用于阵列波导光栅(AWG)的材料及其特性分析 被引量：3

1

作者 张小康 廖常俊 刘颂豪 《光电子技术与信息》 CAS 2002年第4期1-5,共5页

AWG器件是目前光通信元器件中重要的研究课题,而材料是决定AWG性能的基础。本文主要分析了硅基材料、聚合物和磷化铟基等材料在AWG制作技术中的材料特性与应用特点,同时展示了AWG在光通信领域中的应用前景。

关键词 阵列波导光栅 awg 硅基材料 聚合物 磷化锢基材料 光通信

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基于阵列波导光栅的波分复用器件 被引量：4

2

作者 郭爱煌 傅君眉 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2001年第4期296-299,共4页

阵列波导光栅波分复用 /解复用器有 N个输入端口和 N个输出端口 ,能同时传输 N2 路不同的光信号 ,除具有波分复用和解复用功能外 ,能灵活地与其它光器件组成多波长激光器、光路分插复用器、光路交叉连接器、波长路由器等波分复用器件 ,... 阵列波导光栅波分复用 /解复用器有 N个输入端口和 N个输出端口 ,能同时传输 N2 路不同的光信号 ,除具有波分复用和解复用功能外 ,能灵活地与其它光器件组成多波长激光器、光路分插复用器、光路交叉连接器、波长路由器等波分复用器件 ,在光通信网络中有着广泛的应用前景。 展开更多

关键词 波分复用器件 阵列波导光栅 光器件

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650nm聚合物阵列波导光栅波分复用器设计 被引量：6

3

作者 谭震宇 张峰 +3 位作者 陈长鸣 孙小强 王菲 张大明 《中国光学》 EI CAS 2012年第1期71-76,共6页

选择在可见光波段具有较低吸收损耗的聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯[P(MMA-GMA)]共聚物作为波导包层材料,使用双酚A型环氧树脂作为折射率调节剂,根据材料的折射率设计了单模波导截面尺寸;然后,采用束传播法优化设计出16信道阵列... 选择在可见光波段具有较低吸收损耗的聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯[P(MMA-GMA)]共聚物作为波导包层材料,使用双酚A型环氧树脂作为折射率调节剂,根据材料的折射率设计了单模波导截面尺寸;然后,采用束传播法优化设计出16信道阵列波导光栅(AWG)器件的版图结构。利用Optiwave软件模拟了AWG器件的光传输特性,结果显示,器件的信道间隔为0.845 01 nm,插入损耗小于14 dB,串扰小于-25 dB。 展开更多

关键词 聚合物 阵列波导光栅 波分复用器

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降低AWG插入损耗和串扰设计新方法(英文) 被引量：6

4

作者 许英朝 张国伟 +3 位作者 鄂书林 张大明 邓文渊 唐晓辉 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期224-228,共5页

在AWG器件的设计中引入了抛物线型的楔形波导结构,根据过渡区理论优化了引入的抛物线型楔形结构的形状和尺寸.采用抛物线型楔形结构代替直线型楔形结构,AWG的插入损耗降低了2 dB左右.在优化参数时使输出/输入波导间距与阵列波导间距取... 在AWG器件的设计中引入了抛物线型的楔形波导结构,根据过渡区理论优化了引入的抛物线型楔形结构的形状和尺寸.采用抛物线型楔形结构代替直线型楔形结构,AWG的插入损耗降低了2 dB左右.在优化参数时使输出/输入波导间距与阵列波导间距取不同的值,并使输出/输入波导间距适当增大,而阵列波导间距取较小值,这样使得串扰降至-30 dB以下且插入损耗保持在低水平.运用光束传播方法给出器件的输出光谱并证实了理论上预想的结果. 展开更多

关键词 阵列波导光栅 楔形 插入损耗 串扰

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小尺寸低折射率差硅基二氧化硅阵列波导光栅(英文) 被引量：6

