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CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究 被引量：3
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作者 王鹏 张凤林 +1 位作者 刘文广 欧阳承达 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第11期195-203,共9页
采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工,研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现,激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对微孔出口直径影响明... 采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工,研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现,激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对微孔出口直径影响明显。随着激光脉宽的增加,微孔深度和出口直径均增加,但微孔锥度减小。 展开更多
关键词 激光技术 阵列锥形微孔 光纤激光 CVD金刚石薄膜 微细加工
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