基础，分析了防止工件轴向窜动的一种调节方式。结果表明，工件在焊接滚轮架上螺旋运动的螺旋率为所有滚轮与工件之间螺旋角正切的平均值；调节从动滚轮的位置，可以改变工件和滚轮的相对位置，产生...
依据焊接滚轮架上工件轴向运动的理论基础，分析了防止工件轴向窜动的一种调节方式。结果表明，工件在焊接滚轮架上螺旋运动的螺旋率为所有滚轮与工件之间螺旋角正切的平均值；调节从动滚轮的位置，可以改变工件和滚轮的相对位置，产生附加螺旋角，能有效控制工件的轴向运动。同时提出了具有位移、速度负反馈的非线性控制方案，并通过相平面法对系统稳定性进行分析，分析结果与模型实测结果相符，可用于焊接滚轮架的防轴窜控制。
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关键词
焊接滚轮架
轴向运动
调节机理
非线性控制
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职称材料
题名
光学元件一体化精密轴向调整机构的设计
被引量：
6
1
作者
郭抗
巩岩
倪明阳
孙振
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第F12期261-266,共6页
基金
国家重大科技专项02专项（2009ZX02005）资助课题.
文摘
为了使光学元件轴向调整机构满足调整行程大、调整精度高、结构紧凑和装调容易等要求，设计了一种一体化结构的光学元件轴向调整机构。结合有限元分析技术，建立了该型机构的参数化模型，并分析了主要设计参数对调整机构的调整行程、一阶固有频率和最大应力值等主要技术指标的影响。分结果表明，调整机构可以实现光学元件的精密轴向调整；柔性转轴片厚度和宽度分别为1mm和0．8mm，柔性导向片的厚度和长度分别为0．6mm和20mm，调整机构的调整量为67．45μm，一阶固有频率为119．1Hz，且机构的最大应力值小于材料的屈服极限。满足光学元件轴向调整机构的设计要求。
关键词
光学器件
轴向调整机构
有限元分析
一体化结构
Keywords
optical
devices
axial
adjusting mechanism
finite
element
analysis
monolithic
configuration
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
无调整机构的小微挠性陀螺轴向静平衡研究
2
作者
蔡曜
司玉辉
王玉琢
张少馨
齐明雁
杨晓龙
机构
西安航天精密机电研究所
出处
《航空精密制造技术》
2023年第4期34-39,共6页
文摘
针对小微挠性陀螺轴向静平衡调整问题,考虑无调整机构等约束条件,提出先轴向预平衡,再轴向精平衡的轴向静平衡调整方案。轴向预平衡包括理论计算法、静态测试法、权重结合法共3种方法;轴向精平衡包括△m增加法、△m减小法共两种方法。工程应用表明,3种轴向预平衡方法均可行,权重结合法最优;轴向精平衡方法可调整指标至范围内,取得较好效果。
关键词
小微挠性陀螺
轴向静平衡
无调整机构
轴向预平衡
轴向精平衡
Keywords
small
flexible
gyro
axial
static
equilibrium
no
adjusting mechanism
axial
prebalance
axial
fine
balance
分类号
V241.559 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
原文传递
题名
柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计
3
作者
郭抗
陈华男
倪明阳
李显凌
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第B12期348-354,共7页
文摘
在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时，为了实现更大的调节行程，采用柔性环片结构，设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型，分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应力值、固有频率、光学元件上下表面面形均方根（RMS）值等性能指标的影响。结果表明：轴向调节机构可实现299.2 μm的调节行程，且机构的最大应力值为141.3 MPa，固有频率值为95.3 Hz，光学元件上下表面的面形RMS值在1.3 nm以内，满足光刻投影物镜对轴向调节光学元件的使用需求。
关键词
光学器件
轴向调节机构
有限元分析
柔性环片
Keywords
optical
devices
axial
adjusting mechanism
finite
element
analysis
flexible
ring
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计
被引量：
3
4
作者
孙振
巩岩
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013年第10期93-99,共7页
基金
国家重大科技专项02专项(2009ZX02005)
科技部中白国际合作项目(2011DFR10010)
文摘
为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构。在调节机构中采用V形柔性单元换向机构,实现运动的换向和传递。针对机构的调节行程、驱动力、一阶固有频率以及机构传动比的要求,优化了V形柔性单元的结构尺寸参数。使用有限元方法分析了V形柔性单元的关键尺寸参数对机构性能的影响,得到机构调节行程可达±55μm,调节精度优于±10nm,一阶固有频率大于150Hz。同时仿真分析了该轴向调节机构对光学元件的热变形的影响,在20mW热载荷的作用下,该轴向调节机构导致光学元件面形变化为0.087nm[峰谷(PV)值]和0.013nm[均方根(RMS)值]。仿真结果证明该轴向调节机构对光学元件面形精度影响极小,满足光刻物镜应用要求。
关键词
成像系统
光刻投影物镜
轴向调节机构
V形柔性单元
热变形
Keywords
imaging
systems