5

作者 王文敏 刘文 马卫东 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1137-1142,共6页

随着阵列波导光栅(Arrayed Waveguide Grating,AWG)型器件在光通信系统中的大规模应用,对低成本AWG芯片的需求越来越多.在各种降成本方案中,减小AWG芯片的尺寸是最有效的方法之一.本文介绍了一种新型小尺寸低折射率差硅基二氧化硅AWG的... 随着阵列波导光栅(Arrayed Waveguide Grating,AWG)型器件在光通信系统中的大规模应用,对低成本AWG芯片的需求越来越多.在各种降成本方案中,减小AWG芯片的尺寸是最有效的方法之一.本文介绍了一种新型小尺寸低折射率差硅基二氧化硅AWG的设计.在该AWG中,输入波导/输出波导与平板波导连接的部分制作成两侧为空气槽的高折射率差波导,所以在与输出平板波导连接处的相邻输出波导间距较小,这样可以在设计上缩短平板波导的长度、减少阵列波导的数量,实现较小的AWG芯片尺寸.该AWG的其它部分,如输入/输出波导与光纤耦合的部分、阵列波导光栅等均采用常规的低折射率波导工艺,所以就同时具有与常规的低折射率波导AWG相同的优点:如低耦合损耗、较好的串扰以及光学特性等.根据这个原理,设计了一种40通道100GHz频率间隔的低折射率差硅基二氧化硅AWG,其芯片尺寸只有23.88mm×10.5mm,是传统相同材料制作的AWG尺寸的1/6. 展开更多

关键词 空气槽 阵列波导光栅 通带宽度 硅基二氧化硅技术

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Si纳米线阵列波导光栅制备 被引量：4

6

作者 张家顺 安俊明 +3 位作者 赵雷 宋世娇 吴远大 胡雄伟 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1431-1434,共4页

采用绝缘层上Si(SOI)材料设计制备了3×5纳米线阵列波导光栅(AWG),器件大小为110μm×100μm。利用简单传输法模拟了器件的传输谱,并采用二维时域有限差分(FDTD)模拟中心通道输出光场的稳态分布,模拟结果表明,器件的通道间隔为1... 采用绝缘层上Si(SOI)材料设计制备了3×5纳米线阵列波导光栅(AWG),器件大小为110μm×100μm。利用简单传输法模拟了器件的传输谱,并采用二维时域有限差分(FDTD)模拟中心通道输出光场的稳态分布,模拟结果表明,器件的通道间隔为11 nm,通道间的串扰为18 dB。通过电子束曝光(EBL)和感应耦合等离子(ICP)刻蚀制备了所设计的器件,光输出谱测试分析表明,器件中心通道的片上损耗为9 dB,通道间隔为8.36～10.40 nm,中心输出通道的串扰为6 dB。在误差允许范围内,设计和测试的结果一致。 展开更多

关键词 阵列波导光栅(awg) 绝缘层上硅(SOI)纳米线波导 时域有限差分(FDTD) 电子束曝光(EBL)

原文传递

基于AWG的波分/时分复用FBG传感器网络研究 被引量：4

7

作者 邹芳 王玉宝 冯元凯 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第9期55-57,60,共4页

为了充分利用传感器网络在频域和时域上的丰富资源,提出了一种采用WDM/TDM的网络复用技术的新型分布式FBG传感器网络设计方案。将FBG传感器利用阵列波导光栅(AWG)进行波分复用,并利用程控光开关对波分复用信道中的每一个FBG传感器进行... 为了充分利用传感器网络在频域和时域上的丰富资源,提出了一种采用WDM/TDM的网络复用技术的新型分布式FBG传感器网络设计方案。将FBG传感器利用阵列波导光栅(AWG)进行波分复用,并利用程控光开关对波分复用信道中的每一个FBG传感器进行时分复用。网络中的传感器数量可达几百只。以可调法布里—珀罗(F-P)滤波器和数字信号处理器为核心的解调模块,通过布设的参考FBG能够对F-P滤波器特征曲线进行实时校正,提高了解调准确度。传感过程实现了自动化。该传感器网络可以对矿井、地下隧道等危险环境进行实时温度测量、预警,具有很好的应用前景。 展开更多

