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Nb^(5+)掺杂与热处理对TiO_2基材料气敏特性的影响
被引量：
2
1
作者
裴素华
孙海波
+2 位作者
王强
孙振翠
石礼伟
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期943-947,共5页
TiO2是响应三甲胺(TMA)气体最佳的金属氧化物半导体材料,为保持TiO2基TMA旁热式气敏器件具有较高灵敏度和较低空气阻值(Ra),相应降低器件加热功率RH,本文通过N2气氛高温退火、高价Nb5+掺杂和长时间烧结等方法,提高TiO2基敏感材料电导率...
TiO2是响应三甲胺(TMA)气体最佳的金属氧化物半导体材料,为保持TiO2基TMA旁热式气敏器件具有较高灵敏度和较低空气阻值(Ra),相应降低器件加热功率RH,本文通过N2气氛高温退火、高价Nb5+掺杂和长时间烧结等方法,提高TiO2基敏感材料电导率获得成功。实验与理论证明:降低氧分压可增强TiO2自身半导化程度;掺入10％左右Nb2O5,Nb5+替代Ti4+形成固溶体,可使TiO2得到最佳半导化效果;采用长时间的烧结处理,促使Ti3+转化为Ti4+,进一步提高材料电导率和器件稳定性,从而为制造低阻、高灵敏度、高选择性动物食品测鲜传感器开辟了一条新途径。
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关键词
TIO
2
n
2
退火
n
b^5+掺杂
长时效烧结
下载PDF
职称材料
氮气中退火对ZnO薄膜结构与光学性能的影响
被引量：
2
2
作者
杨兵初
高飞
刘晓艳
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期375-378,共4页
采用直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜,并将样品在氮气中进行了退火。对样品的表面形貌、结构性能、发光特性、透射光谱分别进行了检测。结果表明:退火后,样品的结晶质量提高,光致发光峰增强,在可见光范围内的平均透过率也有所增加。计算表...
采用直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜,并将样品在氮气中进行了退火。对样品的表面形貌、结构性能、发光特性、透射光谱分别进行了检测。结果表明:退火后,样品的结晶质量提高,光致发光峰增强,在可见光范围内的平均透过率也有所增加。计算表明:退火后ZnO薄膜的禁带宽度略有减小。这可能是氮掺入ZnO薄膜后,N2p与O2p形成杂化轨道,二者能带部分重叠,从而使价带变宽、禁带变窄。
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关键词
直流磁控溅射
Z
n
O薄膜
氮气中退火
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职称材料
题名
Nb^(5+)掺杂与热处理对TiO_2基材料气敏特性的影响
被引量：
2
1
作者
裴素华
孙海波
王强
孙振翠
石礼伟
机构
山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期943-947,共5页
文摘
TiO2是响应三甲胺(TMA)气体最佳的金属氧化物半导体材料,为保持TiO2基TMA旁热式气敏器件具有较高灵敏度和较低空气阻值(Ra),相应降低器件加热功率RH,本文通过N2气氛高温退火、高价Nb5+掺杂和长时间烧结等方法,提高TiO2基敏感材料电导率获得成功。实验与理论证明:降低氧分压可增强TiO2自身半导化程度;掺入10％左右Nb2O5,Nb5+替代Ti4+形成固溶体,可使TiO2得到最佳半导化效果;采用长时间的烧结处理,促使Ti3+转化为Ti4+,进一步提高材料电导率和器件稳定性,从而为制造低阻、高灵敏度、高选择性动物食品测鲜传感器开辟了一条新途径。
关键词
TIO
2
n
2
退火
n
b^5+掺杂
长时效烧结
Keywords
TiO
2
annealing
i
n
n
-
2
dopi
n
g
with
n
b5+
lo
n
g-time
si
n
teri
n
g
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
氮气中退火对ZnO薄膜结构与光学性能的影响
被引量：
2
2
作者
杨兵初
高飞
刘晓艳
机构
中南大学物理科学与技术学院
出处
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期375-378,共4页
文摘
采用直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜,并将样品在氮气中进行了退火。对样品的表面形貌、结构性能、发光特性、透射光谱分别进行了检测。结果表明:退火后,样品的结晶质量提高,光致发光峰增强,在可见光范围内的平均透过率也有所增加。计算表明:退火后ZnO薄膜的禁带宽度略有减小。这可能是氮掺入ZnO薄膜后,N2p与O2p形成杂化轨道,二者能带部分重叠,从而使价带变宽、禁带变窄。
关键词
直流磁控溅射
Z
n
O薄膜
氮气中退火
Keywords
DC
reactive
mag
n
etro
n
sputteri
n
g
Z
n
O
thi
n
film
annealing
i
n
n
2
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
Nb^(5+)掺杂与热处理对TiO_2基材料气敏特性的影响
裴素华
孙海波
王强
孙振翠
石礼伟
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
下载PDF
职称材料
2
氮气中退火对ZnO薄膜结构与光学性能的影响
杨兵初
高飞
刘晓艳
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
下载PDF
职称材料
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