lithograph
projection
objective~
axial
adjusting mechanism
V-flexure
element
thermal
deformation
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
动叶可调式轴流风机动调漏油案例分析与处理
被引量：
1
5
作者
陈熙
机构
大唐国际发电股份有限公司张家口发电厂
出处
《电工技术》
2022年第18期210-212,共3页
文摘
动叶可调式轴流风机的动调机构漏油为常见的缺陷,严重影响风机的正常运行。从结构原理、漏油常见部位、具体案例等方面分析了动调机构漏油的原因及处理方法,为今后的轴流风机检修提供参考资料。
关键词
电厂轴流风机
动调机构
漏油
案例分析
Keywords
axial
flow
fan
of
power
plant
dynamic
adjusting mechanism
oil
leakage
case
analysis
分类号
TM621.7 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
轴流风机动叶调节机构故障率高的解决方案
6
作者
饶红建
机构
华电新乡发电有限公司
出处
《华电技术》
CAS
2015年第4期58-58,61,共2页
文摘
以华电新乡发电有限公司2台660 MW燃煤汽轮发电机组为例,分析了送风机和一次风机动叶调节机构故障率高的原因,提出了具体改型方案,实施后取得了良好效果。
关键词
轴流风机
动叶调节机构
故障
解决方案
Keywords
axial
flow
fan
movable
blade
adjusting mechanism
fault
solution
分类号
TK223.26 [动力工程及工程热物理—动力机械及工程]
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职称材料
题名
防止工件轴向窜动焊接滚轮架控制机理研究
7
作者
沈风刚
薛锦
机构
西安交通大学
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第2期28-31,共4页
文摘
依据焊接滚轮架上工件轴向运动的理论基础，分析了防止工件轴向窜动的一种调节方式．结果表明：工件在焊接滚轮架上螺旋运动的螺旋率为所有滚轮与工件之间螺旋角正切的平均值；调节从动滚轮的位置，可以改变工件和滚轮的相对位置，产生附加螺旋角，从而能有效控制工件的轴向运动．同时提出了具有位移、速度负反馈的非线性控制方案，并通过相平面法对系统稳定性进行了分析，分析结果与模型实测结果相符．此方案可用于焊接滚轮架的防轴窜控制．
关键词
焊接
滚轮架
轴向运动
调节机理
非线性控制
Keywords
welding
roller
bed
axial
motion
adjusting mechanism
nonlinear
control
分类号
TG431 [金属学及工艺—焊接]
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职称材料
题名
焊接滚轮架上工件轴向运动调节机理研究
8
作者
沈风刚
薛锦
机构
西安交通大学
出处
《机械设计与研究》
EI
CSCD
北大核心
1998年第1期47-49,共3页
文摘
依据焊接滚轮架上工件轴向运动的理论基础，分析了防止工件轴向窜动的一种调节方式。结果表明，工件在焊接滚轮架上螺旋运动的螺旋率为所有滚轮与工件之间螺旋角正切的平均值；调节从动滚轮的位置，可以改变工件和滚轮的相对位置，产生附加螺旋角，能有效控制工件的轴向运动。同时提出了具有位移、速度负反馈的非线性控制方案，并通过相平面法对系统稳定性进行分析，分析结果与模型实测结果相符，可用于焊接滚轮架的防轴窜控制。
关键词
焊接滚轮架
轴向运动
调节机理
非线性控制
Keywords
Welding
roller
bed
axial
motion
adjusting
mechanism
Nonlinear
control
分类号
TG409 [金属学及工艺—焊接]
TG431
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学元件一体化精密轴向调整机构的设计
郭抗
巩岩
倪明阳
孙振
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
6
原文传递
2
无调整机构的小微挠性陀螺轴向静平衡研究
蔡曜
司玉辉
王玉琢
张少馨
齐明雁
杨晓龙
《航空精密制造技术》
2023
0
原文传递
3
柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计
郭抗
陈华男
倪明阳
李显凌
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
原文传递
4
光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计
孙振
巩岩
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013
3
原文传递
5
动叶可调式轴流风机动调漏油案例分析与处理
陈熙
《电工技术》
2022
1
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职称材料
6
轴流风机动叶调节机构故障率高的解决方案
饶红建
《华电技术》
CAS
2015
0
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职称材料
7
防止工件轴向窜动焊接滚轮架控制机理研究
沈风刚
薛锦
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
0
下载PDF
职称材料
8
焊接滚轮架上工件轴向运动调节机理研究
沈风刚
薛锦
《机械设计与研究》
EI
CSCD
北大核心
1998
0
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职称材料
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