关键词 光纤BRAGG光栅 阵列波导光栅 波分/时分复用传感器系统 可调法布里-珀罗滤波器

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光分组交换节点结构及性能研究 被引量：4

8

作者 李玲香 李季碧 +1 位作者 姜涛 赵春辉 《重庆邮电学院学报（自然科学版）》 2006年第2期183-186,共4页

为了适应接入带宽IP新业务越来越高的容量要求,传输网试图提供一种可重置的光层来获得WDM信道的快速动态分配,提出了一种新的光分组交换系统,能更好地实现资源统计分配,使带宽充分得到利用。交换节点是分组交换系统的核心部件,交换节点... 为了适应接入带宽IP新业务越来越高的容量要求,传输网试图提供一种可重置的光层来获得WDM信道的快速动态分配,提出了一种新的光分组交换系统,能更好地实现资源统计分配,使带宽充分得到利用。交换节点是分组交换系统的核心部件,交换节点的结构流量性能直接影响交换系统性能。针对光分组交换网络提出了一种新的交换节点结构,通过计算机仿真说明,采用这种节点结构比采用其他节点结构在不同的负载情况下,其流量性能得到了改善,降低了丢包率和平均迟延。 展开更多

关键词 波导光栅阵列 光分组交换 密集波分复用 丢包率

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基于AWG的多通道光纤光栅传感解调系统 被引量：3

9

作者 李鸿强 孙杰 +4 位作者 张诚 陈雪龙 崔贝贝 崔佃银 袁丹阳 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2016年第2期65-71,共7页

设计开发了一种基于陈列波导光栅（AWG）的多通道光纤光栅解调系统. 该系统由宽带光源、隔离器、耦合器、光环路器、光纤布拉格光栅（FBG）传感器、AWG、光电探测电路、调理放大电路、低通滤波电路和ARM控制电路等组成,采用光强法解调技... 设计开发了一种基于陈列波导光栅（AWG）的多通道光纤光栅解调系统. 该系统由宽带光源、隔离器、耦合器、光环路器、光纤布拉格光栅（FBG）传感器、AWG、光电探测电路、调理放大电路、低通滤波电路和ARM控制电路等组成,采用光强法解调技术,对FBG 传感器的温度进行精确测量. 实验结果表明：该解调系统测量误差不大于±0.1 ℃,FBG 中心波长解调范围为1 545.30-1 560.50 nm, 可实现对4 通道的32 个FBG 传感器同时测量. 展开更多

关键词 多通道 光纤布拉格光栅 阵列波导光栅 ARM 解调系统

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8通道-1.6nm Si纳米线阵列波导光栅的设计与制作 被引量：2

10

作者 赵雷 安俊明 +3 位作者 张家顺 宋世娇 吴远大 胡雄伟 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1589-1592,共4页

设计了基于绝缘层上硅(SOI)材料的8通道Si纳米线阵列波导光栅(AWG),器件的通道间隔为1.6nm,面积为420μm×130μm。利用传输函数法模拟了器件传输谱,结果表明,器件的通道间隔为1.6nm,通道间串扰为17dB。给出了结合电子束光刻(EBL)... 设计了基于绝缘层上硅(SOI)材料的8通道Si纳米线阵列波导光栅(AWG),器件的通道间隔为1.6nm,面积为420μm×130μm。利用传输函数法模拟了器件传输谱,结果表明,器件的通道间隔为1.6nm,通道间串扰为17dB。给出了结合电子束光刻(EBL)和感应耦合等离子(ICP)刻蚀技术制备器件的详细流程。光谱测试结果分析表明,器件通道间隔为1.3～1.6nm,通道串扰为3dB,中心通道损耗为11.6dB。 展开更多

关键词 阵列波导光栅(awg) Si纳米线波导 电子束光刻(EBL) 感应耦合等离子(ICP)刻蚀

原文传递

聚合物/二氧化硅混合型无热化阵列波导光栅参量的优化 被引量：2

11

作者 李德禄 马春生 +4 位作者 秦正坤 汪玉海 张海明 张大明 刘式墉 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期469-472,共4页

研究一种新型无热化聚合物/二氧化硅混合波导组成的硅基二氧化硅阵列波导光栅.阵列波导光栅对温度的依赖性受波导物质的折射率和波导芯的尺寸影响.通过调节这些参量就可以减小温度对阵列波导光栅的影响.优化得到混合型阵列波导光栅在温... 研究一种新型无热化聚合物/二氧化硅混合波导组成的硅基二氧化硅阵列波导光栅.阵列波导光栅对温度的依赖性受波导物质的折射率和波导芯的尺寸影响.通过调节这些参量就可以减小温度对阵列波导光栅的影响.优化得到混合型阵列波导光栅在温度20～70℃范围内波谱漂移小于常规型AWG结构的5%. 展开更多

关键词 阵列波导光栅 混合型波导 波谱漂移 无热效应

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阵列波导光栅复用器优化设计的数值计算 被引量：2

12

作者 郭爱煌 傅君眉 《光通信研究》 北大核心 2003年第2期41-45,共5页

阵列波导光栅 ( AWG)复用 /解复用器的优化设计计算是集成光波导器件设计计算中的难点 .文章应用 AWG光信号传输特性和光栅方程 ,提出了 AWG组成部分输入 /输出波导、阵列波导、平板波导相关参数及阵列波导结构优化设计的数值计算方法 ... 阵列波导光栅 ( AWG)复用 /解复用器的优化设计计算是集成光波导器件设计计算中的难点 .文章应用 AWG光信号传输特性和光栅方程 ,提出了 AWG组成部分输入 /输出波导、阵列波导、平板波导相关参数及阵列波导结构优化设计的数值计算方法 ,给出了具体的计算数值 ;该计算方法解决了 AWG复用器优化设计计算的问题 ,为进一步建立 AWG的计算机辅助设计提供了基础 . 展开更多

关键词 阵列波导光栅 优化设计 复用器 awg 集成光波导 数值计算

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一种阵列波导光栅的芯片级封装结构 被引量：2

13

作者 赵东世 王加钦 +2 位作者 崔晓彬 王暾 吕苗 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第3期149-153,160,共6页

阵列波导光栅（AWG）在密集波分复用（DWDM）光通信和芯片光谱仪中有广泛的应用。提出了一种可与光纤耦合的AWG芯片级封装结构,其特点是设计了三片式叠片结构,可实现波导和光纤的三维对准;通过微加工工艺制作了锥形空腔,在此锥形空腔中... 阵列波导光栅（AWG）在密集波分复用（DWDM）光通信和芯片光谱仪中有广泛的应用。提出了一种可与光纤耦合的AWG芯片级封装结构,其特点是设计了三片式叠片结构,可实现波导和光纤的三维对准;通过微加工工艺制作了锥形空腔,在此锥形空腔中注入和固化与波导和光纤芯层折射率匹配的光学胶后,可以形成类似拉锥光纤前端的锥形波导,有效减小了由于光纤和波导尺寸失配造成的耦合损耗;且片上拉锥结构和芯片相对位置固定,热可靠性和抗振动能力有所提高;实验和测试结果表明该方法具有光纤即插即用、可使用普通光纤和高可靠性等优点。 展开更多

关键词 阵列波导光栅(awg) 光纤耦合 片上拉锥结构 芯片级封装 微加工工艺

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WDM-PON中基于AWG的新型OVPN研究 被引量：2

14

作者 姚琼波 刘逢清 冯翰林 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期501-505,共5页

在波分复用无源光网络(WDM-PON)中,提出了一种基于阵列波导光栅(AWG)的新型光虚拟专用网(OVPN)。OVPN采用环形结构,在不同光网络单元(ONU)之间使用波长通道直接通信,不仅保证了ONU之间通信的安全性,而且提高了网络生存性。分别从光功率... 在波分复用无源光网络(WDM-PON)中,提出了一种基于阵列波导光栅(AWG)的新型光虚拟专用网(OVPN)。OVPN采用环形结构,在不同光网络单元(ONU)之间使用波长通道直接通信,不仅保证了ONU之间通信的安全性,而且提高了网络生存性。分别从光功率损耗和系统误码率(BER)进行了数值分析,结果表明,本文结构不仅增加了通信的安全性,而且仅使用4个波长就能实现16个ONU的相互联接,从而节省了波长资源,且具有很强的抗串扰能力。 展开更多

关键词 波分复用无源光网络(WDM-PON) 光虚拟专用网(OVPN) 阵列波导光栅(awg) 光功率损耗 光线路终端(OLT) 误码率(BER)

原文传递

基于SOI材料的阵列波导光栅的制作 被引量：2

15

作者 方青 李芳 刘育梁 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期143-146,共4页

采用ICP刻蚀的方法,在SOI材料上制作出了中心波长为 1. 5509μm、信道间隔为 200GHz的 5×5阵列波导光栅(AWG).测试中心波长与设计值相差 0. 28nm,测试波长间隔与设计值相差在 0. 02nm之内,相邻信道串扰接近10dB,信道插入损耗均匀性... 采用ICP刻蚀的方法,在SOI材料上制作出了中心波长为 1. 5509μm、信道间隔为 200GHz的 5×5阵列波导光栅(AWG).测试中心波长与设计值相差 0. 28nm,测试波长间隔与设计值相差在 0. 02nm之内,相邻信道串扰接近10dB,信道插入损耗均匀性为 0. 7dB,测试结果表明该器件能够初步达到分波功能. 展开更多

关键词 SOI材料 阵列波导光栅(awg) 制作 中心波长 信道间隔 波长间隔 信道串扰 插入损耗 设计值 ICP 测试 均匀性 相差 刻蚀 分波 器件

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用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器 被引量：2

16

作者 郑志霞 黄元庆 冯勇建 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2261-2266,共6页

根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm,膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上,挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形... 根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm,膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上,挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器加压测试。用双波长方法解调干涉信号,用阵列波导光栅(AWG)复用传感器,从而实现对口腔义齿下方组织压力的分布式测量。测量结果表明,当义齿加载0～0.6MPa压力时,系统的相对反射率比值/压力可达0.020 1/MPa,测量结果具有良好的线性度,测量系统的复用能力强,且复用传感器之间没有串扰,适用于义齿对口腔下方组织压力的分布式测量。 展开更多

关键词 义齿 压力测量 微机电系统(MEMS) Fabry-Perot(F—P)腔光纤压力传感器 复用 阵列波导光栅(awg)

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低热应力热稳定曲线型阵列波导光栅复用器 被引量：2

17

作者 王文敏 刘文 宋琼辉 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期1780-1784,共5页

相对方形阵列波导光栅波分复用器芯片而言,采用曲线切割的复用器芯片可以成倍地增加单个晶圆上的复用器产出率,但是曲线切割复用器的中心波长更加容易受到热应力的影响,该热应力是由于封装盒与耦合到复用器芯片上的带状光纤之间的线膨... 相对方形阵列波导光栅波分复用器芯片而言,采用曲线切割的复用器芯片可以成倍地增加单个晶圆上的复用器产出率,但是曲线切割复用器的中心波长更加容易受到热应力的影响,该热应力是由于封装盒与耦合到复用器芯片上的带状光纤之间的线膨胀系数差异所引起的.本文实验分析了封装热应力对复用器中心波长的影响,结果表明,封装热应力与复用器中心波长之间的变化成线性关系.即使采用比较软的硅橡胶将复用器上的带状光纤固定到封装盒上,对于热稳定封装的曲线复用器而言,当环境温度在-20～65℃之间变化时,其中心波长也会有46pm的变化.通过在热稳定复用器封装用的加热片上贴一片高硼硅玻璃,同时将带状光纤用硅橡胶固定到高硼硅玻璃上的方法,既保证了带状光纤相对封装盒固定,又减小了它们之间线膨胀系数不一致导致的热应力.实验结果表明,在-20到65℃温度范围内,这种复用器模块的中心波长高低温变化典型值小于5pm,而且光纤所受的应力典型值小于0.029MPa. 展开更多

关键词 集成光学 阵列波导光栅(awg) 热应力 带状光纤

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聚合物阵列波导光栅波分复用器带宽平坦化分析 被引量：1

18

作者 秦政坤 马春生 +3 位作者 李德禄 张海明 张大明 刘式墉 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期533-537,共5页

提出了一种阵列波导光栅(AWG)波分复用器带宽平坦化的有效方法。在常规型阵列波导器件中,把相邻奇数阵列波导长度差减少增量,并把相邻偶数阵列波导长度差增加相同的增量,即可获得平坦的箱形波谱响应。对17×17信道聚合物AWG波分复... 提出了一种阵列波导光栅(AWG)波分复用器带宽平坦化的有效方法。在常规型阵列波导器件中,把相邻奇数阵列波导长度差减少增量,并把相邻偶数阵列波导长度差增加相同的增量,即可获得平坦的箱形波谱响应。对17×17信道聚合物AWG波分复用器的模拟结果表明,箱形波谱响应的3 dB带宽约为0.49 nm,每条输出信道的串扰皆低于-28 dB。 展开更多

关键词 阵列波导光栅(awg) 传输光谱 带宽平坦化 箱形波谱响应 串扰

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MMI阵列波导光栅复用/解复用器的研制 被引量：2

19

作者 马慧莲 江晓清 +2 位作者 杨建义 王明华 余金中 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期919-923,共5页

详细分析了基于自镜像效应的 MMI DMUX器件的基本工作原理 ,在此基础上 ,在 SOI材料上完成了对 8信道 MMI DMU X的具体设计 .该器件的输入、输出单模波导采用 Soref的大截面脊形光波导理论进行优化设计 ,最后获得了当输入、输出单模波... 详细分析了基于自镜像效应的 MMI DMUX器件的基本工作原理 ,在此基础上 ,在 SOI材料上完成了对 8信道 MMI DMU X的具体设计 .该器件的输入、输出单模波导采用 Soref的大截面脊形光波导理论进行优化设计 ,最后获得了当输入、输出单模波导宽度为 5 μm,SIE多模波导宽度和长度分别为 72 μm和 6 313.4μm时 ,该器件对8信道波长的隔离度均在 35 d B以上 ,且理论传输损耗 <0 .18d B. 展开更多

关键词 阵列波导光栅 复用/解复用器 多模干涉 有限差分光束传输法

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8-信道MMI阵列波导光栅复用/解复用器的研制(英文) 被引量：2

20

作者 马慧莲 杨建义 +1 位作者 江晓清 王明华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期38-42,共5页

本文首先详细分析了基于自镜象效应的 MMI DMUX器件的基本工作原理 ,在此基础上 ,在 Ga As/Ga Al As系材料上完成了对 8信道 MMI DMUX的具体设计 .该器件的输入、输出单模波导和 SIE多模波导采用离散谱折射率法进行优化设计 ,最后获得... 本文首先详细分析了基于自镜象效应的 MMI DMUX器件的基本工作原理 ,在此基础上 ,在 Ga As/Ga Al As系材料上完成了对 8信道 MMI DMUX的具体设计 .该器件的输入、输出单模波导和 SIE多模波导采用离散谱折射率法进行优化设计 ,最后获得了当输入、输出单模波导宽度为 3μm、SIE多模波导宽度和长度分别为 40 μm和 1 731 .45μm时 ,该器件对 8信道波长的隔离度为～ 2 6d B,理论传输损耗为～ 0 .2 4 d B. 展开更多

关键词 阵列波导光栅 复用/解复用器 多模干涉 离散谱折射率法 MMIDMUX器件

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